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公开(公告)号：CN1184656C
公开(公告)日：2005-01-12
申请号：CN01142449.4
申请日：2001-11-28
Applicant: 国际商业机器公司
Inventor： 凯文·皮特拉卡 , 罗伯特·A·格罗夫斯 , 布赖恩·赫布斯特 , 克里斯托弗·扬尼斯 , 理查德·沃兰特
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H2001/0084
Abstract: 一种微机电开关，含有在基底上形成的导向柱。在基底上形成信号传输线，信号传输线存在间隙，并形成开路。该开关还包括含有在其中形成的通孔的开关体，该开关体沿着由所述导向柱限定的长度方向可移动地布置。该导向柱由该通孔部分地环绕着。
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公开(公告)号：CN1356706A
公开(公告)日：2002-07-03
申请号：CN01142449.4
申请日：2001-11-28
Applicant: 国际商业机器公司
Inventor： 凯文·皮特拉卡 , 罗伯特·A·格罗夫斯 , 布赖恩·赫布斯特 , 克里斯托弗·扬尼斯 , 理查德·沃兰特
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H2001/0084
Abstract: 一种微机电开关,含有在基底上形成的导向柱。在基底上形成信号传输线,信号传输线存在间隙,并形成开路。该开关还包括含有在其中形成的通孔的开关体,该开关体沿着由所述导向柱限定的长度方向可移动地布置。该导向柱由该通孔部分地环绕着。
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公开(公告)号：CN1353459A
公开(公告)日：2002-06-12
申请号：CN01138486.7
申请日：2001-11-14
Applicant: 国际商业机器公司
Inventor： 瓦格迪·阿巴迪尔 , 罗伯特·A·格罗夫斯 , 帕特里克·汉森
CPC classification number: H01L23/5227 , H01L2924/0002 , H01L2924/3011 , H01L2924/00
Abstract: 一种在极高频率应用的集成到VLSI和ULSI技术产品中的电感器。它是以微带传输线构形,被设计成直线、螺旋线或曲线形式。通过在传输线的一端使微带中心导体短接到下级接地平面,形成电感器。结果是,对于给定的传输线设计,和在特定频率范围内,在工作设计范围内电感与频率无关。微带传输线提供能用在具有低或高电阻率的任何类型衬底上的电感。该微带传输线可利用两层或全部金属布线层技术,容许电感的宽范围和质量因数设计折衷方案。采用有低的相对介电常数的绝缘层,实现系统进一步的增强。在从约8GHz延伸到约35GHz的频率范围内,该系统的电感在10%以内恒定。这个电感器系统容许通过几个参数进行最佳设计,以实现所需性能。
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公开(公告)号：CN100487837C
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN03824521.3
申请日：2003-09-18
Applicant: 国际商业机器公司
Inventor： 阿尼尔·K·钦萨金迪 , 罗伯特·A·格罗夫斯 , 肯尼思·J·斯坦 , 塞沙德里·萨班纳 , 理查德·P·沃兰特
CPC classification number: H01G5/18 , B81B2201/01 , H01G5/011 , Y10S257/924
Abstract: 描述了三维微机电(MEM)可变电抗器，其中在彼此耦合的分离衬底上分别制造可移动梁(50)和固定电极(51)。在“芯片侧”上制造具有梳状驱动电极的可移动梁而在分离的衬底的“载体侧”上制造固定底部电极。在衬底两个表面上制造该器件时，芯片侧器件被切割并“翻转”、对准且连接至“载体”衬底以形成最终器件。梳状驱动(鳍)电极用于激励而电极的运动提供电容的变化。由于引入恒定驱动力，可获得大的电容调谐范围。器件的三维方面有利于大的表面积。当提供大纵横比特征时可使用低激励电压。制造时，完全封装MEM器件，无需附加的器件封装。另外，由于在晶片级完成对准和键合(晶片级MEMS封装)，可以低成本获得改善的器件产率。
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公开(公告)号：CN1971300A
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN200610163588.8
申请日：2006-10-20
Applicant: 国际商业机器公司
Inventor： 查尔斯·J·蒙特罗斯 , 王平川 , 罗伯特·D·爱德华兹 , 罗伯特·A·格罗夫斯 , 理查德·P·沃兰特 , 哈里克里亚·德利吉亚尼 , 托马斯·J·弗莱希曼
IPC: G01R31/327 , H01H57/00
CPC classification number: H01H59/0009
Abstract: 本发明提供多个用于在MEMS开关器件上进行可靠性和质量测试的测试结构。采用用于触点和间隙特性测量的测试结构，其使得迂回布局模拟上下致动电极的排。使用级联开关链测试以大样品尺寸监测工艺缺陷。使用环形振荡器测量开关速度和开关寿命。设置电阻器梯形测试结构以使得每个电阻器与要被测试的开关串联，和使得每个开关电阻器对电并联。利用与现有工艺的开关串联工作的MEMS开关而建立串联/并联测试结构。使用移位寄存器以监测MEMS开关的开放和闭合状态。使用移位寄存器测量吸合电压、脱离电压、漏电流和开关寿命。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1172372C
公开(公告)日：2004-10-20
申请号：CN01138486.7
申请日：2001-11-14
Applicant: 国际商业机器公司
Inventor： 瓦格迪·阿巴迪尔 , 罗伯特·A·格罗夫斯 , 帕特里克·汉森
CPC classification number: H01L23/5227 , H01L2924/0002 , H01L2924/3011 , H01L2924/00
