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    GaInP/GaAs双结太阳能电池的制备方法
    2.
    发明公开
    GaInP/GaAs双结太阳能电池的制备方法 无效

    公开(公告)号：CN106033785A

    公开(公告)日：2016-10-19

    申请号：CN201510109088.5

    申请日：2015-03-12

    Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

    Inventor： 代盼 ,  陆书龙 ,  季莲 ,  吴渊渊 ,  谭明 ,  杨辉

    IPC: H01L31/18

    CPC classification number: Y02P70/521

    Abstract: 本发明公开了一种GaInP/GaAs双结太阳能电池的制备方法，包括：A、在衬底上生长第一过渡层GaP；B、在第一过渡层GaP上生长第二过渡层Ga1-xInxP；C、在第二过渡层Ga1-xInxP上生长GaAs底电池；D、在GaAs底电池上生长GaInP顶电池；其中，通过调节第二过渡层Ga1-xInxP中铟的含量使其晶格常数与GaAs底电池的晶格常数相匹配。该制备方法以GaP/Ga1-xInxP为过渡层，通过控制铟源流量从而使得第二过渡层Ga1-xInxP的晶格常数过渡至GaAs底电池的晶格常数，使之晶格常数相匹配，从而达到生长制备GaInP/GaAs双结太阳能电池的目的。

    基于金属柔性基底的太阳能电池的制备方法
    3.
    发明授权
    基于金属柔性基底的太阳能电池的制备方法 有权

    公开(公告)号：CN110120438B

    公开(公告)日：2021-02-23

    申请号：CN201810110131.3

    申请日：2018-02-05

    Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

    Inventor： 肖梦 ,  龙军华 ,  卢建娅 ,  李雪飞 ,  谭明 ,  代盼 ,  吴渊渊 ,  陆书龙

    IPC: H01L31/18

    Abstract: 本发明公开了一种基于金属柔性基底的太阳能电池的制备方法，包括如下步骤：提供第一衬底，并在所述第一衬底上制作形成阻挡层；在所述阻挡层上制作形成电池外延层；提供第二衬底，并将所述第二衬底固定在所述电池外延层上；依次去除所述第一衬底和所述阻挡层；采用正面电池工艺处理所述电池外延层；提供第三衬底，并将所述第三衬底固定在所述电池外延层上；去除所述第二衬底；在所述电池外延层上制作形成柔性导电衬底；去除所述第三衬底。本发明公开了一种基于金属柔性基底的太阳能电池的制备方法以生长柔性导电衬底取代了PI键合技术，工艺上不仅简化，同时也大大减少了电池损伤的可能；电池正负电极可以异侧，增大了电池的正面吸光面积。

    单行载流子光电探测器及其制备方法
    4.
    发明公开
    单行载流子光电探测器及其制备方法 无效

    公开(公告)号：CN108091720A

    公开(公告)日：2018-05-29

    申请号：CN201611033323.6

    申请日：2016-11-22

    Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

    Inventor： 王梦雪 ,  杨文献 ,  代盼 ,  谭明 ,  吴渊渊 ,  陆书龙

    IPC: H01L31/101 ,  H01L31/0304 ,  H01L31/18

    Abstract: 本发明公开了一种单行载流子光电探测器及其制备方法。单行载流子光电探测器包括相对且平行设置的衬底和接触层、形成在所述衬底和所述接触层之间的至少两个单行载流子光电二极管以及形成在每两个单行载流子光电二极管之间的蚀刻阻挡层；其中，每个单行载流子光电二极管包括叠层设置的阻挡层、吸收层、隔离层、集结层、次集结层。本发明的单行载流子光电探测器包括至少两个单行载流子光电二极管，其吸收层采用渐变掺杂，有效地增加了光通道吸收区域的厚度，提高了单行载流子光电探测器的响应度和量子效率。因此，本发明能实现在不改变带宽和饱和电流情况下，大大地提高单行载流子光电探测器的响应度和量子效率。

