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1.

发明公开
制造自装配微结构的方法失效

公开(公告)号：CN1893062A

公开(公告)日：2007-01-10

申请号：CN200610081905.1

申请日：1994-12-07

申请人： 加利福尼亚大学董事会

发明人： 约翰·S·史密斯 , H·J·J·叶

IPC分类号： H01L25/00 , H01L23/13

CPC分类号： H01L24/95 , G02F1/136 , G02F1/1362 , G02F1/1368 , H01L21/6835 , H01L21/78 , H01L21/7813 , H01L23/13 , H01L23/147 , H01L24/24 , H01L24/26 , H01L24/82 , H01L24/83 , H01L25/04 , H01L25/0655 , H01L25/0753 , H01L25/50 , H01L29/0657 , H01L33/20 , H01L2221/68359 , H01L2224/24227 , H01L2224/83136 , H01L2224/8319 , H01L2224/8385 , H01L2224/95085 , H01L2224/95092 , H01L2224/95122 , H01L2224/95136 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01015 , H01L2924/01018 , H01L2924/01019 , H01L2924/01023 , H01L2924/01027 , H01L2924/01032 , H01L2924/01033 , H01L2924/01039 , H01L2924/01042 , H01L2924/01047 , H01L2924/01049 , H01L2924/01061 , H01L2924/01067 , H01L2924/01072 , H01L2924/01074 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01084 , H01L2924/01322 , H01L2924/014 , H01L2924/07802 , H01L2924/09701 , H01L2924/10158 , H01L2924/10253 , H01L2924/10329 , H01L2924/10336 , H01L2924/12041 , H01L2924/12042 , H01L2924/14 , H01L2924/15153 , H01L2924/15155 , H01L2924/15157 , H01L2924/15165 , H01L2924/15787 , H01L2924/181 , H01L2924/19043 , H01L2924/30105 , H01L2924/30107 , H01S5/02252 , H01S5/02284 , H01S5/183 , H01L2924/00

摘要： 一种通过液体传送将微结构组装到衬底上的方法。呈成型模块(19)的微结构自对准到位于衬底(50)上的凹槽区域(55)，使微结构变成与衬底结合起来。所改进的方法包括将成型模块移入液体形成一种悬浮物的步骤，然后将这种悬浮物均匀地倾倒在其上具有凹槽区域的衬底的顶面(53)的上方。通过成型和流体的作用微结构跌落到衬底的表面，自对准并接合到凹槽区域。

2.

发明授权
具有自装配微结构的电子器件失效

公开(公告)号：CN100466250C

公开(公告)日：2009-03-04

申请号：CN200610081905.1

申请日：1994-12-07

申请人： 加利福尼亚大学董事会

发明人： 约翰·S·史密斯 , H·J·J·叶

IPC分类号： H01L25/00 , H01L23/13

CPC分类号： H01L24/95 , G02F1/136 , G02F1/1362 , G02F1/1368 , H01L21/6835 , H01L21/78 , H01L21/7813 , H01L23/13 , H01L23/147 , H01L24/24 , H01L24/26 , H01L24/82 , H01L24/83 , H01L25/04 , H01L25/0655 , H01L25/0753 , H01L25/50 , H01L29/0657 , H01L33/20 , H01L2221/68359 , H01L2224/24227 , H01L2224/83136 , H01L2224/8319 , H01L2224/8385 , H01L2224/95085 , H01L2224/95092 , H01L2224/95122 , H01L2224/95136 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01015 , H01L2924/01018 , H01L2924/01019 , H01L2924/01023 , H01L2924/01027 , H01L2924/01032 , H01L2924/01033 , H01L2924/01039 , H01L2924/01042 , H01L2924/01047 , H01L2924/01049 , H01L2924/01061 , H01L2924/01067 , H01L2924/01072 , H01L2924/01074 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01084 , H01L2924/01322 , H01L2924/014 , H01L2924/07802 , H01L2924/09701 , H01L2924/10158 , H01L2924/10253 , H01L2924/10329 , H01L2924/10336 , H01L2924/12041 , H01L2924/12042 , H01L2924/14 , H01L2924/15153 , H01L2924/15155 , H01L2924/15157 , H01L2924/15165 , H01L2924/15787 , H01L2924/181 , H01L2924/19043 , H01L2924/30105 , H01L2924/30107 , H01S5/02252 , H01S5/02284 , H01S5/183 , H01L2924/00