Abstract: 一种在极高频率应用的集成到VLSI和ULSI技术产品中的电感器。它是以微带传输线构形，被设计成直线、螺旋线或曲线形式。通过在传输线的一端使微带中心导体短接到下级接地平面，形成电感器。结果是，对于给定的传输线设计，和在特定频率范围内，在工作设计范围内电感与频率无关。微带传输线提供能用在具有低或高电阻率的任何类型衬底上的电感。该微带传输线可利用两层或全部金属布线层技术，容许电感的宽范围和质量因数设计折衷方案。采用有低的相对介电常数的绝缘层，实现系统进一步的增强。在从约8GHz延伸到约35GHz的频率范围内，该系统的电感在10%以内恒定。这个电感器系统容许通过几个参数进行最佳设计，以实现所需性能。
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公开(公告)号：CN1971300B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200610163588.8
申请日：2006-10-20
Applicant: 国际商业机器公司
Inventor： 查尔斯·J·蒙特罗斯 , 王平川 , 罗伯特·D·爱德华兹 , 罗伯特·A·格罗夫斯 , 理查德·P·沃兰特 , 哈里克里亚·德利吉亚尼 , 托马斯·J·弗莱希曼
IPC: G01R31/327 , H01H57/00
CPC classification number: H01H59/0009
Abstract: 本发明提供多个用于在MEMS开关器件上进行可靠性和质量测试的测试结构。采用用于触点和间隙特性测量的测试结构，其使得迂回布局模拟上下致动电极的排。使用级联开关链测试以大样品尺寸监测工艺缺陷。使用环形振荡器测量开关速度和开关寿命。设置电阻器梯形测试结构以使得每个电阻器与要被测试的开关串联，和使得每个开关电阻器对电并联。利用与现有工艺的开关串联工作的MEMS开关而建立串联/并联测试结构。使用移位寄存器以监测MEMS开关的开放和闭合状态。使用移位寄存器测量吸合电压、脱离电压、漏电流和开关寿命。
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公开(公告)号：CN1309019C
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN02821161.8
申请日：2002-11-07
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H01L21/20
CPC classification number: B81C1/00246 , B81B2201/016 , B81B2201/018 , B81B2203/0127 , B81B2207/07 , B81C1/00611 , B81C2201/0122 , B81C2203/0735 , H01G5/40 , H01H59/0009
Abstract: 一种制造微电子机械开关(MEMS)的方法，使用开始于在介质(150)内镶嵌由金属导体构成的铜镶嵌互连层的工艺。所有或部分互连凹陷直到当开关处于关闭状态时足够提供容性空气隙的程度，以及提供例如Ta/TaN保护层用空间。在开关限定的区域内限定的金属结构用作致动电极，以下拉可移动梁(160)并提供至少一个路径用于开关信号通过。这种空气隙的优点在于空气不会出现可引起可靠性和电压漂移问题的电荷存储或俘获。替代凹陷电极以提供间隙，可以正好在电极上或电极周围增加介质。下一层是另一电介质层，其淀积到在形成开关器件的可移动梁(160)之间形成间隙的所需厚度。穿过该电介质层制造通孔以在金属互连层和还将包括可移动梁的下一个金属层之间提供连接。接着构图和蚀刻通孔层以提供包含下致动电极和信号路径的空腔区。接着用牺牲释放材料回填充空腔。
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公开(公告)号：CN1689227A
公开(公告)日：2005-10-26
申请号：CN03824521.3
申请日：2003-09-18
Applicant: 国际商业机器公司
Inventor： 阿尼尔·K·钦萨金迪 , 罗伯特·A·格罗夫斯 , 肯尼思·J·斯坦 , 塞沙德里·萨班纳 , 理查德·P·沃兰特
CPC classification number: H01G5/18 , B81B2201/01 , H01G5/011 , Y10S257/924
Abstract: 描述了三维微机电(MEM)可变电抗器，其中在彼此耦合的分离衬底上分别制造可移动梁(50)和固定电极(51)。在“芯片侧”上制造具有梳状驱动电极的可移动梁而在分离的衬底的“载体侧”上制造固定底部电极。在衬底两个表面上制造该器件时，芯片侧器件被切割并“翻转”、对准且连接至“载体”衬底以形成最终器件。梳状驱动(鳍)电极用于激励而电极的运动提供电容的变化。由于引入恒定驱动力，可获得大的电容调谐范围。器件的三维方面有利于大的表面积。当提供大纵横比特征时可使用低激励电压。制造时，完全封装MEM器件，无需附加的器件封装。另外，由于在晶片级完成对准和键合(晶片级MEMS封装)，可以低成本获得改善的器件产率。
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公开(公告)号：CN1575506A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN02821161.8
申请日：2002-11-07
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H01L21/20
CPC classification number: B81C1/00246 , B81B2201/016 , B81B2201/018 , B81B2203/0127 , B81B2207/07 , B81C1/00611 , B81C2201/0122 , B81C2203/0735 , H01G5/40 , H01H59/0009
Abstract: 一种制造微电子机械开关(MEMS)的方法，使用开始于在介质(150)内镶嵌由金属导体构成的铜镶嵌互连层的工艺。所有或部分互连凹陷直到当开关处于关闭状态时足够提供容性空气隙的程度，以及提供例如Ta/TaN保护层用空间。在开关限定的区域内限定的金属结构用作致动电极，以下拉可移动梁(160)并提供至少一个路径用于开关信号通过。这种空气隙的优点在于空气不会出现可引起可靠性和电压漂移问题的电荷存储或俘获。替代凹陷电极以提供间隙，可以正好在电极上或电极周围增加介质。下一层是另一电介质层，其淀积到在形成开关器件的可移动梁(160)之间形成间隙的所需厚度。穿过该电介质层制造通孔以在金属互连层和还将包括可移动梁的下一个金属层之间提供连接。接着构图和蚀刻通孔层以提供包含下致动电极和信号路径的空腔区。接着用牺牲释放材料回填充空腔。
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