公开(公告)号：CN110816018B

公开(公告)日：2022-03-04

申请号：CN201911157825.3

申请日：2014-04-21

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 刘进财 ,  吕国良 ,  刘德隆 ,  张富程 ,  李建成

IPC: B32B38/10 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明描述了使用浸没撕带的实施例。提供了衬底，该衬底具有附接至其上的衬底胶带。该衬底包括附接至衬底胶带的导电连接件。在衬底和衬底胶带之间提供液体。当液体位于衬底和衬底胶带之间时，从衬底去除衬底胶带。另一实施例是一种装置，该装置包括浸没槽、衬底夹具、第一和第二固定压辊，以及可移动的压辊。衬底夹具配置为固定衬底且将衬底放置到浸没槽内。可操作第一固定压辊以分配夹紧胶带。可操作第二固定压辊以卷动夹紧胶带。可操作可移动的压辊以延伸到浸没槽中且将夹紧胶带粘附至衬底上的衬底胶带。本发明还提供了浸没撕带。

公开(公告)号：CN104795312A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201410160689.4

申请日：2014-04-21

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 刘进财 ,  吕国良 ,  刘德隆 ,  张富程 ,  李建成

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明描述了使用浸没撕带的实施例。提供了衬底，该衬底具有附接至其上的衬底胶带。该衬底包括附接至衬底胶带的导电连接件。在衬底和衬底胶带之间提供液体。当液体位于衬底和衬底胶带之间时，从衬底去除衬底胶带。另一实施例是一种装置，该装置包括浸没槽、衬底夹具、第一和第二固定压辊，以及可移动的压辊。衬底夹具配置为固定衬底且将衬底放置到浸没槽内。可操作第一固定压辊以分配夹紧胶带。可操作第二固定压辊以卷动夹紧胶带。可操作可移动的压辊以延伸到浸没槽中且将夹紧胶带粘附至衬底上的衬底胶带。本发明还提供了浸没撕带。

公开(公告)号：CN110816018A

公开(公告)日：2020-02-21

申请号：CN201911157825.3

申请日：2014-04-21

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 刘进财 ,  吕国良 ,  刘德隆 ,  张富程 ,  李建成

IPC: B32B38/10 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明描述了使用浸没撕带的实施例。提供了衬底，该衬底具有附接至其上的衬底胶带。该衬底包括附接至衬底胶带的导电连接件。在衬底和衬底胶带之间提供液体。当液体位于衬底和衬底胶带之间时，从衬底去除衬底胶带。另一实施例是一种装置，该装置包括浸没槽、衬底夹具、第一和第二固定压辊，以及可移动的压辊。衬底夹具配置为固定衬底且将衬底放置到浸没槽内。可操作第一固定压辊以分配夹紧胶带。可操作第二固定压辊以卷动夹紧胶带。可操作可移动的压辊以延伸到浸没槽中且将夹紧胶带粘附至衬底上的衬底胶带。本发明还提供了浸没撕带。