多孔金字塔减反射结构制备方法及HIT太阳能电池制备工艺

    公开(公告)号:CN103474518B

    公开(公告)日:2015-09-09

    申请号:CN201310467811.8

    申请日:2013-10-10

    发明人: 陆中丹 石建华

    IPC分类号: H01L31/20

    CPC分类号: Y02P70/521

    摘要: 本发明公开了一种多孔金字塔减反射结构制备方法及HIT太阳能电池制备工艺,多孔金字塔减反射结构制备方法的步骤如下:1)对单晶硅衬底进行清洗制绒,使其表面形成金字塔结构的绒面;2)将具有所述金字塔结构的单晶硅衬底浸没在酸性溶液中进行处理;3)采用反应离子刻蚀方法对经过步骤2)处理的单晶硅衬底进行刻蚀,在金字塔结构上制备纳米结构,使经过步骤2)处理的单晶硅衬底表面形成多孔状金字塔结构;4)将经过步骤3)处理后的单晶硅衬底进行碱刻蚀,得到该太阳能电池表面的多孔金字塔减反射结构。本发明能够降低衬底的反射率,从而提高短路电流密度的同时提高了衬底的钝化效果,适当地提高了电池的开路电压,提高了电池的转换效率。

    多孔金字塔减反射结构制备方法及HIT太阳能电池制备工艺

    公开(公告)号:CN103474518A

    公开(公告)日:2013-12-25

    申请号:CN201310467811.8

    申请日:2013-10-10

    发明人: 陆中丹 石建华

    IPC分类号: H01L31/20

    CPC分类号: Y02P70/521

    摘要: 本发明公开了一种多孔金字塔减反射结构制备方法及HIT太阳能电池制备工艺,多孔金字塔减反射结构制备方法的步骤如下:1)对单晶硅衬底进行清洗制绒,使其表面形成金字塔结构的绒面;2)将具有所述金字塔结构的单晶硅衬底浸没在酸性溶液中进行处理;3)采用反应离子刻蚀方法对经过步骤2)处理的单晶硅衬底进行刻蚀,在金字塔结构上制备纳米结构,使经过步骤2)处理的单晶硅衬底表面形成多孔状金字塔结构;4)将经过步骤3)处理后的单晶硅衬底进行碱刻蚀,得到该太阳能电池表面的多孔金字塔减反射结构。本发明能够降低衬底的反射率,从而提高短路电流密度的同时提高了衬底的钝化效果,适当地提高了电池的开路电压,提高了电池的转换效率。

    一种降低P型衬底HIT太阳能电池串阻的方法

    公开(公告)号:CN103094395A

    公开(公告)日:2013-05-08

    申请号:CN201210294465.3

    申请日:2012-08-17

    CPC分类号: Y02E10/50 Y02P70/521

    摘要: 本发明公开了降低P型衬底HIT太阳能电池串阻的方法。根据本发明的一种P型衬底HIT太阳能电池,包括:P型晶硅衬底层;P型晶硅衬底层两侧的第一和第二本征非晶硅层;第一本征非晶硅层外侧的N型非晶硅层;第二本征非晶硅层外侧的P型非晶硅层;N型非晶硅层外侧的第一TCO层和电极;以及P型非晶硅层外侧的第二TCO层和电极,其中,所述第二TCO层是由高功函数TCO层和低功函数TCO层组成的叠层,高功函数TCO层和P型非晶硅层接触。本发明同时公开了形成上述太阳能电池的相应方法。