公开(公告)号：CN117740436A

公开(公告)日：2024-03-22

申请号：CN202311743933.5

申请日：2023-12-18

Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

Inventor： 石鑫 ,  芮阳 ,  赵延祥 ,  徐慶晧 ,  王黎光 ,  曹启刚 ,  史小锋 ,  王磊 ,  程博 ,  王忠保

IPC: G01N1/06

Abstract: 本发明提供一种半导体单晶晶棒检测样片的取样方法，涉及检测样片取样技术领域，首先将多个晶锭的端面进行面与面粘接、校正，得到晶棒，再将晶棒进行校正，得到校正晶棒，然后将校正晶棒粘接在树脂板上、固化，得到待切割晶棒，最后将待切割晶棒通过砂浆切片机进行切片，得到厚度小于1mm的样片；通过对晶棒进行校正，使得组成晶棒内的数个晶锭竖直向下，且晶棒的外圆修正、对齐，使得切出的样片无裂片、崩边，且样片厚度差（TTV）小于10mm。

公开(公告)号：CN118305657A

公开(公告)日：2024-07-09

申请号：CN202410614488.0

申请日：2024-05-17

Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

Inventor： 石鑫 ,  赵延祥 ,  芮阳 ,  王黎光 ,  程博 ,  王磊 ,  何洋 ,  白玉 ,  史小峰 ,  伊冉 ,  王忠保

IPC: B24B5/04 ,  B24B5/50 ,  B24B55/06 ,  B24B55/03

Abstract: 一种晶棒滚磨装置及滚磨方法，包括第一夹持部、第二夹持部、清洗机构、磨削机构、开槽机构；第一夹持部、第二夹持部可将晶棒夹持固定且能带动晶棒沿其轴线周向转动；磨削机构包括可沿晶棒轴向方向移动的支架、以及设于支架上的磨削砂轮、第一出水管、第二出水管；第一出水管上设有与第一出水管形成夹角的第一喷头，第二出水管上设有与第二出水管形成夹角的第二喷头；开槽机构包括可沿晶棒轴向方向移动的固定架、以及设于固定架上的开槽砂轮、第三出水管；第三出水管上设有与第三出水管形成夹角的第三喷头；清洗机构设于晶棒的正上方。本发明可使加工中的晶棒表面保持干净，有效的带走磨屑和热量，降低了晶棒表面的粗糙度和减少了晶棒的损伤层。