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公开(公告)号：CN103227196B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201310022558.5
申请日：2013-01-22
Applicant: 国际商业机器公司
Inventor： R·卡米洛-卡斯蒂罗 , 何忠祥 , J·B·约翰逊 , 刘奇志 , 刘学锋
IPC: H01L29/737 , H01L29/08 , H01L21/331 , G06F17/50
CPC classification number: H01L29/417 , H01L29/1004 , H01L29/66242 , H01L29/7371
Abstract: 本发明提供了异质结双极晶体管（HBT）结构、其制造方法及其设计结构。所述HBT包括其中具有子集电极区域的半导体衬底。所述HBT结构还包括覆盖所述子集电极区域的一部分的集电极区域。所述HBT结构还包括覆盖所述集电极区域的至少一部分的内部基极层。所述HBT结构还包括与所述内部基极层相邻并电连接的外部基极层。所述HBT结构还包括在所述外部基极层与所述子集电极区域之间垂直延伸的隔离区域。所述HBT结构还包括覆盖所述内部基极层的一部分的发射极。所述HBT结构还包括电连接到所述子集电极区域的集电极接触。所述集电极接触有利地延伸穿过所述外部基极层的至少一部分。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102210019A
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN200980144969.3
申请日：2009-10-27
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H01L21/768
CPC classification number: H01L21/743 , H01L21/28518 , H01L21/76224 , H01L21/8249 , H01L27/0623 , H01L29/41 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 一种沟槽接触硅化物(78)被形成在接触沟槽的内壁上，所述接触沟槽到达半导体衬底(8)中的掩埋的导电层(30)以降低透穿件结构的寄生电阻。所述沟槽接触硅化物(78)被形成在所述沟槽的底部处、侧壁上以及所述半导体衬底(8)的顶表面的一部分上。所述沟槽随后以中段制程(MOL)电介质加以填充。接触过孔(98)被形成在所述沟槽接触硅化物(78)上。所述沟槽接触硅化物(78)可经由与金属层的单一硅化反应或经由与多个金属层的多个硅化反应而形成。
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公开(公告)号：CN100550382C
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN200610143137.8
申请日：2006-11-01
Applicant: 国际商业机器公司
CPC classification number: H01L27/0814 , H01L27/0664 , H01L27/0823 , H01L29/0821 , H01L29/7371 , H01L29/868
Abstract: 一种结构包括单晶片，具有在第一厚度的第一区域中形成的第一子集电极和在与第一厚度不同的第二厚度的第二区域中形成的第二子集电极。还旨在一种方法，该方法包括提供包括第一层的衬底并且在第一层中形成第一掺杂区域。该方法还包括在第一层上形成第二层并且在第二层中形成第二掺杂区域。第二掺杂区域以不同于第一掺杂区域的深度形成。该方法还包括在第一层中形成第一通孔并且在第二层中形成第二通孔以连接第一通孔到表面。
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公开(公告)号：CN103227196A
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201310022558.5
申请日：2013-01-22
Applicant: 国际商业机器公司
Inventor： R·卡米洛-卡斯蒂罗 , 何忠祥 , J·B·约翰逊 , 刘奇志 , 刘学锋
IPC: H01L29/737 , H01L29/08 , H01L21/331 , G06F17/50
CPC classification number: H01L29/417 , H01L29/1004 , H01L29/66242 , H01L29/7371
Abstract: 本发明提供了异质结双极晶体管（HBT）结构、其制造方法及其设计结构。所述HBT包括其中具有子集电极区域的半导体衬底。所述HBT结构还包括覆盖所述子集电极区域的一部分的集电极区域。所述HBT结构还包括覆盖所述集电极区域的至少一部分的内部基极层。所述HBT结构还包括与所述内部基极层相邻并电连接的外部基极层。所述HBT结构还包括在所述外部基极层与所述子集电极区域之间垂直延伸的隔离区域。所述HBT结构还包括覆盖所述内部基极层的一部分的发射极。所述HBT结构还包括电连接到所述子集电极区域的集电极接触。所述集电极接触有利地延伸穿过所述外部基极层的至少一部分。
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公开(公告)号：CN1959985A
公开(公告)日：2007-05-09
申请号：CN200610143137.8
申请日：2006-11-01
Applicant: 国际商业机器公司
CPC classification number: H01L27/0814 , H01L27/0664 , H01L27/0823 , H01L29/0821 , H01L29/7371 , H01L29/868
Abstract: 一种结构包括单晶片，具有在第一厚度的第一区域中形成的第一子集电极和在与第一厚度不同的第二厚度的第二区域中形成的第二子集电极。还旨在提供一种方法，该方法包括提供包括第一层的衬底并且在第一层中形成第一掺杂区域。该方法还包括在第一层上形成第二层并且在第二层中形成第二掺杂区域。第二掺杂区域以不同于第一掺杂区域的深度形成。该方法还包括在第一层中形成第一通孔并且在第二层中形成第二通孔以连接第一通孔到表面。
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公开(公告)号：CN102210019B
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN200980144969.3
申请日：2009-10-27
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H01L21/768
CPC classification number: H01L21/743 , H01L21/28518 , H01L21/76224 , H01L21/8249 , H01L27/0623 , H01L29/41 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 一种沟槽接触硅化物(78)被形成在接触沟槽的内壁上，所述接触沟槽到达半导体衬底(8)中的掩埋的导电层(30)以降低透穿件结构的寄生电阻。所述沟槽接触硅化物(78)被形成在所述沟槽的底部处、侧壁上以及所述半导体衬底(8)的顶表面的一部分上。所述沟槽随后以中段制程(MOL)电介质加以填充。接触过孔(98)被形成在所述沟槽接触硅化物(78)上。所述沟槽接触硅化物(78)可经由与金属层的单一硅化反应或经由与多个金属层的多个硅化反应而形成。
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