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公开(公告)号:CN112271221A
公开(公告)日:2021-01-26
申请号:CN202011090280.1
申请日:2020-10-13
申请人: 常熟理工学院 , 苏州腾晖光伏技术有限公司
IPC分类号: H01L31/0216 , H01L31/0236 , H01L31/18 , B82Y30/00 , B82Y40/00
摘要: 本发明公开了一种具备微结构的三层氮化硅减反层,包括按光线入射方向依次层叠的第一氮化硅膜、第二氮化硅膜和第三氮化硅膜,所述第一氮化硅膜、第二氮化硅膜和第三氮化硅膜折射率依次增加而厚度依次减小,所述三层氮化硅减反层设有贯通所述第一氮化硅膜、第二氮化硅膜和第三氮化硅膜的纳米圆柱孔阵列微结构。本发明还公开了具备微结构的三层氮化硅减反层的制备方法,以等离子增强气相沉积法沉积氮化硅膜,由氮气流量和硅烷流量的比例控制氮化硅膜折射率,通过调控沉积时间控制氮化硅膜厚度。本发明在扩展增透光谱宽度的同时提高了光吸收率,且制备工艺兼容现有硅基电池工艺。
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公开(公告)号:CN112271221B
公开(公告)日:2022-05-17
申请号:CN202011090280.1
申请日:2020-10-13
申请人: 常熟理工学院 , 苏州腾晖光伏技术有限公司
IPC分类号: H01L31/0216 , H01L31/0236 , H01L31/18 , B82Y30/00 , B82Y40/00
摘要: 本发明公开了一种具备微结构的三层氮化硅减反层,包括按光线入射方向依次层叠的第一氮化硅膜、第二氮化硅膜和第三氮化硅膜,所述第一氮化硅膜、第二氮化硅膜和第三氮化硅膜折射率依次增加而厚度依次减小,所述三层氮化硅减反层设有贯通所述第一氮化硅膜、第二氮化硅膜和第三氮化硅膜的纳米圆柱孔阵列微结构。本发明还公开了具备微结构的三层氮化硅减反层的制备方法,以等离子增强气相沉积法沉积氮化硅膜,由氮气流量和硅烷流量的比例控制氮化硅膜折射率,通过调控沉积时间控制氮化硅膜厚度。本发明在扩展增透光谱宽度的同时提高了光吸收率,且制备工艺兼容现有硅基电池工艺。
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公开(公告)号:CN117510433A
公开(公告)日:2024-02-06
申请号:CN202311471084.2
申请日:2023-11-07
申请人: 常熟理工学院
IPC分类号: C07D277/64 , C09K11/06 , G01N21/64 , G01N21/80
摘要: 本发明公开了一种苯并噻唑类有机化合物及其应用,具体地说,是在单一激发光激发下观测溶液pH和检测RNA的应用。本发明化合物化学名称为:(E)‑2‑(3‑氯‑4‑羟基‑5‑甲氧基苯乙烯基)‑3‑甲基苯并噻唑‑3‑碘盐。该有机化合物同时具有pH值响应特性,可在单一激发光激发下,实现溶液pH值的检测。因此,本发明有机化合物能够用于污水pH值及生物pH值微环境的检测。本发明化合物还可以用于检测RNA。由于肿瘤微环境与pH值和RNA密切相关,因此,本发明化合物可以用于制备肿瘤诊断试剂,用于制备肿瘤的荧光成像试剂或放射性显像试剂。
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