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公开(公告)号：CN116147705B
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202310220997.0
申请日：2023-03-09
Applicant: 大连理工大学 , 中国航空工业集团公司沈阳空气动力研究所
IPC: G01D21/02
Abstract: 本发明属于测试领域，提出一种高温温度和压力原位复合测量传感器、制备及使用方法，包括敏感元件、陶瓷基座和耐高温引线；敏感元件为设有高温电极的弹性膜片，其包括五个铂金属电极和四个氧化铟锡压敏电阻。四个阻值相等的氧化铟锡压敏电阻连成惠斯登电桥。该传感器集成亚微米厚度的铂薄膜热敏电阻和氧化铟锡压敏电阻，实现原位同时测量温度‑压力参量。传感元件采用倒装齐平式封装，敏感的弹性膜片直接感受介质温度压力，避免引进气道管腔效应的影响。该测试方法无引压进气道，固有频率约等于敏感元件的固有频率，可实现高频动态测量。
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公开(公告)号：CN114752900A
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202210290345.X
申请日：2022-03-23
Applicant: 大连理工大学
IPC: C23C14/35 , C23C14/04 , C23C14/06 , C23C14/08 , C23C14/10 , C23C14/58 , C23F1/18 , C23F1/28 , G01B21/32
Abstract: 本发明涉及薄膜传感器设计、生产与安装技术领域，具体的，涉及一种薄膜传感器的制备、释放以及转移贴装方法。本发明解决了现有工艺难以在大型构件和具有复杂曲面构件上应用薄膜传感器的问题，各层薄膜应力相互补偿，有效降低了薄膜传感器的残余应力，且有利于发挥MEMS工艺生产效率高的特点。另外，释放后的薄膜传感器可以保存在转移胶带上，运输和储存成本低，粘贴工艺简单，使用方便。
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公开(公告)号：CN112344842B
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN202011067347.X
申请日：2020-10-06
Applicant: 大连理工大学
IPC: G01B7/16
Abstract: 本发明一种高温环境下对应变计进行测试标定的装置，属于高温应变技术领域，涉及一种在高温环境下对应变计进行测试标定的装置。该装置由电源、测量系统、加载系统、支撑单元、加热隔热系统、标定梁夹具组件组成。测量系统由温度传感器、位移传感器、位移传感器固定架、温度传感器固定架、计算机和数字仪表组成；加载系统由电机驱动器、电机执行器、直线步进电机和陶瓷接触杆组成；加热系统由燃气罐、燃气管、加热源依次连接构成。该装置精确控制应变计受热温度，高精度控制并测量应变计产生微应变。精确检测标定应变计的应变灵敏系数、漂移率、蠕变滞后等性能参数；具有操作简单，测试精度高、重复性好、温度变化范围广的特点。
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公开(公告)号：CN117553931A
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202311437379.8
申请日：2023-11-01
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明属于温度传感器技术领域，公开一种高温薄膜温度传感器及其制备方法。高温薄膜温度传感器包括陶瓷衬底、沉积在陶瓷衬底表面的铂薄膜敏感层以及覆盖在铂薄膜敏感层和陶瓷衬底上的氧化铝保护层；氧化铝保护层的制备材料包括氧化铝溶胶和氧化铝混合液；氧化铝混合液位于两层氧化铝溶胶间；铂薄膜敏感层一端连接连接电极，连接电极与引线连接。通过真空镀膜技术在陶瓷衬底上沉积了致密的铂薄膜敏感层，然后采用电射流逐层打印技术在铂薄膜敏感层和陶瓷衬底上沉积了氧化铝保护层。本发明的高温薄膜温度传感器的测温上限可达1400℃，该产品可以满足1000℃以上高温端的实时在线测量，可在航空航天技术领域中得到很好的应用。
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公开(公告)号：CN116147705A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202310220997.0
申请日：2023-03-09
Applicant: 大连理工大学 , 中国航空工业集团公司沈阳空气动力研究所
IPC: G01D21/02
Abstract: 本发明属于测试领域，提出一种高温温度和压力原位复合测量传感器、制备及使用方法，包括敏感元件、陶瓷基座和耐高温引线；敏感元件为设有高温电极的弹性膜片，其包括五个铂金属电极和四个氧化铟锡压敏电阻。四个阻值相等的氧化铟锡压敏电阻连成惠斯登电桥。该传感器集成亚微米厚度的铂薄膜热敏电阻和氧化铟锡压敏电阻，实现原位同时测量温度‑压力参量。传感元件采用倒装齐平式封装，敏感的弹性膜片直接感受介质温度压力，避免引进气道管腔效应的影响。该测试方法无引压进气道，固有频率约等于敏感元件的固有频率，可实现高频动态测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112179265A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202011019844.2
