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公开(公告)号：CN118849622A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202411209189.5
申请日：2024-08-30
申请人： 大连理工大学宁波研究院 , 大连理工大学
摘要： 本发明提供一种电流体喷印沉积成膜厚度控制方法及装置，属于增材精密制造技术领域。该控制方法通过以下步骤实现：规划和匹配目标膜厚所需的目标喷印流量和目标喷印线宽，将喷射模式调节成稳定锥射流模式，喷印头扫掠过一定面积沉积成膜，监测喷印流量值反馈调节确定目标气动压力值，监测喷印线宽值反馈调节确定喷嘴与基板之间的目标电压值。还提供一种膜厚控制装置，视觉识别相机识别喷印线宽值反馈调控电场控制模块，重量传感器或液位传感器识别喷印流量值反馈调控气动控制模块。本发明可以获取喷印流量值与气动气压值、以及电场力与喷印线宽值的关系，实现了对成膜厚度工艺参数的快捷在线调节控制。
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公开(公告)号：CN117706355A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202311601007.4
申请日：2023-11-28
申请人： 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
摘要： 一种微型压电环形马达测试装置，属于微型压电执行器领域，包括环形马达驱动模块、环形马达定子调节模块、转子预压力及负载调节模块、环形马达转速测量模块。驱动模块产生的高频电压信号输入至环形马达定子，定子通过逆压电效应产生驱动行波，带动与之贴合的转子转动；通过调节模块使定子中心轴和转子中心轴重合，通过预压力及负载调节模块精准调节定子预压力并对其施加负载；通过转速测量模块实时精准采集转子性能参数并在上位机中分析和实时监测。本装置避免测试过程中由于环形马达定子和转子偏心产生的测试偏差和预压力不适配产生的测试偏差，提高测试准确性，同时测试过程中涉及的相关测试变量(负载、预压力、转子材质等)易于调节，使得测试效率有极大提升。
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公开(公告)号：CN117200607A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311019870.9
申请日：2023-08-14
申请人： 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
摘要： 本发明提供了一种多阶弯曲模态耦合的平面万向压电执行器及驱动方法，属于微型压电驱动技术领域。该压电直线执行器包括压电叠层结构和驱动足；其中压电叠层结构由至少2层压电片叠堆并连接而成，叠堆方向包括沿压电片的厚度方向，每一层压电片在表面上均设有电极；驱动足设置在压电叠层结构的朝向弯曲振动的振动方向的面上；该执行器包含两个方向互为正交的振动工作模态，分别是一阶弯曲振动和二阶弯曲振动的复合模态，以及两相正交一阶弯曲振动复合模态，两种工作模态分别用于驱动动子实现两个互为正交方向的直线运动。本发明可以使马达动子在平面内沿任一方向驱动，具备外形尺寸小、驱动电压低、负载能力强、推重比高的技术效果。
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公开(公告)号：CN117156949A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202310980107.6
申请日：2023-08-04
申请人： 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
摘要： 本发明提供一种基于压电陶瓷钎焊的微型多齿压电执行器及制备方法，包括金属微齿、压电功能层、分区微电极、微电极间隔层、微电极连通线、柔性电路层。该压电执行器根据直线驻波的原理，通过对压电陶瓷块材施加交变的电压激励出压电执行器的振动模态，使压电执行器产生波形，通过弹性体的金属微齿进行驱动，实现动子的直线运动。本发明压电功能层与金属弹性体采用焊接的方式进行连接，使压电功能层与金属弹性体形成一体，能够显著提高弹性体与压电陶瓷的结合强度，减少能量损失，提高驱动性能和长期使用的可靠性。本发明还结合了MEMS工艺，提高了加工精度，改善了引线结构，实现了微型多齿压电执行器微型化与批量制备，满足狭小空间驱动要求。
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公开(公告)号：CN113783469A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202110905446.9
申请日：2021-08-09
申请人： 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
摘要： 本发明提供了一种微型压电厚膜振子，包括压电陶瓷厚膜、下电极、弹性体、分区上电极。该振子的结构根据功能可分为环形和直线形，通过给压电陶瓷施加交变电压激励出振子的驱动模态，使振子表面形成波形，实现动子不同的运动。压电陶瓷厚度介于薄膜和厚膜之间，兼具块材与薄膜的优点，驱动力大、驱动电压低。本发明通过电流体喷印技术直接将压电陶瓷厚膜喷印至下电极表面，通过共烧技术使弹性体、下电极和压电陶瓷厚膜形成无界面的整体，实现压电陶瓷厚膜和弹性体的一体化体系，显著提高了压电陶瓷和弹性体的结合强度，并提高了振子的驱动性能和长期可靠性，实现了微型化、大驱动力的压电振子制备，能满足狭小空间驱动要求。
