公开(公告)号：CN109425266B

公开(公告)日：2021-07-06

申请号：CN201710764837.7

申请日：2017-08-30

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 沈瑞琪 ,  马宏玲 ,  付帅 ,  朱朋 ,  陈楷

IPC: F42B3/13 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明公开了一种基于Al/MxOy含能薄膜的叉指结构换能元，由表面长有SiO2的Si基底、Al薄膜电极以及MxOy介电层组成，采用金属Al作为叉指电极，在叉指电极上沉积MxOy介电层，作为叉指电极间隙之间的绝缘介质。本发明显著的提高了电爆换能元的安全性、适用性和点火能力，换能元的临界激发电压可以在大范围内调节，满足不同点火任务的要求，可以实现500V不发火的要求，此外换能元使用MEMS制作工艺，容易实现与其他部件的集成，提高火工器件的集成度。

公开(公告)号：CN109425266A

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201710764837.7

申请日：2017-08-30

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 沈瑞琪 ,  马宏玲 ,  付帅 ,  朱朋 ,  陈楷

IPC: F42B3/13 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明公开了一种基于Al/MxOy含能薄膜的叉指结构换能元，由表面长有SiO2的Si基底、Al薄膜电极以及MxOy介电层组成，采用金属Al作为叉指电极，在叉指电极上沉积MxOy介电层，作为叉指电极间隙之间的绝缘介质。本发明显著的提高了电爆换能元的安全性、适用性和点火能力，换能元的临界激发电压可以在大范围内调节，满足不同点火任务的要求，可以实现500V不发火的要求，此外换能元使用MEMS制作工艺，容易实现与其他部件的集成，提高火工器件的集成度。