申请日：2020-09-25
Applicant: 大连理工大学
IPC: G01B7/16
Abstract: 本发明用于高温应变传感器静态性能标定装置及标定方法属于高温应变测试技术领域，涉及一种用于高温应变传感器静态性能标定装置及标定方法。该标定装置由高温炉、加载测量系统组成，其中高温炉由加热和保温单元、夹持单元及温控单元组成，加载测量系统由加载单元和测量单元组成。标定方法采用高温应变传感器静态性能标定装置进行标定，先安装夹持系统，再安装标定梁、加载测量系统，最后，对高温传感器灵敏度系数、高温传感器漂移率进行标定。方法具有操作简单，测试精度高、重复性好、温度变化范围大、实验结果可靠的特点，为高温下静态标定电阻应变传感器的性能参数提供了有效的实验平台。
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公开(公告)号：CN116929904A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310569432.3
申请日：2023-05-19
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明属于高温测量技术领域，涉及一种宽温域多模式应变和弹性模量标定装置与方法。本发明不仅实现了在宽温域(室温～1700℃)多元气氛(大气、真空或惰性等气氛)环境下应变片可靠标定，且实现在宽温域多元气氛下对材料的弹性模量迁变情况的记录和测量，还实现了依据被测基底材料的特征择优选取等强度标定梁或四点弯曲梁标定方式，扩展了对不同基底材料测试的应用范围，为高温应变片的性能标定提供了有效的实验平台，为航空航天高温部件的应变检测提供数据支持。
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公开(公告)号：CN113804333A
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202110973419.5
申请日：2021-08-24
Applicant: 大连理工大学
IPC: G01K19/00
Abstract: 本发明一种高温热流传感器动态性能标定装置属于热流传感器测试领域，涉及一种用于高温热流传感器动态性能标定装置。标定装置由大热流环境供给部件、夹具部件、传感器组件、输送机构、炉口开闭控制机构组成。大热流环境供给部件由高温炉和炉口组成；夹具部件由螺纹手柄、大小V型块、夹具底板、夹具支撑架构成；传感器组件由传感器安装杆、多功能法兰盘、被测热流传感器、标准热流传感器组成；输送机构由导轨、电器控制箱、滑台、底座、驱动电机组成。本发明利用驱动电机驱动滑台，带动被测热流传感器和标准传感器，以相同的速率进入炉膛，采集两个传感器的输出信号分析对比，完成被测传感器的标定。装置结构设计巧妙、标定准确，适应范围广。
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公开(公告)号：CN112179265B
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN202011019844.2
申请日：2020-09-25
Applicant: 大连理工大学
IPC: G01B7/16
Abstract: 本发明用于高温应变传感器静态性能标定装置及标定方法属于高温应变测试技术领域，涉及一种用于高温应变传感器静态性能标定装置及标定方法。该标定装置由高温炉、加载测量系统组成，其中高温炉由加热和保温单元、夹持单元及温控单元组成，加载测量系统由加载单元和测量单元组成。标定方法采用高温应变传感器静态性能标定装置进行标定，先安装夹持系统，再安装标定梁、加载测量系统，最后，对高温传感器灵敏度系数、高温传感器漂移率进行标定。方法具有操作简单，测试精度高、重复性好、温度变化范围大、实验结果可靠的特点，为高温下静态标定电阻应变传感器的性能参数提供了有效的实验平台。
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公开(公告)号：CN113804333B
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN202110973419.5
申请日：2021-08-24
Applicant: 大连理工大学
IPC: G01K19/00
Abstract: 本发明一种高温热流传感器动态性能标定装置属于热流传感器测试领域，涉及一种用于高温热流传感器动态性能标定装置。标定装置由大热流环境供给部件、夹具部件、传感器组件、输送机构、炉口开闭控制机构组成。大热流环境供给部件由高温炉和炉口组成；夹具部件由螺纹手柄、大小V型块、夹具底板、夹具支撑架构成；传感器组件由传感器安装杆、多功能法兰盘、被测热流传感器、标准热流传感器组成；输送机构由导轨、电器控制箱、滑台、底座、驱动电机组成。本发明利用驱动电机驱动滑台，带动被测热流传感器和标准传感器，以相同的速率进入炉膛，采集两个传感器的输出信号分析对比，完成被测传感器的标定。装置结构设计巧妙、标定准确，适应范围广。
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