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公开(公告)号：CN112477129A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202011121830.1
申请日：2020-10-20
申请人： 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
IPC分类号： B29C64/209 , B29C64/321 , B29C64/30 , B29C35/16 , B29C64/245 , B29C64/112 , B33Y30/00 , B33Y40/00
摘要： 一种低温电流体喷射打印喷头装置，属于先进制造技术领域，包括喷头模块和喷印制冷模块。喷头模块采用喷针与储液管、卡帽直接连接的方式，喷针采用绝缘材料并进行外侧疏水处理；装置内设有精密固定凹槽。喷印制冷模块位于喷头模块外侧，将涡流制冷器固定于喷头体侧壁，射流导向管对准喷针末端，衬底导向管与打印基板内的沟道相连，空气经冷却后，一部分导向喷针末端射流处，实现喷针和射流的冷却，另一部分充满带有沟道的打印基板，实现衬底的冷却，最终实现喷印全过程的冷却。本发明提高了电流体喷射打印过程墨水流量稳定性，避免了打印液滴摊开现象，解决了打印过程的爬胶、击穿、散点等难题，实现了高粘度墨水材料大高宽比、高精度的打印制造。
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公开(公告)号：CN117200606A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311019816.4
申请日：2023-08-14
申请人： 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
摘要： 本发明提供了一种叠层‑多齿微型压电直线执行器及其极化与驱动方法，属于微型压电驱动技术领域。该压电直线执行器包括压电叠层结构和驱动齿；其中压电叠层结构由至少2层压电材料片叠堆并连接而成，叠堆方向包括沿压电片的厚度方向，每一层压电材料片在顶面和底面上均设有电极；驱动足设置在压电叠层结构的朝向弯曲振动的振动方向的面上。该压电直线驱动器驱动动子沿正向直线运动的工作模态是第三阶弯振模态，驱动动子沿反向直线运动的工作模态是第四阶弯振模态。本发明具备外形尺寸小、驱动电压低、负载能力强、推重比高的技术效果。
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公开(公告)号：CN117192734A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311162333.X
申请日：2023-09-11
申请人： 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
摘要： 本发明提供了一种压电厚膜驱动的变形镜片及制备方法，属于微型压电驱动技术领域。该变形镜片包括上电极、环形压电厚膜层、下电极、基片、固态聚合物和下玻璃层。该变形镜片的制备步骤包括基片制备步骤、电极制备步骤、压电厚膜制备步骤、结构刻蚀步骤和封装步骤，其中压电厚膜制备采用基于电射流喷印原理的压电厚膜制备方法。该变形镜片通过对环形压电厚膜层施加直流电压，使之产生形变，驱动透光层与固态聚合物发生形变产生聚焦，实现焦距改变。本发明具有结构简单、体积小、变焦响应快、变焦范围大、无电磁干扰等优点，有利于满足现代光学摄像系统小型化、轻量化的需求。
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公开(公告)号：CN115149841A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210478296.2
申请日：2022-05-05
申请人： 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
摘要： 本发明提供了一种平面万向微型压电马达，属于微型压电马达技术领域。该压电马达采用四个相同的微型压电驱动元件在同一平面以正方形的方式对称布置，单个微型压电驱动元件均可实现双向运动，并且微型压电驱动元件能够实现单独控制。通过预压弹片实现微型压电驱动元件和被驱动部件的紧密贴合，利用万向槽与滚珠配合形成万向导引结构，实现平面内各方向的辅助运动。通过协同控制四个微型压电驱动元件的运动方向，实现旋转、直线或插补运动。本发明满足了安装空间纵向狭小的需求，微型压电驱动元件在压电马达驱动时同时被激发出驱动模态，能够提供大的推力，同时本发明结构紧凑，输出平稳，显著提高了压电马达的驱动性能以及大行程稳定性。
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公开(公告)号：CN113852292A
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202110905964.0
申请日：2021-08-09
申请人： 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
摘要： 本发明属于微型压电驱动器领域，提供了一种压电陶瓷‑基体一体化驱动器包括压电陶瓷、下电极、基体、分区上电极。基体上部分布齿形结构，底部为平面。下电极制备在基体底部。压电陶瓷通过电流体喷印技术直接将压电陶瓷喷印至下电极表面，通过高温共烧技术使基体、下电极和压电陶瓷形成无界面的整体，实现压电陶瓷和基体的一体化体系。分区上电极制备在压电陶瓷表面。本发明避免了传统压电驱动器中压电陶瓷粘接精度受限、工艺复杂等问题以及胶结层的结合强度差、对振动传递有损耗等问题，显著提高了压电陶瓷和基体的结合强度，并提高了驱动器的驱动性能和长期可靠性,实现了微型化、大驱动力的驱动器制造。
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