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公开(公告)号：CN1197848A
公开(公告)日：1998-11-04
申请号：CN98100854.2
申请日：1998-02-26
Applicant: 住友重机械工业株式会社 , 日本板硝子株式会社
IPC: C23C14/32
CPC classification number: H01J37/32422 , H01J37/3266
Abstract: 一种校正机构包括一个用以校正等离子体束扭转和/或偏移的磁体(51),它被置放在真空腔(21)和导引线圈(23)之间的一个位置处,在那里有由导引线圈产生的磁力线。
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公开(公告)号：CN1160478C
公开(公告)日：2004-08-04
申请号：CN98100854.2
申请日：1998-02-26
Applicant: 住友重机械工业株式会社 , 日本板硝子株式会社
IPC: C23C14/32
CPC classification number: H01J37/32422 , H01J37/3266
Abstract: 一种真空薄膜生长设备，其特征在于：它包括：一个真空腔，一个装在所述真空腔上的等离子体源，一个置于所述真空腔内的阳极，以及一个设在真空腔外将由所述等离子体源产生的等离子体束引导进入所述阳极的导引线圈；所述真空薄膜生长设备适用于将所述等离子体束引导向所述阳极并在一块衬底上形成一层薄膜；所述真空薄膜生长设备还包括一个用以校正所述等离子体束的扭转和/偏移的校正机构，所述校正机构包含设置于在所述导引线圈处、或者设置于所述导引线圈和所述真空腔之间另一位置处的一个磁体，在该另一位置处有从所述导引线圈产生的磁力线。
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公开(公告)号：CN1224307C
公开(公告)日：2005-10-19
申请号：CN00104598.9
申请日：2000-03-31
Applicant: 日本板硝子株式会社
CPC classification number: H05K9/0096 , B32B17/10174 , C03C17/36 , C03C17/3613 , C03C17/3639 , C03C17/3644 , C03C17/3676 , C03C2217/78 , C23C14/08 , C23C14/3414 , G02B5/285 , G02B5/287 , H01J2211/446
Abstract: 一种包括透明衬底和透光电磁波屏蔽膜的透光的电磁波滤波器，该屏蔽膜包括由2n+1(n≥1)层构成的叠层结构，在该叠层结构中至少两层介质层和至少一层银层交替叠层，并且首先在透明衬底上设置介质层，其中介质层的至少一层为在550nm波长时具有1.6至2.7的折射率的抗静电金属氧化物层，最好以金属氧化物例如含锡的氧化铟为靶在具有低氧含量的气氛下进行溅射来形成该透光的电磁波滤波器。电磁波滤波器有大的可见光透射率和低的近红外线透射率，没有针眼或污染，并具有抗潮热等的长久耐用性。
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公开(公告)号：CN1582404A
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：CN02822016.1
申请日：2002-11-06
Applicant: 日本板硝子株式会社
CPC classification number: G02B1/14 , C23C14/20 , G02B1/10 , G02B5/0833 , G02B5/0858 , G02F1/133553 , Y10T428/12569
Abstract: 一种在合成树脂上形成薄膜的方法，在合成树脂上形成金属保护层，并形成①半透过金属镜、②全反射金属镜或者③透明导电膜之一的薄膜。作为金属保护层的材料，优选选自Ti、Zr、Nb、Si、In以及Sn，用于确保合成树脂与薄膜之间的密合性的金属保护层的膜厚优选在1nm以上。另外，如果金属保护层的膜厚太厚，则金属保护层的光吸收会导致层压膜整体的透过率的下降，因此金属保护层的膜厚优选在5nm以下。本发明的目的在于提供在合成树脂上形成薄膜时可以比较简单地提高该合成树脂与薄膜之间的密合力的方法。
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公开(公告)号：CN1328269A
公开(公告)日：2001-12-26
申请号：CN01118751.4
申请日：2001-06-07
Applicant: 日本板硝子株式会社
IPC: G02F1/1335
CPC classification number: G02F1/133553 , G02F2201/346
Abstract: 提供一种反射式液晶显示元件用基底,具有多层电介质膜(反射镜),其层数可比根据传统技术的少由此可在更短的时间内形成,并可在可见光范围内获得一期望平面的稳定的光学特性,此外还可防止用于反射引起的着色。该反射镜形成于一透光基底之上,其由一预定数目的交替层迭于所述透光基底上的高折射率第一透光膜和低折射率第二透光膜组成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1838355B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200610059891.3
