公开(公告)号：CN105814669A

公开(公告)日：2016-07-27

申请号：CN201480067818.3

申请日：2014-11-27

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 内山敦雄 ,  高野久和 ,  齐藤雅仁 ,  神头宏俊

IPC: H01L21/304 ,  B24B27/06 ,  B28D5/04

CPC classification number: B28D5/0082 ,  B24B27/0633 ,  B28D5/045 ,  H01L21/304 ,  H01L22/12

Abstract: 本发明是一种工件的切断方法，其在利用工件保持夹具(1)来保持工件并测定晶轴方位后，以不弄乱已测定的晶轴方位的方式利用工件保持夹具来保持工件，并在该状态下将工件保持夹具设置在线锯上，然后调整切断面方位，且将工件压抵至金属线列上，从而进行切断，其特征在于，工件保持夹具由能够在保持所述工件的状态下进行滑动的滑动部(2)和固定该滑动部的固定部(3)构成，在测定晶轴方位后，使滑动部滑动，且以不弄乱晶轴方位的方式使工件移动到工件保持夹具的中央部，并通过固定部来固定滑动部，且将工件保持夹具设置在线锯上，然后调整切断面方位，并进行切断。由此，提供一种工件的切断方法及工件保持夹具，其不但能够在不受限于方位测定器与工件测定面的距离的限制的情况下进行方位测定，且能够抑制翘曲的恶化与工件的破损。

公开(公告)号：CN105814669B

公开(公告)日：2019-03-22

申请号：CN201480067818.3

申请日：2014-11-27

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 内山敦雄 ,  高野久和 ,  齐藤雅仁 ,  神头宏俊

IPC: H01L21/304 ,  B24B27/06 ,  B28D5/04

Abstract: 本发明是一种工件的切断方法，其在利用工件保持夹具(1)来保持工件并测定晶轴方位后，以不弄乱已测定的晶轴方位的方式利用工件保持夹具来保持工件，并在该状态下将工件保持夹具设置在线锯上，然后调整切断面方位，且将工件压抵至金属线列上，从而进行切断，其特征在于，工件保持夹具由能够在保持所述工件的状态下进行滑动的滑动部(2)和固定该滑动部的固定部(3)构成，在测定晶轴方位后，使滑动部滑动，且以不弄乱晶轴方位的方式使工件移动到工件保持夹具的中央部，并通过固定部来固定滑动部，且将工件保持夹具设置在线锯上，然后调整切断面方位，并进行切断。由此，提供一种工件的切断方法及工件保持夹具，其不但能够在不受限于方位测定器与工件测定面的距离的限制的情况下进行方位测定，且能够抑制翘曲的恶化与工件的破损。