    一种基于热光伏电池的单片连接组件的制备方法
    7.
    发明公开
    一种基于热光伏电池的单片连接组件的制备方法 有权

    公开(公告)号：CN103066159A

    公开(公告)日：2013-04-24

    申请号：CN201310011682.1

    申请日：2013-01-11

    Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

    Inventor： 谭明 ,  陆书龙 ,  季莲 ,  何巍 ,  代盼

    IPC: H01L31/18

    CPC classification number: Y02P70/521

    Abstract: 一种基于热光伏电池的单片连接组件制备方法，包括：I、在半绝缘衬底上生长外延层；II、在相邻设定电池单元之间的选定区域内均加工形成底端达到和/或深入横向传输层的槽状结构，并在槽状结构底部形成隔离槽；III、在槽状结构内壁上形成绝缘层，其后选择性去除隔离槽一侧的横向传输层上的绝缘层，并在露出的横向传输层上形成背电极，以及在各设定电池单元上端面上形成顶电极；IV、在任一槽状结构内均设置导电结构层，并将与该槽状结构相应的一设定电池单元的背电极与相邻的另一设定电池单元的顶电极电连接。本发明可实现多个电池单元之间的串联，提高了热光伏电池单片连接组件的开路电压，减少焦尔损失，提高系统可靠性，并实现较高光电转换效率。

    用于锌扩散的装置及其锌扩散方法
    9.
    发明授权
    用于锌扩散的装置及其锌扩散方法 有权

    公开(公告)号：CN107887263B

    公开(公告)日：2020-06-23

    申请号：CN201610871439.0

    申请日：2016-09-30

    Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

    Inventor： 王梦雪 ,  谭明 ,  杨文献 ,  代盼 ,  吴渊渊 ,  陆书龙

    IPC: H01L21/225 ,  H01L21/67 ,  H01L31/109 ,  H01L31/18

    Abstract: 本发明公开了一种用于锌扩散的装置及其锌扩散方法。所述方法包括：将外延片和锌扩散源放置于反应腔内，锌扩散源距离外延片的边缘预定距离；通入载气，并将反应腔的工作压强调节至预定压强；将反应腔的温度加热到第一设定温度并保持第一设定时间，以对外延片和锌扩散源进行预热；将反应腔的温度加热到第二设定温度并保持第二设定时间；将反应腔的温度降低至第三设定温度并保持第三设定时间；继续对反应腔进行降温，以使反应腔的温度降到预定温度以下，从而完成锌扩散。本发明操作简单，成本低廉，制备得到的成品表面损伤少，结深易控制，适合大批量连续生产。

    用于锌扩散的装置及其锌扩散方法
    10.
    发明公开
    用于锌扩散的装置及其锌扩散方法 有权

    公开(公告)号：CN107887263A

    公开(公告)日：2018-04-06

    申请号：CN201610871439.0

    申请日：2016-09-30

    Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

    Inventor： 王梦雪 ,  谭明 ,  杨文献 ,  代盼 ,  吴渊渊 ,  陆书龙

    IPC: H01L21/225 ,  H01L21/67 ,  H01L31/109 ,  H01L31/18

    Abstract: 本发明公开了一种用于锌扩散的装置及其锌扩散方法。所述方法包括：将外延片和锌扩散源放置于反应腔内，锌扩散源距离外延片的边缘预定距离；通入载气，并将反应腔的工作压强调节至预定压强；将反应腔的温度加热到第一设定温度并保持第一设定时间，以对外延片和锌扩散源进行预热；将反应腔的温度加热到第二设定温度并保持第二设定时间；将反应腔的温度降低至第三设定温度并保持第三设定时间；继续对反应腔进行降温，以使反应腔的温度降到预定温度以下，从而完成锌扩散。本发明操作简单，成本低廉，制备得到的成品表面损伤少，结深易控制，适合大批量连续生产。

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