公开(公告)号：CN104918749B

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201380070039.4

申请日：2013-12-06

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 内山敦雄 ,  高野久和 ,  濑下仁 ,  圣泽幸夫 ,  仲俣大辅

IPC: B24B27/06 ,  B28D5/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B28D5/045 ,  B24B27/0633

Abstract: 本发明提供一种线锯的再次开始运转方法，该线锯是一边将钢线的新线从供给侧供给至回收侧，一边使钢线在钢线轴向上作往复行进，向钢线供给切断用的浆料，并将工件相对地压下，使该工件压抵并切入进给于作往复行进的钢线，而将工件切断成晶圆状；该线锯的再次开始运转方法，是在该线锯的运转中，钢线断线而在中途暂时中断工件的切断之后，再次开始该切断的方法，该线锯的再次开始运转方法具有以下步骤：修复步骤，其在中断工件的切断之后再次开始工件的切断之前，修复断线的钢线；切断准备步骤，其使工件的切断位置上的已修复的钢线的直径与即将断线之前的钢线的直径一致。由此，即便在因钢线的断线而导致工件的切断在中途被中断的情况下，也能够抑制在再次开始运转后切断的晶圆上产生沟槽，并能够抑制产品晶圆的质量问题。

公开(公告)号：CN104918749A

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201380070039.4

申请日：2013-12-06

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 内山敦雄 ,  高野久和 ,  濑下仁 ,  圣泽幸夫 ,  仲俣大辅

IPC: B24B27/06 ,  B28D5/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B28D5/045 ,  B24B27/0633

Abstract: 本发明提供一种线锯的再次开始运转方法，该线锯是一边将钢线的新线从供给侧供给至回收侧，一边使钢线在钢线轴向上作往复行进，向钢线供给切断用的浆料，并将工件相对地压下，使该工件压抵并切入进给于作往复行进的钢线，而将工件切断成晶圆状；该线锯的再次开始运转方法，是在该线锯的运转中，钢线断线而在中途暂时中断工件的切断之后，再次开始该切断的方法，该线锯的再次开始运转方法具有以下步骤：修复步骤，其在中断工件的切断之后再次开始工件的切断之前，修复断线的钢线；切断准备步骤，其使工件的切断位置上的已修复的钢线的直径与即将断线之前的钢线的直径一致。由此，即便在因钢线的断线而导致工件的切断在中途被中断的情况下，也能够抑制在再次开始运转后切断的晶圆上产生沟槽，并能够抑制产品晶圆的质量问题。