公开(公告)号：CN119725123A

公开(公告)日：2025-03-28

申请号：CN202411647583.7

申请日：2024-11-18

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 张昱 ,  方杨宾 ,  谢伟良 ,  翁铭 ,  李宇涛 ,  张上进 ,  杨冠南 ,  黄光汉 ,  崔成强

IPC: H01L21/607

Abstract: 本发明公开一种桥连封装互连方法，包括以下步骤：S1、制备蘸取界面，在蘸取基体的表面上涂敷纳米颗粒浆料或者沉积固体纳米颗粒，获得含有纳米颗粒层的蘸取界面，所述纳米颗粒层的厚度小于1μm；S2、将蘸取体和基底清洗干净后进行预处理；S3、键合机的吸头吸取带有铜柱端的蘸取体，将铜柱端浸入蘸取界面蘸取后提起；S4、通入保护气体，通过键合机的光学系统，将蘸取体上的铜柱端对准所述基底上对应的焊接区，并且施加相应的压力、超声和温度以进行键合；S5、键合后室温冷却后得到超细节距桥连封装结构。本发明解决在chiplet以及异构集成领域中，无法实现硅桥与芯片的超细节距互连，不能满足高密度封装的要求的问题。

公开(公告)号：CN119076983A

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN202411202975.2

申请日：2024-08-29

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 张昱 ,  张上进 ,  方杨宾 ,  黄俊 ,  谢伟良 ,  杨冠南 ,  黄光汉 ,  崔成强

IPC: B22F12/90 ,  B22F12/41 ,  B22F10/28 ,  B22F10/366 ,  B33Y30/00 ,  B33Y10/00

Abstract: 一种纳米颗粒打印并行烧结装置及方法，包括与控制机构电联接的激光烧结机构、纳米颗粒生成打印机构、真空沉积腔、移动平台和CDD高分辨率相机；移动平台设于真空沉积腔内，移动平台用于放置打印基板；激光烧结机构和纳米颗粒生成打印机构设于移动平台的上方，纳米颗粒生成打印机构用于生成纳米颗粒，并将纳米颗粒向打印基板打印形成纳米颗粒线路，激光烧结机构用于对纳米颗粒线路进行激光烧结。本发明可以在任意衬底上打印任意的导电或半导体材料，可实现点，线，面以及图案化打印，同时进行跟踪烧结沉积颗粒，可应用于电催化、化学、光学或生物传感以及电池和微电子产品封装制造等领域。

公开(公告)号：CN118994970A

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202411153719.9

申请日：2024-08-21

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 张昱 ,  谢伟良 ,  方杨宾 ,  黄俊 ,  张上进 ,  杨冠南 ,  黄光汉 ,  崔成强

IPC: C09D11/52

Abstract: 本发明涉及导电油墨技术领域，公开了一种导电油墨的制备方法及其应用，导电油墨的制备方法包括以下步骤；S1)在搅拌的两个反应容器中分别加入溶剂，然后使金属盐或还原剂溶解于其中的一个反应容器的溶剂中，分别制得金属盐溶液和还原剂溶液；S2)将所述金属盐溶液和所述还原剂溶液分别降温至3‑10℃，然后搅拌混合均匀于一个反应容器中，即制得所述导电油墨；所述还原剂与所述金属盐的还原反应温度为50‑160℃。将金属盐溶液和还原剂溶液降温至3‑10℃再混合，可减缓金属盐和还原剂在步骤S2)的混合过程中发生还原反应，制得的所述导电油墨为金属盐溶解完全的溶液。

公开(公告)号：CN118455530A

公开(公告)日：2024-08-09

申请号：CN202410563274.5

申请日：2024-05-08

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 张昱 ,  方杨宾 ,  张上进 ,  黄俊 ,  陈乾 ,  崔成强 ,  杨冠南 ,  黄光汉

IPC: B22F9/14 ,  B22F1/054 ,  B82Y30/00

Abstract: 本发明公开了一种二元纳米金属固溶体的制备方法及制备系统，涉及纳米材料制备技术领域。二元纳米金属固溶体的制备方法包括以下步骤：将两个金属电极靶材分别安装于火花烧蚀装置的内部；向火花烧蚀装置中通入温度为‑100～20℃的载气，排尽空气后启动火花烧蚀装置，金属电极靶材气化形成等离子体，在载气的作用下两种等离子体冷却和重组，进行无序排列，形成初始固溶体颗粒；初始固溶体颗粒在载气的作用下碰撞和团聚，形成二元纳米金属固溶体。本发明二元纳米金属固溶体的制备方法，工艺简单且生产效率高，能够实现工业化生产，解决了现有纳米金属固溶体的制备方法因制备过程复杂、生产效率低和生产条件苛刻而导致制备成本高和难以实现工业化生产的问题。

公开(公告)号：CN119040805A

公开(公告)日：2024-11-29

申请号：CN202411168808.0

申请日：2024-08-23

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 张昱 ,  方杨宾 ,  黄文俊 ,  莫金圣 ,  梁耀民 ,  张上进 ,  陈乾 ,  崔成强 ,  杨冠南 ,  黄光汉

IPC: C23C14/14 ,  C23C14/34 ,  B22F9/02 ,  B22F1/054

Abstract: 一种固溶比可控的纳米金属固溶体的制备方法、系统和用途；制备方法，包括以下步骤：步骤(1)：火花烧蚀装置通入‑196～20℃的惰性气体，排空火花烧蚀装置的空气；金属电极靶材的电压范围为0.5～15KV，脉冲电流范围为0.5～25mA；步骤(2)：启动火花烧蚀装置使等离子体在惰性气体的冷却作用重组和无序排列，形成初始固溶体颗粒；改变制备方法的工艺参数来控制固溶体各金属元素的固溶度；工艺参数包括：电极位置、电源参数、靶材端面面积和惰性气体流速；步骤(3)：初始固溶体颗粒随惰性气体经出气管路流入收集装置，获得纳米金属固溶体材料。本方案解决了纳米金属固溶体材料容易污染、效率低、成本大和步骤繁琐的问题。

公开(公告)号：CN119812031A

公开(公告)日：2025-04-11

申请号：CN202510001837.6

申请日：2025-01-02

Applicant: 广东工业大学

Inventor： 张昱 ,  翁铭 ,  方杨宾 ,  张上进 ,  陆华磊 ,  杨冠南 ,  黄光汉 ,  崔成强

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/768 ,  G06T7/00

Abstract: 一种自适应高精度线路修复方法，包括以下步骤：S1、通过光源照射被测样品，CCD高分辨率相机采集图像数据检测出线路存在的缺陷；S2、通过图像分析装置分析所收集到的缺陷图像数据得出喷嘴的修复路径，运用经验公式计算自适应改变喷嘴的运行参数；S3、通过电火花烧蚀装置烧蚀靶材电极制备纳米金属颗粒；S4、使用载气流速控制装置调节惰性气体流速将纳米金属颗粒送到纳米颗粒打印烧结装置中；S5、通过干气溶胶打印喷嘴将金属纳米颗粒打印到线路缺陷位置，通过喷嘴移动和基板下的可移动平台辅助下实现线路的完整修复；S6、开启加压泵和加热组件来实现加压加热烧结腔内基板上的金属纳米颗粒。本方案提高了线路修复的加工效率。