公开(公告)号：CN111819306A

公开(公告)日：2020-10-23

申请号：CN201980014436.7

申请日：2019-02-21

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 泽野充 ,  福原庆 ,  增田诚也 ,  岛田和人

IPC: C23C26/00 ,  B05C5/02 ,  B05D1/26 ,  B05D3/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/037 ,  G03F7/16

Abstract: 本发明提供一种膜的制造方法，其包括使用组合物在部件上进行狭缝涂布的工序，上述部件至少在其一部分包含金属，上述组合物包含：聚酰亚胺前体；在23℃下对聚酰亚胺前体的溶解度不同的至少2种溶剂；及选自由表面活性剂及增塑剂组成的组中的至少一种。本发明还涉及与该膜的制造方法相关的层叠体的制造方法、半导体器件的制造方法及膜形成用组合物。

公开(公告)号：CN111819494A

公开(公告)日：2020-10-23

申请号：CN201980015313.5

申请日：2019-02-22

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 增田诚也

IPC: G03F7/038 ,  C08F20/28 ,  C08F212/14 ,  G03F7/039 ,  G03F7/11

Abstract: 本发明提供一种感光层、层叠体、感光性树脂组合物、试剂盒，该感光层包含于具有水溶性树脂层和感光层的层叠体中，感光层由感光性树脂组合物形成，该感光性树脂组合物包含通过活化光线或辐射线的照射而产生酸的化合物以及通过酸的作用而产生对乙酸丁酯的溶解速度的变化的树脂，通过上述酸的作用而产生对乙酸丁酯的溶解速度的变化的树脂为可溶于23℃的乙酸丁酯的疏水性树脂，该树脂的重均分子量为10,000～50,000，且通过疏水性保护基保护所有结构单元中50摩尔％至100摩尔％可溶于碱水溶液的单元，将未照射的上述感光层浸渍于23℃的乙酸丁酯时的溶解速度为20nm/s以上且200nm/s以下，上述水溶性树脂层上的上述感光性树脂组合物的静态接触角为60°以下。

公开(公告)号：CN111758074A

公开(公告)日：2020-10-09

申请号：CN201980013984.8

申请日：2019-02-21

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 增田诚也

IPC: G03F7/038 ,  C08F20/28 ,  G03F7/039 ,  G03F7/11 ,  G03F7/20 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786 ,  H01L51/05 ,  H01L51/40

Abstract: 本发明涉及一种感光层，其包含于具有水溶性树脂层和感光层的层叠体中，上述感光层为由感光性树脂组合物形成的层，该感光性树脂组合物包含通过活化光线及辐射线中的至少一个的照射而产生酸的化合物、对于乙酸丁酯的溶解速度通过酸的作用而发生变化的树脂及水，上述感光性树脂组合物中的水的含量为0.008质量％以上且1质量％以下。并且，本发明涉及一种与该感光层相关联的层叠体、感光性树脂组合物、试剂盒及感光性树脂组合物的制造方法。

公开(公告)号：CN111788527A

公开(公告)日：2020-10-16

申请号：CN201980016086.8

申请日：2019-02-26

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 增田诚也

IPC: G03F7/11 ,  B32B27/18 ,  B32B27/30 ,  C08F220/10 ,  C08L29/04 ,  C08L39/06 ,  C08L101/14 ,  G03F7/20 ,  G03F7/32

Abstract: 本发明提供一种层叠体、水溶性树脂组合物及试剂盒，所述层叠体具有部件和部件表面的水溶性树脂层，所述层叠体中，水溶性树脂层为在浸渍于25℃的水中时以0.1～3.0μm/秒的速度进行溶解的层，水溶性树脂层由包含水溶性树脂及含有乙炔基的表面活性剂的水溶性树脂组合物形成，水溶性树脂组合物与部件的静态接触角为69°以下。