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公开(公告)号：CN107590787A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：CN201710812587.X
申请日：2017-09-11
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
IPC: G06T5/00
Abstract: 本发明公开一种针对扫描电子显微镜的图像畸变校正方法，属于计算机视觉领域，其包括S1:在预设的时间序列上连续采集图像，建立时间漂移畸变Dd与图像采集时间t的关系Dd(t)；S2:根据S1中获得的Dd(t)，预先去除漂移畸变，利用拍摄标准标靶获得稀疏图像像素位置信息及对应的畸变向量样本集；S3:建立图像平面的任意一个像素点的像素坐标u与该像素点对应的固有畸变向量l间的关系，进而推算获得成像的固有畸变模型Df；S4：利用S2得到的稀疏位置信息及对应畸变向量样本集，解算畸变模型矩阵Df，结合Df(u)和Dd(t)对图像进行畸变校正。本发明方法分别对扫描电子显微镜图像的两种主要畸变场进行畸变建模及校正，该方法可在实际工程中应用。
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公开(公告)号：CN107590787B
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201710812587.X
申请日：2017-09-11
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
IPC: G06T5/00
Abstract: 本发明公开一种针对扫描电子显微镜的图像畸变校正方法，属于计算机视觉领域，其包括S1:在预设的时间序列上连续采集图像，建立时间漂移畸变Dd与图像采集时间t的关系Dd(t)；S2:根据S1中获得的Dd(t)，预先去除漂移畸变，利用拍摄标准标靶获得稀疏图像像素位置信息及对应的畸变向量样本集；S3:建立图像平面的任意一个像素点的像素坐标u与该像素点对应的固有畸变向量l间的关系，进而推算获得成像的固有畸变模型Df；S4：利用S2得到的稀疏位置信息及对应畸变向量样本集，解算畸变模型矩阵Df，结合Df(u)和Dd(t)对图像进行畸变校正。本发明方法分别对扫描电子显微镜图像的两种主要畸变场进行畸变建模及校正，该方法可在实际工程中应用。
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公开(公告)号：CN107677697B
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201710852515.8
申请日：2017-09-20
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
Abstract: 本发明公开基于扫描电子显微镜的芯片热变形测量方法，属于材料性能检测技术领域，本发明利用扫描电子显微镜的高景深和高分辨率特性，通过与原位加热装置的集成，充分考虑了热影响及系统畸变带来的测量误差并对其进行校正；利用畸变校正后的散斑图像，通过数字图像相关算法计算求得芯片由于受热而产生变形的面内变形场。在上述基础上，本发明实现了微纳尺度的芯片全场热变形测量并在实际工程中进行了应用。
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公开(公告)号：CN107677697A
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201710852515.8
申请日：2017-09-20
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
Abstract: 本发明公开基于扫描电子显微镜的芯片热变形测量方法，属于材料性能检测技术领域，本发明利用扫描电子显微镜的高景深和高分辨率特性，通过与原位加热装置的集成，充分考虑了热影响及系统畸变带来的测量误差并对其进行校正；利用畸变校正后的散斑图像，通过数字图像相关算法计算求得芯片由于受热而产生变形的面内变形场。在上述基础上，本发明实现了微纳尺度的芯片全场热变形测量并在实际工程中进行了应用。
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公开(公告)号：CN109483887B
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201811353936.7
申请日：2018-11-14
Applicant: 华中科技大学
IPC: B29C64/386 , B29C64/153 , B22F3/105 , B33Y50/00
Abstract: 本发明属于增材制造在线测量技术领域，公开了一种激光选区熔化过程中成形层轮廓精度在线检测方法。所述在线检测方法包含以下步骤：S1将待加工零件的模型进行切片处理，并生成辅助图像；S2铺粉，然后激光选择性的将粉末熔化成形；S3采集基本上成形区域的图像，并对分割后的图像进行轮廓提取；S4图像轮廓进行三维重建得图像实际轮廓；S5将图像实际轮廓Cr与相应切片层的轮廓进行对比，分析精度，若满足要求，则进入步骤S6，否则，结束本次加工；S6检测所述待加工零件是否加工完成。本发明方法能有效精确划定图像轮廓提取的范围，进而大量减少计算过程中迭代的次数，使得图像轮廓的提取精度达到亚像素级别，实现进行精准快速的轮廓检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106815871B
