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公开(公告)号：CN105009273B
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201480010655.5
申请日：2014-03-13
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/20
CPC分类号： C30B25/12 , C23C16/4412 , C23C16/45563 , C23C16/4584 , C23C16/4585 , C23C16/481 , H01L21/02617 , H01L21/6719 , H01L21/687 , H01L21/68735 , H01L21/68742 , Y10S269/903
摘要： 本发明的基座支撑部包括基座轴及基板升降部。基座轴包括支撑柱及从支撑柱径向延伸的多个臂，基板升降部包括支撑柱及从支撑柱径向延伸的多个臂，基座轴的臂从基座轴的支撑柱侧起包括第一臂、耦接至第一臂的第二臂及耦接至第二臂的第三臂，第二臂提供有通孔，所述通孔沿垂直方向穿过第二臂，且基座轴的第一臂的宽度小于基座轴的第二臂的宽度。
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公开(公告)号：CN107578984A
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201710619571.7
申请日：2014-03-13
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/687 , C30B25/12 , C23C16/48 , C23C16/458 , C23C16/455 , C23C16/44
CPC分类号： C30B25/12 , C23C16/4412 , C23C16/45563 , C23C16/4584 , C23C16/4585 , C23C16/481 , H01L21/02617 , H01L21/6719 , H01L21/687 , H01L21/68735 , H01L21/68742 , Y10S269/903
摘要： 本发明的基座支撑部包括基座轴及基板升降部。基座轴包括支撑柱及从支撑柱径向延伸的多个臂，基板升降部包括支撑柱及从支撑柱径向延伸的多个臂，基座轴的臂从基座轴的支撑柱侧起包括第一臂、耦接至第一臂的第二臂及耦接至第二臂的第三臂，第二臂提供有通孔，所述通孔沿垂直方向穿过第二臂，且基座轴的第一臂的宽度小于基座轴的第二臂的宽度。
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公开(公告)号：CN107578984B
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN201710619571.7
申请日：2014-03-13
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/687 , C30B25/12 , C23C16/48 , C23C16/458 , C23C16/455 , C23C16/44
摘要： 本发明的基座支撑部包括基座轴及基板升降部。基座轴包括支撑柱及从支撑柱径向延伸的多个臂，基板升降部包括支撑柱及从支撑柱径向延伸的多个臂，基座轴的臂从基座轴的支撑柱侧起包括第一臂、耦接至第一臂的第二臂及耦接至第二臂的第三臂，第二臂提供有通孔，所述通孔沿垂直方向穿过第二臂，且基座轴的第一臂的宽度小于基座轴的第二臂的宽度。
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公开(公告)号：CN107523860A
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201710618946.8
申请日：2014-03-13
申请人： 应用材料公司
摘要： 本文介绍在构建由作为顶面的顶板、作为底面的基板安装部分，及作为侧面的侧壁界定及形成的反应腔室时，支撑件在顶板的圆周边缘自圆周边缘的上侧及外侧支撑顶板，并且反应气体在设置于侧壁中的反应气体供应路径中经整流，使得反应腔室中处于反应气体流动方向上的水平部件对应于一水平部件，该后一水平部件在自与反应腔室相对的反应气体供应路径的开口中心延伸至反应腔室中心的方向上。
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公开(公告)号：CN105009273A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201480010655.5
申请日：2014-03-13
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/20
CPC分类号： C30B25/12 , C23C16/4412 , C23C16/45563 , C23C16/4584 , C23C16/4585 , C23C16/481 , H01L21/02617 , H01L21/6719 , H01L21/687 , H01L21/68735 , H01L21/68742 , Y10S269/903
摘要： 本发明的基座支撑部包括基座轴及基板升降部。基座轴包括支撑柱及从支撑柱径向延伸的多个臂，基板升降部包括支撑柱及从支撑柱径向延伸的多个臂，基座轴的臂从基座轴的支撑柱侧起包括第一臂、耦接至第一臂的第二臂及耦接至第二臂的第三臂，第二臂提供有通孔，所述通孔沿垂直方向穿过第二臂，且基座轴的第一臂的宽度小于基座轴的第二臂的宽度。
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公开(公告)号：CN108728823B
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN201810343931.X
申请日：2013-10-28
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/48 , C30B25/14 , C30B29/06
摘要： 本发明提供一种能使生长速度提高的外延生长装置。外延生长装置包括：反应室，由载置基板的基板载置部、具有透光性的顶板及侧壁部而划分；加热单元，设置于反应室外部，且将载置于反应室内的基板经由所述顶板来进行加热；以及反应气体导入单元，与基板的水平方向相平行地向反应室内导入反应气体；并且顶板的中心与所述基板载置部的距离小于10mm。
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公开(公告)号：CN107523860B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201710618946.8
申请日：2014-03-13
申请人： 应用材料公司
摘要： 本文介绍在构建由作为顶面的顶板、作为底面的基板安装部分，及作为侧面的侧壁界定及形成的反应腔室时，支撑件在顶板的圆周边缘自圆周边缘的上侧及外侧支撑顶板，并且反应气体在设置于侧壁中的反应气体供应路径中经整流，使得反应腔室中处于反应气体流动方向上的水平部件对应于一水平部件，该后一水平部件在自与反应腔室相对的反应气体供应路径的开口中心延伸至反应腔室中心的方向上。
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公开(公告)号：CN105103276B
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201380054803.9
申请日：2013-10-28
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01L21/31 , C23C16/455
CPC分类号： C23C16/46 , C23C16/45502 , C23C16/4585 , C23C16/481 , C30B25/14 , C30B29/06
摘要： 本发明提供一种能使生长速度提高的外延生长装置。外延生长装置包括：反应室，由载置基板的基板载置部、具有透光性的顶板及侧壁部而划分；加热单元，设置于反应室外部，且将载置于反应室内的基板经由所述顶板来进行加热；以及反应气体导入单元，与基板的水平方向相平行地向反应室内导入反应气体；并且顶板的中心与所述基板载置部的距离小于10mm。
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公开(公告)号：CN112981525A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202110164339.5
申请日：2014-03-13
申请人： 应用材料公司
摘要： 本文介绍在构建由作为顶面的顶板、作为底面的基板安装部分，及作为侧面的侧壁界定及形成的反应腔室时，支撑件在顶板的圆周边缘自圆周边缘的上侧及外侧支撑顶板，并且反应气体在设置于侧壁中的反应气体供应路径中经整流，使得反应腔室中处于反应气体流动方向上的水平部件对应于一水平部件，该后一水平部件在自与反应腔室相对的反应气体供应路径的开口中心延伸至反应腔室中心的方向上。
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公开(公告)号：CN110067021A
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201811583562.8
申请日：2014-03-13
申请人： 应用材料公司
摘要： 本文介绍在构建由作为顶面的顶板、作为底面的基板安装部分，及作为侧面的侧壁界定及形成的反应腔室时，支撑件在顶板的圆周边缘自圆周边缘的上侧及外侧支撑顶板，并且反应气体在设置于侧壁中的反应气体供应路径中经整流，使得反应腔室中处于反应气体流动方向上的水平部件对应于一水平部件，该后一水平部件在自与反应腔室相对的反应气体供应路径的开口中心延伸至反应腔室中心的方向上。
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