一种基于环形谐振器的频率调制MEMS加速度计

    公开(公告)号:CN119291230A

    公开(公告)日:2025-01-10

    申请号:CN202411827980.2

    申请日:2024-12-12

    Abstract: 本发明公开了一种基于环形谐振器的频率调制MEMS加速度计,包括两个中心对称的谐振器Ⅰ和谐振器Ⅱ,谐振器Ⅰ和谐振器Ⅱ左右对称连接于质量块上,谐振器Ⅰ和谐振器Ⅱ均包括位于中间的环形结构,中间的环形结构通过四组第一解耦梁与位于环形结构中间的中心锚点连接,中心锚点固定于衬底上,环形结构左右侧分别连接有一个驱动检测电极、前后侧分别连接有一个静电调谐电极,所述驱动检测电极和静电调谐电极均是变面积梳齿电极,每个静电调谐电极的左右两侧分别与左右侧的位移平衡杠杆的前后端处连接,每个位移平衡杠杆的前后端处分别通过第二解耦梁与前后侧的L型梁连接。本发明有利于自激振荡准确捕捉谐振器的固有频率、提升控制精度。

    一种芯片行波马达式陀螺寻北仪

    公开(公告)号:CN118706099A

    公开(公告)日:2024-09-27

    申请号:CN202411181821.X

    申请日:2024-08-27

    Abstract: 本发明公开了一种芯片行波马达式陀螺寻北仪。本发明为分段式安装结构,基于MEMS芯片行波马达,通过机械结构嵌入式装配惯性测量单元、MEMS电容角位置传感器、综合驱动采样控制电路板,使整体旋转调制陀螺寻北仪内部紧密集成,体积尺寸显著缩小,基于MEMS电容角位置传感器和电磁转位限制机构的高精度角度控制技术,依托MEMS芯片行波马达驱动力可连续输出的特性,实现了惯性测量单元多位置精确步进,确保了旋转调制技术对惯性器件的常值误差补偿效果,有效提升了寻北性能。

    一种外置电极的大电容、高Q值MEMS环形陀螺仪

    公开(公告)号:CN117782046A

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202211148559.X

    申请日:2022-09-21

    Inventor: 姜波 汤浩江 苏岩

    Abstract: 本发明提供了一种外置电极的高Q值MEMS环形陀螺仪结构,包括环形件、设于环形件外侧并通过周向解耦梁连接的质量块,以及置于质量块内部的梳齿电极和位于环形件内侧的平板电极。该MEMS陀螺仪通过径向连接梁和连接到最外侧的锚点上,其主要工作模态是内多环与外质量一起同相运动的位移放大模态,能够实现工作模态和检测模态的简并,符合哥氏效应原理。此外本发明的外置电极是一种创新的刚度‑质量解耦设计,优化了环形陀螺的模态分布,并且提高了陀螺仪的驱动/检测电容量,使陀螺仪具有良好的动力学特性和更高的机电接口灵敏度。

    一种带有驱动放大耦合结构的四质量微机械陀螺仪

    公开(公告)号:CN117537794A

    公开(公告)日:2024-02-09

    申请号:CN202410028994.1

    申请日:2024-01-09

    Abstract: 本发明为一种带有驱动放大耦合结构的四质量微机械陀螺仪。陀螺为平面Z轴陀螺,包括关于X、Y轴镜像对称设置的四个质量块,质量块在检测轴Y方向上通过驱动解耦梁分别与质量块两侧的检测框架相连,关于X轴对称的两个检测框架通过耦合结构耦合,质量块上设置四个正交抑制电极;还包括设置在中心且平行于Y轴的驱动框架,驱动框架通过耦合放大结构和每个质量块中的检测解耦梁连接,驱动框架上设置多个驱动电极和四个驱动检测电极;耦合放大结构通过两端的类杠杆机构实现驱动位移放大和等效质量的提高。本发明放大了驱动位移、增大了等效质量,实现了机械灵敏度和机械热噪声的提升;提高了抗干扰能力,改善了静电非线性。

