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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111688044A
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN202010386627.0
申请日：2020-05-09
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明提供了一种基于蓝宝石材料的纳米压印模板及其制造方法。蓝宝石材料经过精密研磨、第一次退火去应力、多步抛光、湿法清洗及第二次表面结构化退火处理，其表面形成一种纳米台阶结构，该结构作为纳米热压印模板。通过采用不同晶面蓝宝石材料、调整晶面错切角、调整热处理温度和时间等工艺参数均可获得不同台阶高度、宽度的纳米压印模板。本发明的方法简单易操作，对于纳米、亚纳米级新型元器件的开发应用，具有很广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN111097748A
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201911387268.4
申请日：2019-12-27
Applicant: 北京理工大学
IPC: B08B3/12 , B08B3/08 , B08B3/10 , C11D1/22 , C11D1/37 , C11D7/08 , C11D7/06 , C11D7/04 , C11D7/60
Abstract: 本发明公开了一种大尺寸蓝宝石窗口抛光后的多元复合清洗方法，所述大尺寸蓝宝石窗口依次通过以下步骤进行清洗：在超声环境下表面活性剂溶液的处理，去除表面较大颗粒；在兆声环境下的H2SO4和H2O2的混合溶液中，去除有机污染物；在兆声环境下的NH4OH，H2O2和H2O混合溶液以及H3PO4，H2O2和H2O的混合溶液中去除微小颗粒；在兆声环境下的HCl，H2O2和H2O的混合溶液中处理，去除金属离子等污染物。本发明的多元复合清洗方法能够有效去除大尺寸蓝宝石窗口、尤其是6英寸以上的大尺寸蓝宝石窗口表面多种污染物，且去除均匀，获得整体洁净度极高的大尺寸蓝宝石窗口，清洗过程易于掌握，清洗效果稳定，重复性和标准化程度高。
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公开(公告)号：CN112873583A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202110255874.1
申请日：2021-03-09
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于蓝宝石晶向与加工方向协同原理的低损伤加工方法，包括以下步骤：步骤S1、在所述蓝宝石加工前，采用X射线晶体定向仪对所述蓝宝石进行定向；步骤S2、将所述蓝宝石装夹于CNC精密磨床上，设置所述CNC精密磨床中砂轮的轴向与所述蓝宝石的c轴方向平行；步骤S3、编程设定加工工艺参数，采用所述CNC精密磨床对蓝宝石进行加工，其中，对于所述M面蓝宝石，所述砂轮沿着所述a轴方向进行磨削，对于所述A面蓝宝石，所述砂轮沿着所述m轴方向进行磨削。本发明中所选加工方向有助于减小磨削力，降低磨粒脱落的可能性，有助于提升蓝宝石磨削加工表面质量，尤其是对于大尺寸蓝宝石及沟槽型结构制造技术具有重要意义。
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公开(公告)号：CN112873583B
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202110255874.1
申请日：2021-03-09
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于蓝宝石晶向与加工方向协同原理的低损伤加工方法，包括以下步骤：步骤S1、在所述蓝宝石加工前，采用X射线晶体定向仪对所述蓝宝石进行定向；步骤S2、将所述蓝宝石装夹于CNC精密磨床上，设置所述CNC精密磨床中砂轮的轴向与所述蓝宝石的c轴方向平行；步骤S3、编程设定加工工艺参数，采用所述CNC精密磨床对蓝宝石进行加工，其中，对于所述M面蓝宝石，所述砂轮沿着所述a轴方向进行磨削，对于所述A面蓝宝石，所述砂轮沿着所述m轴方向进行磨削。本发明中所选加工方向有助于减小磨削力，降低磨粒脱落的可能性，有助于提升蓝宝石磨削加工表面质量，尤其是对于大尺寸蓝宝石及沟槽型结构制造技术具有重要意义。
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公开(公告)号：CN111688044B
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN202010386627.0
申请日：2020-05-09
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明提供了一种基于蓝宝石材料的纳米压印模板及其制造方法。蓝宝石材料经过精密研磨、第一次退火去应力、多步抛光、湿法清洗及第二次表面结构化退火处理，其表面形成一种纳米台阶结构，该结构作为纳米热压印模板。通过采用不同晶面蓝宝石材料、调整晶面错切角、调整热处理温度和时间等工艺参数均可获得不同台阶高度、宽度的纳米压印模板。本发明的方法简单易操作，对于纳米、亚纳米级新型元器件的开发应用，具有很广泛的应用前景。
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