公开(公告)号：CN106057712A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201610644076.7

申请日：2016-08-09

Applicant: 华东光电集成器件研究所

Inventor： 张乐银 ,  向圆 ,  李彪 ,  秦盼 ,  李炳旺 ,  李苏苏 ,  明源

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67144 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明涉及一种光耦合器电路精确快速固晶装置，包括在底座上设置相互对应配合的校准器和承片台，承片台上设置光耦合器电路，在光耦合器电路上侧设置透明标尺，所述透明标尺包括透明板，在透明板上设有环形的第一刻度线和环形的第二刻度线，在透明板的一侧还设有间隔设置的第一凹槽和第二凹槽，第一凹槽和第二凹槽均设置在第二刻度线的内部，在透明板上还设有第三刻度线。本发明的优点：本装置利用透明定位卡尺，能够快速、高精度的实现晶粒的定位，手动即可将光发射与光敏二极管管芯的距离偏差控制在±10μm，满足光耦合器电路高精度的要求，操作简单、效率较高、工装制造成本低廉。