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公开(公告)号：CN113852292B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202110905964.0
申请日：2021-08-09
申请人： 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
IPC分类号： H02N2/16 , H02N2/14 , H02N2/12 , H02N2/00 , H10N30/074 , H10N30/093 , H10N30/097
摘要： 本发明属于微型压电驱动器领域，提供了一种压电陶瓷‑基体一体化驱动器包括压电陶瓷、下电极、基体、分区上电极。基体上部分布齿形结构，底部为平面。下电极制备在基体底部。压电陶瓷通过电流体喷印技术直接将压电陶瓷喷印至下电极表面，通过高温共烧技术使基体、下电极和压电陶瓷形成无界面的整体，实现压电陶瓷和基体的一体化体系。分区上电极制备在压电陶瓷表面。本发明避免了传统压电驱动器中压电陶瓷粘接精度受限、工艺复杂等问题以及胶结层的结合强度差、对振动传递有损耗等问题，显著提高了压电陶瓷和基体的结合强度，并提高了驱动器的驱动性能和长期可靠性,实现了微型化、大驱动力的驱动器制造。
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公开(公告)号：CN115149840A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210478254.9
申请日：2022-05-05
申请人： 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
摘要： 本发明提供了一种耦合驱动式微型压电马达，属于微型压电马达技术领域。该压电马达由协同运动支架和四个微型压电驱动元件组成。四个相同的微型压电驱动元件在同一平面以正方形的方式对称布置，单个微型压电驱动元件均可实现双向运动，并且能够实现单独控制。通过给微型压电驱动元件的压电体施加电压激励出驱动模态，使微型压电驱动元件表面形成波形，协同控制四个微型压电驱动元件的运动方向，即可实现旋转、直线或插补运动。本发明能满足安装空间纵向狭小的需求，四个微型压电驱动元件在压电马达驱动时被激发出驱动模态，能够提供大的推力；同时结构紧凑，输出平稳，显著提高了压电马达的驱动性能以及大行程稳定性。
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公开(公告)号：CN115149841A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210478296.2
申请日：2022-05-05
申请人： 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
摘要： 本发明提供了一种平面万向微型压电马达，属于微型压电马达技术领域。该压电马达采用四个相同的微型压电驱动元件在同一平面以正方形的方式对称布置，单个微型压电驱动元件均可实现双向运动，并且微型压电驱动元件能够实现单独控制。通过预压弹片实现微型压电驱动元件和被驱动部件的紧密贴合，利用万向槽与滚珠配合形成万向导引结构，实现平面内各方向的辅助运动。通过协同控制四个微型压电驱动元件的运动方向，实现旋转、直线或插补运动。本发明满足了安装空间纵向狭小的需求，微型压电驱动元件在压电马达驱动时同时被激发出驱动模态，能够提供大的推力，同时本发明结构紧凑，输出平稳，显著提高了压电马达的驱动性能以及大行程稳定性。
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公开(公告)号：CN113852292A
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202110905964.0
申请日：2021-08-09
申请人： 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
摘要： 本发明属于微型压电驱动器领域，提供了一种压电陶瓷‑基体一体化驱动器包括压电陶瓷、下电极、基体、分区上电极。基体上部分布齿形结构，底部为平面。下电极制备在基体底部。压电陶瓷通过电流体喷印技术直接将压电陶瓷喷印至下电极表面，通过高温共烧技术使基体、下电极和压电陶瓷形成无界面的整体，实现压电陶瓷和基体的一体化体系。分区上电极制备在压电陶瓷表面。本发明避免了传统压电驱动器中压电陶瓷粘接精度受限、工艺复杂等问题以及胶结层的结合强度差、对振动传递有损耗等问题，显著提高了压电陶瓷和基体的结合强度，并提高了驱动器的驱动性能和长期可靠性,实现了微型化、大驱动力的驱动器制造。
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公开(公告)号：CN113783469A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202110905446.9
申请日：2021-08-09
申请人： 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
摘要： 本发明提供了一种微型压电厚膜振子，包括压电陶瓷厚膜、下电极、弹性体、分区上电极。该振子的结构根据功能可分为环形和直线形，通过给压电陶瓷施加交变电压激励出振子的驱动模态，使振子表面形成波形，实现动子不同的运动。压电陶瓷厚度介于薄膜和厚膜之间，兼具块材与薄膜的优点，驱动力大、驱动电压低。本发明通过电流体喷印技术直接将压电陶瓷厚膜喷印至下电极表面，通过共烧技术使弹性体、下电极和压电陶瓷厚膜形成无界面的整体，实现压电陶瓷厚膜和弹性体的一体化体系，显著提高了压电陶瓷和弹性体的结合强度，并提高了振子的驱动性能和长期可靠性，实现了微型化、大驱动力的压电振子制备，能满足狭小空间驱动要求。
