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公开(公告)号：CN116422887A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202310242877.0
申请日：2023-03-14
Applicant: 先导薄膜材料有限公司
Abstract: 本发明公开了一种钨钛合金靶坯的制备方法，包括以下步骤：备粉；制模：使用金属钛焊接成型包套模具；装模：用陶瓷纤维纸将包套模具内部铺满，然后依次放入镍基高温合金支撑板、陶瓷纤维纸、钨钛合金粉末、陶瓷纤维纸、镍基高温合金支撑板，镍基高温合金支撑板、陶瓷纤维纸、钨钛合金粉末、陶瓷纤维纸、镍基高温合金支撑板作为一个整体模块；所述模块在模具内至少有1个；密封包套模具；将密封后的包套模具进行脱气处理；将脱气处理后的包套模具进行热等静压烧结，热压温度为1150~1300℃，压力为120~150Mpa；去包套，取出钨钛靶坯。本发明制备得到的钨钛靶坯致密度高、平整度高、纯度高，可生产大尺寸的钨钛靶坯。
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公开(公告)号：CN116237546A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202310268471.X
申请日：2023-03-15
Applicant: 先导薄膜材料有限公司
Abstract: 本发明涉及靶材制备技术领域，提供了一种铬旋转靶材的机加工方法，包括以下步骤：(1)采用三爪中空卡盘固定在铬旋转靶材的外表面，将中空卡盘固定在车床上，使中空卡盘带动旋转靶材绕其轴线旋转，采用镗孔刀对铬旋转靶材的不锈钢内孔进行加工；(2)使用夹具和顶尖固定铬旋转靶材的内孔，将夹具固定在车床上，使夹具带动旋转靶材绕其轴线旋转，对铬旋转靶材的外表面进行加工，加工时使用激光光源照射切削处；(3)气密性检测，得到机加工后的铬旋转靶材。本发明采用车床对铬旋转靶材进行机加工，能够在保证精度的前提下，提高加工效率，节省加工时间。
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公开(公告)号：CN113213938B
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202110550527.1
申请日：2021-05-20
Applicant: 先导薄膜材料有限公司
IPC: C04B35/547 , C04B35/626 , C04B35/622 , C04B35/645 , C01G15/00 , C23C14/34 , C23C14/06
Abstract: 本发明公开了一种微细硫化铟粉体及靶材的制备方法，所述微细硫化铟粉体的制备方法包括如下步骤：将H2S气体通入In2(SO4)3溶液中，搅拌下反应合成硫化铟，反应结束后，对合成产物进行漂洗、过滤、煅烧、球磨及过筛，得到粒度D90为20～40μm的硫化铟粉体；将硫化铟粉体进行气流粉碎，气流粉碎的加料压力和粉碎压力为8～12kg，加料速度为3～5kg/h的匀速，加料结束后继续通气3～5min，得到D90＜5μm的微细硫化铟粉体。本发明制得的硫化铟粉体为四方结构的β‑In2S3，粒度D90＜5μm，将其用于制备靶材，利于提高靶材的品质，使靶材的平均晶粒度＜5μm，电阻率＜0.5KΩ/cm，相对密度≥97％，杂质含量低，溅射所形成薄膜的稳定性好、厚度分布均匀、及晶粒大小一致。
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公开(公告)号：CN114293158A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111519475.8
申请日：2021-12-13
Applicant: 先导薄膜材料有限公司
Abstract: 本发明提供一种钨硅合金靶材的制备方法，包括以下步骤：(1)以硅粉和钨粉为原料，将硅粉真空加热后，水淬处理；(2)将水淬后的硅粉放入球磨罐中进行真空球磨，然后真空干燥；(3)将真空干燥后的硅粉加入到硫酸和盐酸的混合液中超声处理；然后用水清洗，洗后放入干燥箱真空干燥；(4)将硅粉与钨粉进行真空球磨；(5)将钨硅粉末进行真空感应加热处理；(6)将初步合金化的钨硅粉末进行球磨处理；(7)将混合粉末烧结、机加工、去除渗碳层，得到所述钨硅合金靶材。本制备方法提高了钨硅合金靶材的性能，降低了钨硅靶材对于温度和压力的敏感度，提高靶材的致密度和均匀性，防止在镀膜过程中因为气孔产生的污染和镀膜后薄层的不均一性。
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公开(公告)号：CN113652526A
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202110825469.9
申请日：2021-07-21
Applicant: 先导薄膜材料有限公司
IPC: C21D1/18 , C21D1/58 , C21D1/60 , C21D1/613 , C21D9/00 , C23C14/34 , C22F1/04 , C22F1/18 , C22F1/10
Abstract: 本发明公开了一种靶材的热处理淬火方法。所述方法包括如下步骤：将金属靶材进行热处理后，在淬火介质中进行淬火处理得到靶材；所述金属靶材热处理的温度T1为100≤T1＜300℃时，淬火介质为水；所述金属靶材热处理的温度T2为300≤T2≤500℃时，淬火介质为油；所述金属靶材热处理的温度T3为500＜T3≤700℃时，淬火介质包括强迫流动的空气、油；所述金属靶材热处理的温度T4为700＜T4≤900℃时，淬火介质包括强迫流动的空气、油、水。本发明针对不同的热处理温度靶材采取不同的淬火方法，降低了靶材内部的应力，减小晶粒尺寸，防止长时间冷却过程中的晶粒长大，保证靶材溅射沉积薄膜的质量。
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公开(公告)号：CN113579233A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202110803536.7
申请日：2021-07-14
Applicant: 先导薄膜材料有限公司
Abstract: 本发明公开一种钨钛合金靶材及其制备方法，涉及靶材制备领域。本发明所述一种钨钛合金靶材的制备方法，包括如下步骤：(1)将钨粉和钛粉混合均匀，得到混合合金粉末；(2)用石墨纸将模具内部铺满后，将石墨纸、垫片、混合合金粉末装入模具中；其中，所述石墨纸、垫片、混合合金粉末的装入顺序从下往上依次为：石墨纸、垫片、合金粉；石墨纸、垫片、合金粉作为一个整体模块，所述模块在模具中至少2个；最后依次加入石墨纸、垫片后封装模具；(3)模具进行脱气后，置于热等静压炉中烧结，反应一段时间后冷却至25‑30℃，取出模具，得到钨钛合金靶坯；(4)将步骤(3)中的钨钛合金靶坯进行机加工处理后，得到所述钨钛合金靶材。
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公开(公告)号：CN116213703A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310249387.3
申请日：2023-03-15
Applicant: 先导薄膜材料有限公司
Abstract: 本发明涉及溅射靶材技术领域，提供了一种铬旋转靶材的制备方法，包括以下步骤：(1)在背管的外径面加工螺旋纹路和喷砂处理；(2)将背管与包套的底面进行焊接，使背管和包套之间设有空腔，把铬粉加入至空腔内，对背管与包套的上表面进行焊接后，依次进行脱气脱水和抽真空；(3)放入热等静压设备中进行预成型；(4)再次进行热等静压，提高铬粉致密化；(5)退火。本发明通过增加了预成型的过程，能够控制整个靶材的变形方向，减少靶材的形变量，提高靶材的致密度。
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