-
公开(公告)号:CN1865490A
公开(公告)日:2006-11-22
申请号:CN200610059151.X
申请日:2006-03-15
Applicant: 住友金属矿山株式会社
Abstract: 本发明的目的是提供一种不含会造成环境污染的Cr的溅射靶,该溅射靶能形成具有很少颗粒的薄膜。本发明采用含有5-30wt%的钨;Al和Ti中的至少一种,其总含量为0.1-10wt%;氧含量为0.05wt%或更低;余量基本为Ni的溅射靶。优选溅射靶的平均颗粒粒径为100μm或更小,溅射靶的表面粗糙度Ra为10μm或更小。采用上述溅射靶进行溅射而得到的膜中的颗粒粒径为3μm或更大,颗粒数目小于2粒颗粒/cm2。
-
公开(公告)号:CN102844134A
公开(公告)日:2012-12-26
申请号:CN201180018036.7
申请日:2011-04-07
Applicant: 住友金属矿山株式会社
CPC classification number: C23C14/3414 , B22F1/02 , B22F3/14 , C22C1/0425 , C22C9/00 , Y02E10/541 , Y02P70/521
Abstract: 本发明提供能够容易地制造高品质Cu-Ga合金粉末的Cu-Ga合金粉末的制造方法和Cu-Ga合金粉末、以及Cu-Ga合金溅射靶的制造方法和Cu-Ga合金溅射靶。本发明将以85:15~55:45的质量比配合Cu粉末和Ga而成的混合粉末,在非活性气体环境中以30~700℃的温度加以搅拌而进行合金化,从而获得Cu-Ga合金粉末。另外,通过对该Cu-Ga合金粉末加以成型并进行烧结,获得Cu-Ga合金溅射靶。
-
公开(公告)号:CN1321206C
公开(公告)日:2007-06-13
申请号:CN200410090057.1
申请日:2004-11-01
Applicant: 住友金属矿山株式会社
Abstract: 本发明提供一种具有比Ni-Cr-Al-Si系合金更优良的高温稳定性,并且电阻温度系数几乎为0的金属电阻材料。采用含有Al:1.0~15.0重量%、稀土类元素:0.01~0.5重量%,其余部分实质上由Cr及Ni构成,Cr/Ni重量比为0.15~1.1的溅射靶材,用溅射法形成的电阻薄膜,对该电阻薄膜在大气中,于200℃~500℃、1~10小时的条件下进行热处理。
-
公开(公告)号:CN102844134B
公开(公告)日:2016-06-01
申请号:CN201180018036.7
申请日:2011-04-07
Applicant: 住友金属矿山株式会社
CPC classification number: C23C14/3414 , B22F1/02 , B22F3/14 , C22C1/0425 , C22C9/00 , Y02E10/541 , Y02P70/521
Abstract: 本发明提供能够容易地制造高品质Cu-Ga合金粉末的Cu-Ga合金粉末的制造方法和Cu-Ga合金粉末、以及Cu-Ga合金溅射靶的制造方法和Cu-Ga合金溅射靶。本发明将以85:15~55:45的质量比配合Cu粉末和Ga而成的混合粉末,在非活性气体环境中以30~700℃的温度加以搅拌而进行合金化,从而获得Cu-Ga合金粉末。另外,通过对该Cu-Ga合金粉末加以成型并进行烧结,获得Cu-Ga合金溅射靶。
-
公开(公告)号:CN105452535A
公开(公告)日:2016-03-30
申请号:CN201480044604.4
申请日:2014-07-23
Applicant: 住友金属矿山株式会社
IPC: C25B9/02 , B22C9/06 , B22D21/00 , B22D25/02 , B22D25/04 , C25B1/00 , C25B11/04 , C25C7/02 , C25D17/10 , C25D17/12
CPC classification number: B22C9/06 , B22C9/22 , B22D21/00 , B22D21/005 , B22D25/04 , C25B1/00 , C25B9/02 , C25B11/04 , C25D17/10 , C25D17/12
Abstract: 抑制在电解时由电阻引起的温度上升,防止阳极的脱落。在由具有100℃~250℃的熔点的低熔点金属或低熔点合金形成的电极板的一边,以面接触的方式安装长度为该一边的长度以上、且由熔点比电极板的熔点高的金属或合金形成的保持构件。
-
公开(公告)号:CN1614059A
公开(公告)日:2005-05-11
申请号:CN200410090057.1
申请日:2004-11-01
Applicant: 住友金属矿山株式会社
Abstract: 本发明提供一种具有比Ni-Cr-Al-Si系合金更优良的高温稳定性,并且电阻温度系数几乎为0的金属电阻材料。采用含有Al:1.0~15.0重量%、稀土类元素:0.01~0.5重量%,其余部分实质上由Cr及Ni构成,Cr/Ni重量比为0.15~1.1的溅射靶材,用溅射法形成的电阻薄膜,对该电阻薄膜在大气中,于200℃~500℃、1~10小时的条件下进行热处理。
-
-
-
-
-