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公开(公告)号：CN107511847B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201710954460.1
申请日：2017-10-13
Abstract: 本发明公开了一种应用于末端可翻转晶圆机器人的末端气路密封装置，机器人末端由电机同步带实现翻转的动作，密封组件末端连接法兰连接翻转抓手，定管与前端的气路连接并由法兰固定在末端壳体内。吸附晶圆时的密封过程如下，气阀在气路内部产生负压，洁净室相对气路为正压，此时内外气压差将橡胶密封圈外圈压在定管上，由此气路密封可以进行晶圆的吸附抓取。因为密封是靠内外气压差进行的，所以进行翻转动作时完全不会影响气路的密封效果。此种气路方案避免线路缠绕，实现翻转动作与真空产生动作的同轴设计，并且极大程度的降低了加工成本。
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公开(公告)号：CN107063601B
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201710342239.0
申请日：2017-05-14
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于HSK100主轴刀柄高速运转下结合面的刚度计算方法，属于机械设计与制造的领域。该方法考虑了HSK主轴刀柄在不同高速旋转的承载变化，由于刀柄的连接特性受多方面的影响。刀柄主轴系统的接触属于非线性研究理论，如果想定量的研究主轴刀柄系统连接参数对连接性能的研究，需要从非线性考虑。然而分形几何学和优化的Hertz接触理论能从微观到宏观上研究接触问题，利用分形方法计算当主轴刀柄刚度达到平衡状态时，HSK100主轴刀柄结合面的总体接触刚度。本方法首次提出运用分形理论以及Hertz接触理论对在高转速下的HSK100主轴刀柄结合部进行了刚度的计算，此方法可以为HSK100主轴刀柄接触刚度做理论依据，可以更好的提升HSK100主轴刀柄的精度以及寿命。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106768741B
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201611113852.7
申请日：2016-12-07
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01M5/00
Abstract: 本发明公开了一种考虑混凝土微凸体破碎的机床‑基础结合面接触刚度计算方法，该方法认为混凝土表面微凸体受较大载荷时会产生破碎现象，原本破碎的微凸体负载由其他未破碎的微凸体承担，继续有微凸体产生破碎，如此往复达到一种平衡状态。首先依据相应混凝土标号的单轴受压应力‑应变曲线，建立混凝土临界破碎应力和单个微凸体的临界破碎面积的关系，并获得单个微凸体临界变形面积值，基于分形理论分别求出混凝土微凸体在弹性、塑性、破碎变形阶段的承载力。采用有限元方法提取不同预紧力下的试件结合面接触压强，在此基础上计算获得混凝土‑钢结合面接触刚度，并利用ANSYS进行仿真分析，设计实验对理论模型进行验证。
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公开(公告)号：CN107063601A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201710342239.0
申请日：2017-05-14
Applicant: 北京工业大学
CPC classification number: G01M5/0058 , G06F17/5036
Abstract: 本发明公开了一种基于HSK100主轴刀柄高速运转下结合面的刚度计算方法，属于机械设计与制造的领域。该方法考虑了HSK主轴刀柄在不同高速旋转的承载变化，由于刀柄的连接特性受多方面的影响。刀柄主轴系统的接触属于非线性研究理论，如果想定量的研究主轴刀柄系统连接参数对连接性能的研究，需要从非线性考虑。然而分形几何学和优化的Hertz接触理论能从微观到宏观上研究接触问题，利用分形方法计算当主轴刀柄刚度达到平衡状态时，HSK100主轴刀柄结合面的总体接触刚度。本方法首次提出运用分形理论以及Hertz接触理论对在高转速下的HSK100主轴刀柄结合部进行了刚度的计算，此方法可以为HSK100主轴刀柄接触刚度做理论依据，可以更好的提升HSK100主轴刀柄的精度以及寿命。
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公开(公告)号：CN107511847A
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：CN201710954460.1
申请日：2017-10-13
Abstract: 本发明公开了一种应用于末端可翻转晶圆机器人的末端气路密封装置，机器人末端由电机同步带实现翻转的动作，密封组件末端连接法兰连接翻转抓手，定管与前端的气路连接并由法兰固定在末端壳体内。吸附晶圆时的密封过程如下，气阀在气路内部产生负压，洁净室相对气路为正压，此时内外气压差将橡胶密封圈外圈压在定管上，由此气路密封可以进行晶圆的吸附抓取。因为密封是靠内外气压差进行的，所以进行翻转动作时完全不会影响气路的密封效果。此种气路方案避免线路缠绕，实现翻转动作与真空产生动作的同轴设计，并且极大程度的降低了加工成本。
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公开(公告)号：CN107314854A
公开(公告)日：2017-11-03
申请号：CN201710548922.X
申请日：2017-07-07
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01L5/24
CPC classification number: G01L5/24
Abstract: 本发明公开了一种实时测量振动环境下螺栓夹紧力衰减的装置及方法，该装置包括：螺栓连接件、压力传感器、力矩扳手、四通道放大器、数据采集卡、信号发生器、功率放大器、振动台、振级放大装置、电荷放大器、示波器和处理器。振动台对螺栓试验件加载振动载荷，压力传感器测量夹紧力衰减的变化，并以力信号的形式传送到四通道放大器进行力信号放大，最终放大后的力信号由数据采集卡进行数据采集，并在相应处理器上对数据进行处理，得到夹紧力衰减与振动载荷大小和时间的变化关系，最终得到螺栓松弛的规律。本发明具有精度高、重复利用率高、结构简单，而且操作起来简便易行，能够实时监测等优点。
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公开(公告)号：CN106768741A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611113852.7
申请日：2016-12-07
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01M5/00
CPC classification number: G01M5/0041
Abstract: 本发明公开了一种考虑混凝土微凸体破碎的机床‑基础结合面接触刚度计算方法，该方法认为混凝土表面微凸体受较大载荷时会产生破碎现象，原本破碎的微凸体负载由其他未破碎的微凸体承担，继续有微凸体产生破碎，如此往复达到一种平衡状态。首先依据相应混凝土标号的单轴受压应力‑应变曲线，建立混凝土临界破碎应力和单个微凸体的临界破碎面积的关系，并获得单个微凸体临界变形面积值，基于分形理论分别求出混凝土微凸体在弹性、塑性、破碎变形阶段的承载力。采用有限元方法提取不同预紧力下的试件结合面接触压强，在此基础上计算获得混凝土‑钢结合面接触刚度，并利用ANSYS进行仿真分析，设计实验对理论模型进行验证。
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