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公开(公告)号：CN113783469B
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202110905446.9
申请日：2021-08-09
申请人： 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
摘要： 本发明提供了一种微型压电厚膜振子，包括压电陶瓷厚膜、下电极、弹性体、分区上电极。该振子的结构根据功能可分为环形和直线形，通过给压电陶瓷施加交变电压激励出振子的驱动模态，使振子表面形成波形，实现动子不同的运动。压电陶瓷厚度介于薄膜和厚膜之间，兼具块材与薄膜的优点，驱动力大、驱动电压低。本发明通过电流体喷印技术直接将压电陶瓷厚膜喷印至下电极表面，通过共烧技术使弹性体、下电极和压电陶瓷厚膜形成无界面的整体，实现压电陶瓷厚膜和弹性体的一体化体系，显著提高了压电陶瓷和弹性体的结合强度，并提高了振子的驱动性能和长期可靠性，实现了微型化、大驱动力的压电振子制备，能满足狭小空间驱动要求。
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公开(公告)号：CN115576294A
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202211093004.X
申请日：2022-09-08
摘要： 本发明属于航空发动机故障诊断领域，提出一种针对航空发动机传感器故障诊断的容错软硬混杂控制方法。该方法通过软/硬故障诊断系统中的卡尔曼滤波器组，实现对航空发动机传感器软/硬故障的检测和对系统真实状态的估计。其中所设计的软故障诊断系统通过对传感器测量值和一组卡尔曼滤波器估计值进行残差处理并对其加权平方求和，以比较已知阈值来进一步检测是否存在故障；所设计的硬故障诊断系统通过将传感器测量值和卡尔曼滤波器估计值的残差绝对值与已知阈值进行比较，以进一步检测是否存在故障。经验证，该方法能够有效去除航空发动机传感器故障对系统总体性能产生的负面影响，使得系统更加稳定，各项性能指标更能满足要求。
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公开(公告)号：CN101235255B
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN200810010596.8
申请日：2008-03-07
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： C09G1/02 , H01L21/304
摘要： 本发明一种化学机械抛光半导体晶片用的抛光液，属于化学机械抛光用的抛光液，特别涉及II-VI族化合物半导体晶片化学机械抛光用的抛光液领域。抛光液的pH值为0.5～7，粒径为5～20nm。抛光液组成成分是按重量百分比，其中磨料5-40％，表面活性剂0.1-10％，分散剂0.1-10％，螯合剂0.1-10％，氧化剂0.1-5％，pH调节剂0.1-5，其余为去离子水。本发明不腐蚀设备，不污染环境。抛光去除率高，达到200nm/min，抛光样品表面粗糙度低，可达到粗糙度Ra值在10埃以下。抛光液的配制方便，成本低，抛光后的表面无划痕和腐蚀坑等缺陷。
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公开(公告)号：CN1439720A
公开(公告)日：2003-09-03
申请号：CN03110987.X
申请日：2003-01-30
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： C12P21/02
摘要： 本发明属于酶催化技术领域。主要涉及酶解大豆蛋白制备寡肽(小于10个氨基酸的肽)的方法。其主要技术特征是，以大豆浓缩蛋白、大豆分离蛋白、脱脂大豆粉、大豆粕、豆饼中的任何一种为原料，在不外加碱的pH值渐变条件下，利用碱性蛋白酶与酸性蛋白酶或/和中性蛋白酶的协同水解作用得到寡肽。蛋白酶协同作用水解条件为温度30－70℃，时间2－24小时。底物浓度20－100克/升。本发明效果和优点是整个水解过程中不用向水解液中补加碱溶液，因此简化了产品的下游处理工艺，并有利于降低寡肽的生产成本。
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公开(公告)号：CN100590795C
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：CN200810228498.1
申请日：2008-10-31
申请人： 大连理工大学
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/66 , H01L21/304
摘要： 本发明修正基片晶面偏差的加工方法及夹具装置属于半导体加工领域，特别涉及修正基片晶面偏差的加工方法及夹具装置。首先通过基片的中心建立一个三维正交坐标系，X轴和Y轴分别垂直于基片的两个边，利用单晶定向仪确定基片在XOZ面偏离X轴角度和YOZ面上偏离Y轴角度，把基片放在塑料薄片方孔内，使基片要矫正的表面朝外，插好塑料管后，开启真空泵；夹具基体形状为T形结构，孔A、B和C的中心连线构成等腰直角三角形。本发明修正基片晶面偏差的加工方法及夹具装置保证基片在加工的过程中发生晶面偏差时能够同时在两个方向上进行修正，夹具结构简单，安装方便。
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