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公开(公告)号：CN109425266B
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN201710764837.7
申请日：2017-08-30
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于Al/MxOy含能薄膜的叉指结构换能元，由表面长有SiO2的Si基底、Al薄膜电极以及MxOy介电层组成，采用金属Al作为叉指电极，在叉指电极上沉积MxOy介电层，作为叉指电极间隙之间的绝缘介质。本发明显著的提高了电爆换能元的安全性、适用性和点火能力，换能元的临界激发电压可以在大范围内调节，满足不同点火任务的要求，可以实现500V不发火的要求，此外换能元使用MEMS制作工艺，容易实现与其他部件的集成，提高火工器件的集成度。
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公开(公告)号：CN109425266A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201710764837.7
申请日：2017-08-30
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于Al/MxOy含能薄膜的叉指结构换能元，由表面长有SiO2的Si基底、Al薄膜电极以及MxOy介电层组成，采用金属Al作为叉指电极，在叉指电极上沉积MxOy介电层，作为叉指电极间隙之间的绝缘介质。本发明显著的提高了电爆换能元的安全性、适用性和点火能力，换能元的临界激发电压可以在大范围内调节，满足不同点火任务的要求，可以实现500V不发火的要求，此外换能元使用MEMS制作工艺，容易实现与其他部件的集成，提高火工器件的集成度。
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公开(公告)号：CN103344151A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310292522.9
申请日：2013-07-12
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种用于爆炸箔起爆器的肖特基结平面爆炸开关及其制备方法，所述开关包括硅基衬底、硅基衬底上的SiO2绝缘层、金属铜层和肖特基结桥区层；本发明与现有技术相比其显著优点：（1）开关尺寸小，制作成本低，利用MEMS（微机电系统）技术易于与爆炸箔起爆系统集成，实现爆炸箔起爆系统的微型化；（2）含肖特基结的开关触发电压低，能够抗杂散电流，具有一定的安全性，并且通过控制肖特基结的数量达到激发能量可控；（3）本开关为一次作用器件，满足爆炸箔起爆系统一次作用的特点，和传统的真空触发开关相比，提高了开关的使用率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110131075B
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN201810133070.2
申请日：2018-02-09
Applicant: 南京理工大学
IPC: F02K9/95
Abstract: 本发明公开了一种用于固体推进剂的柔性面点火装置，该柔性面点火装置使用发火阙值较低的柔性含能纸作为点火层将固体推进剂点燃。使用时，柔性含能纸由低能量输出的电点火头或电爆管等点燃发生放热反应，释放的热能通过热传导及热辐射传递至固体推进剂，使固体推进剂被点燃并且发生自持燃烧过程。该柔性点火装置根据固体推进剂的点火需要，设计成任意几何形状；通过调节柔性含能纸的厚度实现对点火能量的控制，以满足不同感度固体推进剂的要求。
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公开(公告)号：CN113028905A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN201911359606.3
申请日：2019-12-25
Applicant: 南京理工大学
IPC: F42B3/113
Abstract: 本发明公开了一种激光飞片起爆装置，包括一种小型化脉冲激光器和原位集成微型起爆单元的激光飞片起爆装置，其中，原位集成微型起爆单元通过MEMS阵列一体化集成加工而成，再通过集成化和封装制备成激光飞片起爆装置。本发明采用MEMS一体化原位制备，结构紧密、无间隙；采用AZ5200和Su8原位制备提高了工艺准确性；原位集成微型起爆单元能够效防止了等离子体横向膨胀和扩展造成的能量耗散，提高了等离子体能量利用率。本发明实现了微型起爆单元中飞片换能元部件的集成封装，实现了激光飞片起爆装置的一体化集成，起爆装置整体体积小确保了装置的可靠性与安全。
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公开(公告)号：CN113028905B
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN201911359606.3
申请日：2019-12-25
Applicant: 南京理工大学
IPC: F42B3/113
Abstract: 本发明公开了一种激光飞片起爆装置，包括一种小型化脉冲激光器和原位集成微型起爆单元的激光飞片起爆装置，其中，原位集成微型起爆单元通过MEMS阵列一体化集成加工而成，再通过集成化和封装制备成激光飞片起爆装置。本发明采用MEMS一体化原位制备，结构紧密、无间隙；采用AZ5200和Su8原位制备提高了工艺准确性；原位集成微型起爆单元能够效防止了等离子体横向膨胀和扩展造成的能量耗散，提高了等离子体能量利用率。本发明实现了微型起爆单元中飞片换能元部件的集成封装，实现了激光飞片起爆装置的一体化集成，起爆装置整体体积小确保了装置的可靠性与安全。
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公开(公告)号：CN110132075A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201810133178.1
申请日：2018-02-09
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种含有含能飞片的爆炸箔集成芯片，爆炸箔集成芯片包括基片、爆炸箔、含能飞片、加速膛和药剂。焊盘、过渡区和爆炸桥箔均设置在基片，且通过过渡区将焊盘和爆炸桥箔连接；基片在集成芯片中作反射背板，使爆炸桥箔电爆所产生的等离子体向上运动剪切聚合物飞片以及推动沉积在聚合物飞片表面含能薄膜运动；本发明与现有技术相比，通过制备过程采用MEMS工艺，爆炸箔起爆系统的集成化程度更高、体积更小，提高了产品的一致性、降低了制备成本；含采用能飞片本身含有金属，不需要额外沉积金属，有利于飞片速度的测试；采用含能飞片层，冲击与热的耦合作用可以增强点火或起爆效应，大幅降低了爆炸箔起爆系统的发火能量。
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公开(公告)号：CN103344151B
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201310292522.9
申请日：2013-07-12
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种用于爆炸箔起爆器的肖特基结平面爆炸开关及其制备方法，所述开关包括硅基衬底、硅基衬底上的SiO2绝缘层、金属铜层和肖特基结桥区层；本发明与现有技术相比其显著优点：（1）开关尺寸小，制作成本低，利用MEMS（微机电系统）技术易于与爆炸箔起爆系统集成，实现爆炸箔起爆系统的微型化；（2）含肖特基结的开关触发电压低，能够抗杂散电流，具有一定的安全性，并且通过控制肖特基结的数量达到激发能量可控；（3）本开关为一次作用器件，满足爆炸箔起爆系统一次作用的特点，和传统的真空触发开关相比，提高了开关的使用率。
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