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公开(公告)号:CN119511445A
公开(公告)日:2025-02-25
申请号:CN202411915050.2
申请日:2024-12-24
Applicant: 广州光电存算芯片融合创新中心
Abstract: 本发明涉及光通信技术领域,尤其涉及一种基于双层波导的90度光混频器及其制备方法,包括衬底以及设于衬底上的氧化层、第一波导层、第二波导层以及包层;第一波导层和第二波导层均设置于包层中,且第二波导层通过另一层氧化层与第一波导层在垂直于波导传输平面的方向上间隔设置,形成层间结构;第一波导层和第二波导层之间设置有层间定向耦合部分;层间定向耦合部分用于提供第一波导层与第二波导层之间的光信号耦合,以使信号光和本振光在所述第一波导层和所述第二波导层之间传输,并在各自的多模干涉区内发生混频。本发明提出的90度光混频器通过双层波导结构,显著降低了交叉波导的传输损耗和串扰,实现了高性能、高集成度的光信号混频。