申请日：2006-03-21
Applicant: 日本板硝子株式会社
IPC: H01H13/70 , H01H13/702 , H01H13/704 , H01H13/718
CPC classification number: G06F3/0412
Abstract: 本发明提供一种触摸板，包括：第一透明衬底，在其一个表面上设置了透明导电膜；第二透明衬底，在其一个表面上设置了透明导电膜，所述第一衬底和所述第二衬底被互相平行地固定，以便所述透明导电膜互相相对；以及支撑部件，所述支撑部件插入在所述第一透明衬底与所述第二透明衬底之间，以便以预定距离相互分离；其中，在第一和第二透明衬底的至少一个的表面和相应透明导电膜之间形成四层的第一透明介质膜，在与其上形成了透明导电膜的表面相对的表面上形成了四层的第二透明介质膜。
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公开(公告)号：CN1807680A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN200610006348.7
申请日：2006-01-13
Applicant: 日本板硝子株式会社
CPC classification number: C04B35/46 , C04B35/495 , C04B2235/3237 , C04B2235/3251 , C04B2235/3253 , C04B2235/96 , C04B2235/9607 , C23C14/083 , C23C14/3414
Abstract: 一种根据本发明的溅射靶，其包括含NbOx和TiOx的氧化物烧结体，其中靶子中Ti原子的丰度比为包括两端值的70％～90％。优选地，所述氧化物烧结体具有不高于10Ω·cm的比电阻值。优选地，所述氧化物烧结体具有不大于7×10－6/K的热膨胀系数，以及不低于10×10－4cal/mm·K·sec的热传导率。
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公开(公告)号：CN1282091A
公开(公告)日：2001-01-31
申请号：CN00121464.0
申请日：2000-07-24
Applicant: 日本板硝子株式会社
CPC classification number: C03C17/3435 , C23C14/0676 , C23C14/3414
Abstract: 提供了一种制造显示基板的方法,该方法能容易地控制形成在基板一个表面上的抗带电薄膜的表面电阻值,还提供了一种用上述方法制造的显示基板。上述薄膜这样形成;用金属氧化物制备一个靶标,以及在一种惰性气体和氮气的混合气体环境中利用该靶标以溅射法在基板的一个表面上形成一个金属氮氧化合物薄膜,其中环境中的惰性气体与氮气的混合比被调节得使薄膜具有希望的表面电阻值。
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公开(公告)号：CN1271784A
公开(公告)日：2000-11-01
申请号：CN00108625.1
申请日：2000-04-22
Applicant: 日本板硝子株式会社
CPC classification number: H01J37/3429 , C23C14/027 , C23C14/352 , H01J37/3405
Abstract: 公开了一种淀积膜的方法,它消除现有技术中不能稳定地获得厚度方向具有一个成分浓度梯度并具有组分梯度的边界的涂敷膜,或者其中二个或多个成分共存为混合物的涂敷膜。在本方法中,成对紧靠着安放二个平面阴极,施加电压,同时交替地转换极性,以使得当结合到阴极之一的靶A被用作负电极时,结合到另一阴极的并且成分不同于靶A的靶B被用作正电极。当衬底在靶的前面通过并横过阴极时,用正离子同时轰击靶A和B。通过一个方向输送的溅射而淀积在厚度方向具有组分梯度边界的涂敷膜或具有由成分A的层和成分B的层组成的二层结构的涂敷膜。
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公开(公告)号：CN1535327A
公开(公告)日：2004-10-06
申请号：CN02802068.5
申请日：2002-07-30
Applicant: 日本板硝子株式会社
CPC classification number: H01J37/32761 , C23C14/3464 , H01J37/34 , H01J37/3444
Abstract: 一种溅射装置，包括：腔室，使成膜对象可移动地配置；多组阴极，以极性反转的两个为一组，设置在所述腔室内；以及多个AC阴极电源，分别连接到各组阴极，在施加交流电压使各组阴极同时放电时，使各自的输出频率及相位同步，使得各组阴极的放电没有干扰。由各输出的频率和相位同步的多个AC阴极电源将电压施加在多组阴极上。因此，即使在同一腔室内相邻配置、连接到各个不同的AC阴极电源上的多个阴极同时开始放电，放电也没有不稳定地摆动。
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