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201611218565.2
申请日：2016-12-26
Applicant: 华中科技大学
IPC: G06T7/80
Abstract: 本发明公开一种扫描电子显微镜成像系统的建模方法，属于计算机视觉领域，其包括S1:建立扫描电子显微镜成像系统的放大倍率m与在该放大倍率下扫描电子显微镜成像系统成像模型矩阵K间的关系，进而推算获得成像模型，S2：解算模型矩阵K，获得扫描电子显微镜成像系统的模型。本发明方法基于扫描电子显微镜成像系统的模型参数随着放大倍率的连续性变化原理，建立了基于扫描电子显微镜成像系统的模型参数与放大倍率之间的函数映射，在此基础上建立了成像模型，该模型可在实际工程中应用。
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公开(公告)号：CN109483887A
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201811353936.7
申请日：2018-11-14
Applicant: 华中科技大学
IPC: B29C64/386 , B29C64/153 , B22F3/105 , B33Y50/00
Abstract: 本发明属于增材制造在线测量技术领域，公开了一种激光选区熔化过程中成形层轮廓精度在线检测方法。所述在线检测方法包含以下步骤：S1将待加工零件的模型进行切片处理，并生成辅助图像；S2铺粉，然后激光选择性的将粉末熔化成形；S3采集基本上成形区域的图像，并对分割后的图像进行轮廓提取；S4图像轮廓进行三维重建得图像实际轮廓；S5将图像实际轮廓Cr与相应切片层的轮廓进行对比，分析精度，若满足要求，则进入步骤S6，否则，结束本次加工；S6检测所述待加工零件是否加工完成。本发明方法能有效精确划定图像轮廓提取的范围，进而大量减少计算过程中迭代的次数，使得图像轮廓的提取精度达到亚像素级别，实现进行精准快速的轮廓检测。
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公开(公告)号：CN105066909B
公开(公告)日：2017-09-12
申请号：CN201510552154.6
申请日：2015-09-01
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明公开了一种手持式多激光条纹快速三维测量方法，包括以下步骤：1)粘贴标志点：2)使用手持三维测量仪测量物体表面的三维数据：3)采集图像：4)图像处理：5)标志点的三维坐标计算：6)物体表面点的三维坐标计算；7)手持三维测量仪的定位和世界坐标系下的数据拼合，即获得从当前相机坐标系变换到世界坐标系的旋转平移矩阵，以实现当前物体表面测量点从相机坐标系到世界坐标系的转换关系和世界坐标系下的数据拼合。本发明通过使用激光测量技术，优化结构设计和计算算法，使得本三维测量仪具有便携和可手持操作的特点，并且操作简单，使用方便。
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公开(公告)号：CN104864819A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201510025233.1
申请日：2015-01-19
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于数字散斑的高速三维应变测量方法。采用高速图像采集系统进行高速形变物体的采集，利用图像的散斑颗粒均值或者灰度梯度评价散斑图像质量，确保测量过程中，图像具有高相关性，高质量，有效提高测量的准确性；在此基础上，根据快速获取的变形物体图像序列对变形过程中的被测物体进行实时连续的三维重建和应变测量，从而最终实现对高速形变物体的三维应变测量。
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公开(公告)号：CN103900504A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410142472.0
申请日：2014-04-10
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B15/04
Abstract: 本发明的目的在于提供一种纳米尺度下的实时三维视觉信息反馈方法，该方法采用基于实时视觉跟踪的自适应图像采集策略，控制SEM在成像过程中仅扫描操作工具和纳米器件所在的局部区域，以有效减少SEM成像过程中扫描的像素数，从而在保证图像质量的前提下，提高成像的速度，并利用通用成像模型对SEM成像系统参数进行标定；此基础上，根据快速获取的SEM图像序列对运动过程中的操作工具和纳米器件进行实时连续的三维重建，从而最终实现纳米尺度下的实时三维视觉信息反馈。
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