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公开(公告)号：CN119304773A
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202411329223.2
申请日：2024-09-24
Applicant: 南京航空航天大学
Abstract: 一种基于固结磨料的第三代半导体晶圆的电化学机械抛光方法及装置，其特征是根据半导体晶圆尺寸调整工件夹持装置并吸附在加压装置上，半导体晶圆通过导电环连接到电源的正极为电解系统的阳极；固结磨料垫通过导电胶固定在抛光盘上，通过导电环连接到电源负极为电解系统的阴极；在抛光时抛光液通过固结磨料垫上的通孔与固定抛光垫的导电胶相连形成电解池通路，抛光时在第三代半导体晶圆表面发生化学氧化和阳极氧化共同形成一层硬度较低的钝化氧化层，钝化氧化层的谷被钝化保护，峰被固结磨料快速去除，实现了第三代半导体晶圆表面阳极氧化并在线去除的抛光模式。本发明具有磨料利用率高、材料去除率高、表面质量好、抛光液循环使用等优点。
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公开(公告)号：CN110716499A
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201911043345.4
申请日：2019-10-30
Applicant: 南京航空航天大学
IPC: G05B19/404
Abstract: 一种基于单神经元PID和迭代学习前馈的数控折弯机运动复合控制方法，其特征是将迭代学习和单神经元PID相结合构成复合控制器，它包括以下步骤：（1）位置信息的获取；（2）PID参数自调整与数控折弯机的初次运动控制；（3）迭代过程中数控折弯机的运动控制；（4）迭代前馈量的更新。本发明能弥补现有的PID控制器不能根据实际工况进行参数调整，适应性和快速性不足等缺点，可减小钣金折弯过程中因双缸电液比例系统模型参数的差异与时变以及折弯负载力干扰等导致系统指令跟随误差和双缸同步误差增大给生产效率和机床工况带来的不良影响，最终实现改善折弯加工工况，提高加工效率的目的。
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公开(公告)号：CN117543979A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311516875.2
申请日：2023-11-14
Applicant: 南京航空航天大学
Abstract: 本发明公开了一种并联结构高效率包络线跟踪电源及其控制方法，包括并联的开关变换器和线性放大器，所述开关变换器和线性放大器分别工作在电流源形式和电压源形式；所述开关变换器的输出电流以三角波形式拟合负载电流，所述线性放大器用于补偿负载电流和开关变换器的输出电流之间的差值电流。本发明能够减小功率管工作时所承受的电压，降低CSC的开关频率，大幅减小VLA的损耗，显著提高并联结构包络线跟踪电源的效率。
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公开(公告)号：CN118117853A
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202410266190.5
申请日：2024-03-08
Applicant: 南京航空航天大学
Abstract: 本发明公开了一种包络线跟踪电源的变滞环边界的电流控制方法，适用于并联型开关线性复合包络线跟踪电源，所述方法在传统的滞环电流控制的基础之上，根据负载电压的大小对电流滞环的上下边界进行调整，当负载电压较高时，将滞环边界设置为负载电压io和io‑ΔI/2，以控制电感电流略低于负载电流，使VLA的上功率管工作；当负载电压较低时，将滞环边界设置为io+ΔI/2和io，以控制电感电流略高于负载电流，使得VLA的下功率管工作。本发明在保证CSC的输出电流对负载电流有较好的跟踪性能的条件下，可实现功率管工作模式的优化，以减小功率管工作时承受的电压，从而减小损耗，提高电源的整体效率。
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公开(公告)号：CN110716499B
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN201911043345.4
申请日：2019-10-30
Applicant: 南京航空航天大学
IPC: G05B19/404
Abstract: 一种基于单神经元PID和迭代学习前馈的数控折弯机运动复合控制方法，其特征是将迭代学习和单神经元PID相结合构成复合控制器，它包括以下步骤：（1）位置信息的获取；（2）PID参数自调整与数控折弯机的初次运动控制；（3）迭代过程中数控折弯机的运动控制；（4）迭代前馈量的更新。本发明能弥补现有的PID控制器不能根据实际工况进行参数调整，适应性和快速性不足等缺点，可减小钣金折弯过程中因双缸电液比例系统模型参数的差异与时变以及折弯负载力干扰等导致系统指令跟随误差和双缸同步误差增大给生产效率和机床工况带来的不良影响，最终实现改善折弯加工工况，提高加工效率的目的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117549142A
