一种O波段硅基异质集成的光发射器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN119812932A

    公开(公告)日:2025-04-11

    申请号:CN202411939264.3

    申请日:2024-12-26

    Abstract: 本发明涉及一种O波段硅基异质集成的光发射器件及其制备方法,属于光学器件技术领域。本发明通过晶圆键合的方式在硅基光子平台上集成InP及铌酸锂材料,有源、无源器件对准是通过光刻过程实现的,无需考虑对准的问题,且可以通过晶圆键合方式进行大批量的生产,可以降低单个器件的成本,还具有高集成度、节约成本、利于量产化的优势;本发明通过BCB聚合物辅助键合技术或低温直接键合技术可以克服硅基光子平台的硅与InP及铌酸锂材料存在晶格失配、热膨胀系数失配的缺陷,从而实现不同功能材料在硅基光子平台的集成;本发明通过设计相应的模斑转换器结构来实现不同材料波导之间的模式匹配。

    一种C波段硅基异质集成的光发射器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN119812931A

    公开(公告)日:2025-04-11

    申请号:CN202411939262.4

    申请日:2024-12-26

    Abstract: 本发明涉及一种C波段硅基异质集成的光发射器件及其制备方法,属于光学器件技术领域。本发明通过硅基光子波导层与第一波导层和第二波导层分别垂直倏逝波耦合,形成Si/InP模斑转换器且保持模式匹配,硅基光子波导层通过Si/InP模斑转换器以垂直倏逝波耦合的方式与InP波导层光学互连,从而实现光产生、探测、放大等功能;本发明将所述InP波导层设计成两层波导级联的结构,这种结构能更有效地提高耦合效率,减少端面寄生反射。

    一种光栅耦合器及其制备方法与应用

    公开(公告)号:CN119596454A

    公开(公告)日:2025-03-11

    申请号:CN202411924380.8

    申请日:2024-12-25

    Abstract: 本发明提供了一种光栅耦合器及其制备方法与应用,涉及集成光子学领域。本发明光栅耦合器结构由下至上包括衬底层、氧化硅下包层、氮化硅波导层、氧化硅缓冲层、非晶硅层以及氧化硅上包层;其中,非晶硅层由下至上包括非晶硅波导和非晶硅光栅,非晶硅光栅与非晶硅波导相连;非晶硅波导和氮化硅波导层均包含线性渐变波导,二者构成双拉锥结构,该双拉锥结构采用垂直耦合方式将光从氮化硅波导层中耦合进非晶硅波导中,并利用非晶硅与二氧化硅的较大折射率差实现更高的光栅衍射效率,从而提高耦合效率。

    一种基于双层波导的90度光混频器及其制备方法

    公开(公告)号:CN119511445A

    公开(公告)日:2025-02-25

    申请号:CN202411915050.2

    申请日:2024-12-24

    Abstract: 本发明涉及光通信技术领域,尤其涉及一种基于双层波导的90度光混频器及其制备方法,包括衬底以及设于衬底上的氧化层、第一波导层、第二波导层以及包层;第一波导层和第二波导层均设置于包层中,且第二波导层通过另一层氧化层与第一波导层在垂直于波导传输平面的方向上间隔设置,形成层间结构;第一波导层和第二波导层之间设置有层间定向耦合部分;层间定向耦合部分用于提供第一波导层与第二波导层之间的光信号耦合,以使信号光和本振光在所述第一波导层和所述第二波导层之间传输,并在各自的多模干涉区内发生混频。本发明提出的90度光混频器通过双层波导结构,显著降低了交叉波导的传输损耗和串扰,实现了高性能、高集成度的光信号混频。

    一种微环谐振器及其制备方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119471918A

    公开(公告)日:2025-02-18

    申请号:CN202411915044.7

    申请日:2024-12-24

    Abstract: 本发明涉及一种微环谐振器及其制备方法,属于集成光子器件与半导体制造技术领域。本发明的微环谐振器,包括微环结构和总线波导,所述微环谐振器的材料包括AlxGa1‑xAs,其中x>0.4。本发明提供的微环谐振器是一种集成的O波段微环谐振器,该谐振器具有高效率、小型化和集成化的特点,相对于现有的氮化硅和铌酸锂微环谐振器,具有相当的品质因子,同时产生光频梳的阈值低至微瓦量级。本发明的微环谐振器采用Al组分大于0.4的AlGaAs材料,有效降低了双光子吸收(TPA)现象带来的损耗,提高了光频梳的生成效率和稳定性。

    一种集成光学FIR滤波器及滤波方法

    公开(公告)号:CN119471884A

    公开(公告)日:2025-02-18

    申请号:CN202411915040.9

    申请日:2024-12-24

    Abstract: 本发明公开了一种集成光学FIR滤波器及滤波方法,涉及集成光子器件与光通信技术领域。本发明通过多个可调分束器进行分光,并以多个第一移相器进行相位补偿和相位调控,从而在光信号传播过程中实现数字处理域FIR滤波器的等效功能,能够更好的适应当前海量光信号数据所需的计算需求。本发明通过使用延迟线连接多个可调分束器,实现了光学FIR滤波器的逐级分光延迟的结构,相较于现有技术中先分光再延迟的结构,能够降低单位延迟线的数量,并通过可调分束器和延迟线共同形成了与下一个可调分束器之间的光程差,进一步的缩短了延迟线的需求长度,从而减少了光学FIR滤波器中光信号数据所需的传播长度,从而减小了光学FIR滤波器中光信号的传输损耗。

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