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公开(公告)号：CN112888714B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN201980067579.4
申请日：2019-10-09
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: C08F2/00 , C08F2/44 , C08F283/04 , C08F290/14 , C08L79/04 , G03F7/027 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种固化膜的制造方法，其包括将包含选自由聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体组成的组中的至少一种聚合物前体和自由基聚合性单体的树脂组合物适用于基板来形成膜的工序和将膜在氧分压为6～150Pa的气氛下加热固化的工序。也提供一种树脂组合物、固化膜、层叠体的制造方法及半导体元件的制造方法。
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公开(公告)号：CN111819306A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201980014436.7
申请日：2019-02-21
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种膜的制造方法，其包括使用组合物在部件上进行狭缝涂布的工序，上述部件至少在其一部分包含金属，上述组合物包含：聚酰亚胺前体；在23℃下对聚酰亚胺前体的溶解度不同的至少2种溶剂；及选自由表面活性剂及增塑剂组成的组中的至少一种。本发明还涉及与该膜的制造方法相关的层叠体的制造方法、半导体器件的制造方法及膜形成用组合物。
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公开(公告)号：CN109313397A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201780032974.X
申请日：2017-05-31
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/40 , G03F7/037 , G03F7/20 , G03F7/38 , H01L21/312 , H01L25/065 , H01L25/07 , H01L25/18
Abstract: 本发明提供一种能够抑制层叠有基板、固化膜及金属层时的层间剥离的层叠体的制造方法、半导体元件的制造方法及半导体元件。一种层叠体的制造方法，其包括依次进行的如下工序：感光性树脂组合物层形成工序，将感光性树脂组合物应用于基板而形成为层状；曝光工序，对应用于基板的感光性树脂组合物层进行曝光；显影处理工序，对所曝光的感光性树脂组合物层进行显影处理；固化工序，对显影后的感光性树脂组合物层进行固化；及金属层形成工序，通过气相成膜于固化工序后的感光性树脂组合物层的表面形成金属层，形成金属层时的固化工序后的感光性树脂组合物层的温度低于固化工序后的感光性树脂组合物层的玻璃化转变温度。
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公开(公告)号：CN110462514A
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201880020894.7
申请日：2018-03-26
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种固化后的固化膜的翘曲小，并且图案形成时的光刻性优异的感光性树脂组合物、以及固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件。该感光性树脂组合物包含：聚酰亚胺前体，包含包括联苯结构的重复单元；及光聚合引发剂，具有通过照射光而能够产生芳基自由基的肟结构。
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公开(公告)号：CN110462514B
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN201880020894.7
申请日：2018-03-26
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种固化后的固化膜的翘曲小，并且图案形成时的光刻性优异的感光性树脂组合物、以及固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件。该感光性树脂组合物包含：聚酰亚胺前体，包含包括联苯结构的重复单元；及光聚合引发剂，具有通过照射光而能够产生芳基自由基的肟结构。
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公开(公告)号：CN109313397B
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN201780032974.X
申请日：2017-05-31
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/40 , G03F7/037 , G03F7/20 , G03F7/38 , H01L21/312 , H01L25/065 , H01L25/07 , H01L25/18
Abstract: 本发明提供一种能够抑制层叠有基板、固化膜及金属层时的层间剥离的层叠体的制造方法、半导体元件的制造方法及半导体元件。一种层叠体的制造方法，其包括依次进行的如下工序：感光性树脂组合物层形成工序，将感光性树脂组合物应用于基板而形成为层状；曝光工序，对应用于基板的感光性树脂组合物层进行曝光；显影处理工序，对所曝光的感光性树脂组合物层进行显影处理；固化工序，对显影后的感光性树脂组合物层进行固化；及金属层形成工序，通过气相成膜于固化工序后的感光性树脂组合物层的表面形成金属层，形成金属层时的固化工序后的感光性树脂组合物层的温度低于固化工序后的感光性树脂组合物层的玻璃化转变温度。
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公开(公告)号：CN112888714A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN201980067579.4
申请日：2019-10-09
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: C08F2/00 , C08F2/44 , C08F283/04 , C08F290/14 , C08L79/04 , G03F7/027 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种固化膜的制造方法，其包括将包含选自由聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体组成的组中的至少一种聚合物前体和自由基聚合性单体的树脂组合物适用于基板来形成膜的工序和将膜在氧分压为6～150Pa的气氛下加热固化的工序。也提供一种树脂组合物、固化膜、层叠体的制造方法及半导体元件的制造方法。
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