摘要： 一种通过液体传送将微结构组装到衬底上的方法。呈成型模块(19)的微结构自对准到位于衬底(50)上的凹槽区域(55)，使微结构变成与衬底结合起来。所改进的方法包括将成型模块移入液体形成一种悬浮物的步骤，然后将这种悬浮物均匀地倾倒在其上具有凹槽区域的衬底的顶面(53)的上方。通过成型和流体的作用微结构跌落到衬底的表面，自对准并接合到凹槽区域。

3.

发明公开
制造自装配微结构的方法失效

公开(公告)号：CN1137329A

公开(公告)日：1996-12-04

申请号：CN94194495.6

申请日：1994-12-07

申请人： 加利福尼亚大学董事会

发明人： 约翰·S·史密斯 , H·J·J·叶

IPC分类号： H01L21/302 , H01L21/306

CPC分类号： H01L24/95 , G02F1/136 , G02F1/1362 , G02F1/1368 , H01L21/6835 , H01L21/78 , H01L21/7813 , H01L23/13 , H01L23/147 , H01L24/24 , H01L24/26 , H01L24/82 , H01L24/83 , H01L25/04 , H01L25/0655 , H01L25/0753 , H01L25/50 , H01L29/0657 , H01L33/20 , H01L2221/68359 , H01L2224/24227 , H01L2224/83136 , H01L2224/8319 , H01L2224/8385 , H01L2224/95085 , H01L2224/95092 , H01L2224/95122 , H01L2224/95136 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01015 , H01L2924/01018 , H01L2924/01019 , H01L2924/01023 , H01L2924/01027 , H01L2924/01032 , H01L2924/01033 , H01L2924/01039 , H01L2924/01042 , H01L2924/01047 , H01L2924/01049 , H01L2924/01061 , H01L2924/01067 , H01L2924/01072 , H01L2924/01074 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01084 , H01L2924/01322 , H01L2924/014 , H01L2924/07802 , H01L2924/09701 , H01L2924/10158 , H01L2924/10253 , H01L2924/10329 , H01L2924/10336 , H01L2924/12041 , H01L2924/12042 , H01L2924/14 , H01L2924/15153 , H01L2924/15155 , H01L2924/15157 , H01L2924/15165 , H01L2924/15787 , H01L2924/181 , H01L2924/19043 , H01L2924/30105 , H01L2924/30107 , H01S5/02252 , H01S5/02284 , H01S5/183 , H01L2924/00

摘要： 一种通过液体传送将微结构组装到衬底上的方法。呈成型模块(19)的微结构自对准到位于衬底(50)上的凹槽区域(55)，使微结构变成与衬底结合起来。所改进的方法包括将成型模块移入液体形成一种悬浮物的步骤，然后将这种悬浮物均匀地倾倒在其上具有凹槽区域的衬底的顶面(53)的上方。通过成型和流体的作用微结构跌落到衬底的表面，自对准并接合到凹槽区域。

4.