    一种高Q值MEMS谐振器的稳定幅度控制系统

    公开(公告)号:CN116558548A

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202310445786.7

    申请日:2023-04-24

    Abstract: 本发明公开了一种高Q值MEMS谐振器的稳定幅度控制系统,为以现场可编程门阵列为控制平台和以采用DDS‑PLL技术为控制方案的数字化闭环驱动系统。该系统利用基于DDS算法进行频率合成的数字锁相环实现陀螺振动谐振频率和相位的跟踪,这种结构可利用DDS算法提供高分辨率的频率信号保证足够小的频率步进,同时PLL的带通特性还可以很好的抑制DDS输出频谱中的部分杂散,实现了DDS和PLL的优势互补,提高了高Q值MEMS谐振器控制系统的动态性能,优化了MEMS陀螺仪幅值和频率的稳定精度,进而改善了MEMS陀螺仪的零偏输出和抗干扰能力。

    基于相机和激光雷达的无人驾驶平台实时目标3D检测方法

    公开(公告)号:CN110879401B

    公开(公告)日:2023-08-04

    申请号:CN201911244310.7

    申请日:2019-12-06

    Inventor: 刘雨晨 唐兴 苏岩

    Abstract: 本发明公开了一种基于相机和激光雷达的无人驾驶平台实时目标检测系统,通过对相机和激光雷达的原始数据进行时空同步的像素级融合,利用所得的时空同步数据结合激光雷达的数据分析方法得到聚类检测结果,构建改进式faster‑rcnn网络架构对其进行参数训练并用于实时检测,输出无人驾驶平台周围目标物体的种类、长度、宽度、高度、中心点相对于无人驾驶平台空间坐标的距离、偏航角度、横滚角度、俯仰角度。本发明根据该系统及其检测方法采用传统聚类和人工智能的融合算法,克服了图像检测空间定位精度低和点云检测难以判断类别的缺点,实现了无人驾驶平台场景中基于相机和激光雷达的实时3D目标检测系统。

    一种静电调谐分离式微机电加速度计及其闭环控制方法

    公开(公告)号:CN113552386B

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202110637867.8

    申请日:2021-06-08

    Inventor: 吴天豪 张晶 苏岩

    Abstract: 本发明公开了一种静电调谐分离式微机电加速度计及其闭环控制方法,该加速度计包括至少一个敏感质量块、至少一对差分谐振器、驱动模块和检测模块;所述谐振器与敏感质量块非接触式连接,每个差分谐振器的两侧分别设置对应的驱动模块和检测模块,并与差分谐振器之间非接触式连接。所述加速度计控制方案包含两套闭环回路,其中所述差分谐振器受闭环驱动控制实现自激振荡,所述敏感质量块受电压反馈回路使得敏感质量块在加速度输入下不发生偏移。本发明避免多源应力互相传递干扰和电路噪声干扰,提高系统精度和稳定性,且本发明工作于该控制模式下输出与加速度成线性关系,实现了高精度、高稳定性、环境依赖性小和结构设计便利的要求。

    一种超声波微电机驱动定子结构
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114400925A

    公开(公告)日:2022-04-26

    申请号:CN202210072261.9

    申请日:2022-01-21

    Inventor: 谢锦宣 周同 苏岩

    Abstract: 本发明公开了一种超声波微电机驱动定子结构,包括若干驱动扇环形分区、圆环形硅基底以及若干支撑梁,若干驱动扇环形分区设置在圆环形硅基底上且沿圆周均匀分布,两两分区间存在距离用来实现电气隔离;支撑梁均匀分布在圆环形硅基底外侧的凹槽中,实现支撑梁在驻波模态中的对称影响,每个支撑梁实现每个驱动扇环形分区的独立驱动。本发明通过外围支撑梁实现结构的悬空连接,且支撑梁位置避开了该结构工作模态下的峰值位移节径,减小支撑梁在工作状态下的位移,且凹槽位置决定支撑梁锚固点位于定子B15工作模态的节圆处,一定程度上降低了定子沿支撑梁损耗的能量,提高了该结构的Q值,且保证了正交模态的对称性,提高了正交模态的匹配程度。

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