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公开(公告)号：CN104918749A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201380070039.4
申请日：2013-12-06
Applicant: 信越半导体株式会社
IPC: B24B27/06 , B28D5/04 , H01L21/304
CPC classification number: B28D5/045 , B24B27/0633
Abstract: 本发明提供一种线锯的再次开始运转方法，该线锯是一边将钢线的新线从供给侧供给至回收侧，一边使钢线在钢线轴向上作往复行进，向钢线供给切断用的浆料，并将工件相对地压下，使该工件压抵并切入进给于作往复行进的钢线，而将工件切断成晶圆状；该线锯的再次开始运转方法，是在该线锯的运转中，钢线断线而在中途暂时中断工件的切断之后，再次开始该切断的方法，该线锯的再次开始运转方法具有以下步骤：修复步骤，其在中断工件的切断之后再次开始工件的切断之前，修复断线的钢线；切断准备步骤，其使工件的切断位置上的已修复的钢线的直径与即将断线之前的钢线的直径一致。由此，即便在因钢线的断线而导致工件的切断在中途被中断的情况下，也能够抑制在再次开始运转后切断的晶圆上产生沟槽，并能够抑制产品晶圆的质量问题。
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公开(公告)号：CN105814669A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201480067818.3
申请日：2014-11-27
Applicant: 信越半导体株式会社
IPC: H01L21/304 , B24B27/06 , B28D5/04
CPC classification number: B28D5/0082 , B24B27/0633 , B28D5/045 , H01L21/304 , H01L22/12
Abstract: 本发明是一种工件的切断方法，其在利用工件保持夹具(1)来保持工件并测定晶轴方位后，以不弄乱已测定的晶轴方位的方式利用工件保持夹具来保持工件，并在该状态下将工件保持夹具设置在线锯上，然后调整切断面方位，且将工件压抵至金属线列上，从而进行切断，其特征在于，工件保持夹具由能够在保持所述工件的状态下进行滑动的滑动部(2)和固定该滑动部的固定部(3)构成，在测定晶轴方位后，使滑动部滑动，且以不弄乱晶轴方位的方式使工件移动到工件保持夹具的中央部，并通过固定部来固定滑动部，且将工件保持夹具设置在线锯上，然后调整切断面方位，并进行切断。由此，提供一种工件的切断方法及工件保持夹具，其不但能够在不受限于方位测定器与工件测定面的距离的限制的情况下进行方位测定，且能够抑制翘曲的恶化与工件的破损。
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公开(公告)号：CN105814669B
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201480067818.3
申请日：2014-11-27
Applicant: 信越半导体株式会社
IPC: H01L21/304 , B24B27/06 , B28D5/04
Abstract: 本发明是一种工件的切断方法，其在利用工件保持夹具(1)来保持工件并测定晶轴方位后，以不弄乱已测定的晶轴方位的方式利用工件保持夹具来保持工件，并在该状态下将工件保持夹具设置在线锯上，然后调整切断面方位，且将工件压抵至金属线列上，从而进行切断，其特征在于，工件保持夹具由能够在保持所述工件的状态下进行滑动的滑动部(2)和固定该滑动部的固定部(3)构成，在测定晶轴方位后，使滑动部滑动，且以不弄乱晶轴方位的方式使工件移动到工件保持夹具的中央部，并通过固定部来固定滑动部，且将工件保持夹具设置在线锯上，然后调整切断面方位，并进行切断。由此，提供一种工件的切断方法及工件保持夹具，其不但能够在不受限于方位测定器与工件测定面的距离的限制的情况下进行方位测定，且能够抑制翘曲的恶化与工件的破损。
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公开(公告)号：CN104918749B
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201380070039.4
申请日：2013-12-06
Applicant: 信越半导体株式会社
IPC: B24B27/06 , B28D5/04 , H01L21/304
CPC classification number: B28D5/045 , B24B27/0633
Abstract: 本发明提供一种线锯的再次开始运转方法，该线锯是一边将钢线的新线从供给侧供给至回收侧，一边使钢线在钢线轴向上作往复行进，向钢线供给切断用的浆料，并将工件相对地压下，使该工件压抵并切入进给于作往复行进的钢线，而将工件切断成晶圆状；该线锯的再次开始运转方法，是在该线锯的运转中，钢线断线而在中途暂时中断工件的切断之后，再次开始该切断的方法，该线锯的再次开始运转方法具有以下步骤：修复步骤，其在中断工件的切断之后再次开始工件的切断之前，修复断线的钢线；切断准备步骤，其使工件的切断位置上的已修复的钢线的直径与即将断线之前的钢线的直径一致。由此，即便在因钢线的断线而导致工件的切断在中途被中断的情况下，也能够抑制在再次开始运转后切断的晶圆上产生沟槽，并能够抑制产品晶圆的质量问题。
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