发明授权
制造自装配微结构的方法失效

公开(公告)号：CN1263098C

公开(公告)日：2006-07-05

申请号：CN02156104.4

申请日：1994-12-07

申请人： 加利福尼亚大学董事会

发明人： 约翰·S·史密斯 , H·J·J·叶

IPC分类号： H01L21/302 , H01L21/306

CPC分类号： H01L24/95 , G02F1/136 , G02F1/1362 , G02F1/1368 , H01L21/6835 , H01L21/78 , H01L21/7813 , H01L23/13 , H01L23/147 , H01L24/24 , H01L24/26 , H01L24/82 , H01L24/83 , H01L25/04 , H01L25/0655 , H01L25/0753 , H01L25/50 , H01L29/0657 , H01L33/20 , H01L2221/68359 , H01L2224/24227 , H01L2224/83136 , H01L2224/8319 , H01L2224/8385 , H01L2224/95085 , H01L2224/95092 , H01L2224/95122 , H01L2224/95136 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01015 , H01L2924/01018 , H01L2924/01019 , H01L2924/01023 , H01L2924/01027 , H01L2924/01032 , H01L2924/01033 , H01L2924/01039 , H01L2924/01042 , H01L2924/01047 , H01L2924/01049 , H01L2924/01061 , H01L2924/01067 , H01L2924/01072 , H01L2924/01074 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01084 , H01L2924/01322 , H01L2924/014 , H01L2924/07802 , H01L2924/09701 , H01L2924/10158 , H01L2924/10253 , H01L2924/10329 , H01L2924/10336 , H01L2924/12041 , H01L2924/12042 , H01L2924/14 , H01L2924/15153 , H01L2924/15155 , H01L2924/15157 , H01L2924/15165 , H01L2924/15787 , H01L2924/181 , H01L2924/19043 , H01L2924/30105 , H01L2924/30107 , H01S5/02252 , H01S5/02284 , H01S5/183 , H01L2924/00

摘要： 一种通过液体传送将微结构组装到衬底上的方法。呈成型模块(19)的微结构自对准到位于衬底(50)上的凹槽区域(55)，使微结构变成与衬底结合起来。所改进的方法包括将成型模块移入液体形成一种悬浮物的步骤，然后将这种悬浮物均匀地倾倒在其上具有凹槽区域的衬底的顶面(53)的上方。通过成型和流体的作用微结构跌落到衬底的表面，自对准并接合到凹槽区域。

5.

发明公开
制造自装配微结构的方法失效

公开(公告)号：CN1492483A

公开(公告)日：2004-04-28

申请号：CN02156104.4

申请日：1994-12-07

申请人： 加利福尼亚大学董事会

发明人： 约翰·S·史密斯 , H·J·J·叶

IPC分类号： H01L21/302 , H01L21/306

CPC分类号： H01L24/95 , G02F1/136 , G02F1/1362 , G02F1/1368 , H01L21/6835 , H01L21/78 , H01L21/7813 , H01L23/13 , H01L23/147 , H01L24/24 , H01L24/26 , H01L24/82 , H01L24/83 , H01L25/04 , H01L25/0655 , H01L25/0753 , H01L25/50 , H01L29/0657 , H01L33/20 , H01L2221/68359 , H01L2224/24227 , H01L2224/83136 , H01L2224/8319 , H01L2224/8385 , H01L2224/95085 , H01L2224/95092 , H01L2224/95122 , H01L2224/95136 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01015 , H01L2924/01018 , H01L2924/01019 , H01L2924/01023 , H01L2924/01027 , H01L2924/01032 , H01L2924/01033 , H01L2924/01039 , H01L2924/01042 , H01L2924/01047 , H01L2924/01049 , H01L2924/01061 , H01L2924/01067 , H01L2924/01072 , H01L2924/01074 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01084 , H01L2924/01322 , H01L2924/014 , H01L2924/07802 , H01L2924/09701 , H01L2924/10158 , H01L2924/10253 , H01L2924/10329 , H01L2924/10336 , H01L2924/12041 , H01L2924/12042 , H01L2924/14 , H01L2924/15153 , H01L2924/15155 , H01L2924/15157 , H01L2924/15165 , H01L2924/15787 , H01L2924/181 , H01L2924/19043 , H01L2924/30105 , H01L2924/30107 , H01S5/02252 , H01S5/02284 , H01S5/183 , H01L2924/00

摘要： 一种通过液体传送将微结构组装到衬底上的方法。呈成型模块(19)的微结构自对准到位于衬底(50)上的凹槽区域(55)，使微结构变成与衬底结合起来。所改进的方法包括将成型模块移入液体形成一种悬浮物的步骤，然后将这种悬浮物均匀地倾倒在其上具有凹槽区域的衬底的顶面(53)的上方。通过成型和流体的作用微结构跌落到衬底的表面，自对准并接合到凹槽区域。