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202311465779.X
申请日：2023-11-06
Applicant: 南京航空航天大学
IPC: B24B1/00 , B24B57/02 , B24B53/017 , C09G1/02
Abstract: 一种基于固结磨料垫在线修整的碳化硅衬底的化学机械抛光方法，其特征是在抛光加工工件时，向固结磨料垫上同时供给抛光液和修整辅助液，抛光液通过化学作用在工件表面形成软化层后，依靠固结磨料垫上的磨粒对软化层进行有效去除，同时修整辅助液中的磨料促进固结磨料垫基体磨损从而使得固结磨料垫中钝化磨粒的脱落和新鲜磨粒的出露，根据抛光工艺需求可控制修整辅助液中磨料种类、粒径、浓度、流速。本发明实现了固结磨料垫在线修整的可控性，能有效提高了碳化硅衬底的抛光效率和固结磨料垫的在线修整能力。
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公开(公告)号：CN117543978A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311511420.1
申请日：2023-11-14
Applicant: 南京航空航天大学
Abstract: 本发明公开了一种串并联型开关线性复合包络线跟踪电源，包括多电平变换器VSC、线性放大器VLA和开关变换器CSC，所述多电平变换器VSC与线性放大器VLA串联，开关变换器CSC与线性放大器VLA并联；所述多电平变换器VSC跟踪包络信号，输出阶梯波电压以拟合负载电压vo，同时VSC输出的阶梯波电压作为CSC的输入电压；所述线性放大器VLA实现负载电压vo对参考信号vref的跟踪；所述开关变换器CSC输出电流以拟合负载电流。本发明在不增加串并联型ET电源复杂度的情况下，大幅减小了CSC的开关频率和开关管电压应力，提高ET电源的整体效率。
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公开(公告)号：CN115455902A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202211285494.3
申请日：2022-10-20
Applicant: 南京航空航天大学
IPC: G06F30/398 , G06N3/12 , G06F111/06 , G06F115/12
Abstract: 本发明涉及一种用于PCB板装配的拧紧工艺规划方法，属于印制电路板装配技术领域。该方法执行如下步骤：1）获取所述PCB板的点云数据；2）利用所述点云数据构建高质量的曲面；3）设置所述曲面的边界参数；4）以所述曲面为基础，利用遗传算法进行拧紧工艺的优化；其中，以一组螺钉的拧紧顺序以及每个螺钉不同的预紧力作为个体，以每个螺钉的编号以及施加在每个螺钉上的预紧力作为设计变量，以所述曲面的平面度作为优化目标，实现对拧紧工艺的优化。本发明具有较高的泛用性，不受PCB板规格和装配工艺的限制，可以确保以本方法进行装配的PCB板的平面度在要求规定范围内；从而提高PCB板的最终装配精度，提高一次装配的成功率，提升整体装配质量。
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公开(公告)号：CN117543979B
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202311516875.2
申请日：2023-11-14
Applicant: 南京航空航天大学
Abstract: 本发明公开了一种并联结构高效率包络线跟踪电源及其控制方法，包括并联的开关变换器和线性放大器，所述开关变换器和线性放大器分别工作在电流源形式和电压源形式；所述开关变换器的输出电流以三角波形式拟合负载电流，所述线性放大器用于补偿负载电流和开关变换器的输出电流之间的差值电流。本发明能够减小功率管工作时所承受的电压，降低CSC的开关频率，大幅减小VLA的损耗，显著提高并联结构包络线跟踪电源的效率。
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公开(公告)号：CN114825931B
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202210331869.9
申请日：2022-03-31
Applicant: 南京航空航天大学
Abstract: 本发明公开了一种串联结构高带宽包络线跟踪电源及其控制方法，电源包括串联而成的开关变换器VSC和线性放大器VLA，所述开关变换器和线性放大器均工作在电压源形式；所述VSC输出阶梯波电压，其跟踪降带宽的包络信号，以降低VSC的等效开关频率，提高VSC的效率；所述VLA跟踪初始高带宽包络信号，保证ET电源的高跟踪带宽。在此基础上，将阶梯波电压的上升边沿和下降边沿进行合理调整，可进一步降低VSC的开关损耗，并有效减小阶梯波电压和负载电压之间的电压差，从而大幅减小VLA的损耗，提高ET电源的整体效率。本发明可有效减小开关变换器的开关损耗，保证ET电源的高跟踪带宽，大幅提高ET电源的效率。
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