公开(公告)号：CN119471918A

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202411915044.7

申请日：2024-12-24

Applicant: 广州光电存算芯片融合创新中心

Inventor： 喻颖 ,  杨家炜 ,  余思远

IPC: G02B6/293 ,  G02B6/122 ,  G02B6/12 ,  G02B6/136 ,  G02B6/42 ,  G02B6/43 ,  G03F7/20 ,  G03F7/16 ,  G06E3/00 ,  H04B10/25

Abstract: 本发明涉及一种微环谐振器及其制备方法，属于集成光子器件与半导体制造技术领域。本发明的微环谐振器，包括微环结构和总线波导，所述微环谐振器的材料包括AlxGa1‑xAs，其中x＞0.4。本发明提供的微环谐振器是一种集成的O波段微环谐振器，该谐振器具有高效率、小型化和集成化的特点，相对于现有的氮化硅和铌酸锂微环谐振器，具有相当的品质因子，同时产生光频梳的阈值低至微瓦量级。本发明的微环谐振器采用Al组分大于0.4的AlGaAs材料，有效降低了双光子吸收(TPA)现象带来的损耗，提高了光频梳的生成效率和稳定性。