-
公开(公告)号：CN119554999A
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202311132283.0
申请日：2023-09-04
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: G01B11/27
Abstract: 本申请涉及一种工件检测校形方法、系统、装置、计算机设备和存储介质。所述方法包括：获取待校形工件的激光测量数据，根据所述激光测量数据建立待校形模型，比较所述待校形模型与标准模型，得到初始校形数据，所述初始校形数据包括校形量与初始待校形区域，对所述初始校形数据依次进行合格区域筛选并进行区域等级划分，确定目标待校形区域和对应的目标待校形区域等级，基于所述目标待校形区域和目标待校形区域等级确定目标校形路径和校形参数，基于所述目标校形路径和校形参数对所述待校形工件进行校形。不仅提高了工件校形的精度及效率，同时还能减少人力成本，避免造成工件损坏，且适用对象范围广。
-
公开(公告)号：CN117348349A
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202311097701.7
申请日：2023-08-29
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及半导体精密定位设备技术领域，公开了一种用于晶圆光刻的平面转动机构、微动台以及宏微运动平台，其中，平面转动机构，包括偏转体，其一端为输入端，与驱动件的输出端相连，另一端为输出端；支撑体，一端为连接端，连接于偏转体的中部侧壁，另一端为固定端；微动台，包括平面转动机构，还包括，微运动台单元，其包括微动台动板和移动板；线性位移单元，设置于微动台动板和移动板之间；本发明包括宏动台和微动台，其中，宏动台采用被动磁悬浮电机并联式双边冗余驱动设计，用于大行程高速粗定位；微动台采用压电驱动+外动子式平面柔顺混联机构导向设计，用于小行程高响应精定位。通过两动台的配合运动，可完成大尺寸晶圆的高精密定位。
-
公开(公告)号：CN116734784A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202310488897.6
申请日：2023-05-04
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 一种宏微精密定位装置，包括：基座，设有线性导轨和线性宏驱动件；宏动平台，滑动连接于线性导轨，宏动平台上设有线性微驱动件和柔性平动机构；微动平台通过柔性平动机构滑动连接于宏动平台上，线性微驱动件作用于微动平台以控制微动平台的移动距离；相对位移传感器用于检测微动平台相对宏动平台的位移；线性宏驱动件作用于宏动平台，且线性宏驱动件根据相对位移传感器的反馈信号判断是否控制宏动平台响应微动平台的移动。上述方案结合了线性微驱动件的精密位移和线性宏驱动件行程大的特点，同时通过以微动平台带动宏动平台的控制策略减少线性宏驱动件的频繁启停问题，提高工作效率和作业精度。本公开还提供一种宏微精密定位装置的控制方法。
-
公开(公告)号：CN118507413A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410949016.0
申请日：2024-07-16
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: H01L21/68 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供了一种用于晶圆精密定位的三自由度平面柔性机构及微动台，属于半导体制造装备技术领域，包括：动子，动子包括转动部以及平动部，转动部的内部设置有第一中空区域，平动部的内部设置有第二中空区域，平动部设置于第一中空区域内；定子设置于第二中空区域内；平动驱动单元设置于定子的外缘并与平动部的内缘连接，平动驱动单元的数量为四个并且呈中心对称设置；转动驱动单元，转动驱动单元设置于平动部并与转动部连接，转动驱动单元的数量为两个并且呈对称设置；本发明的有益效果为：提供了一种三轴运动解耦的平面柔性机构，且本机构采用了外动子设计可以承载大尺寸晶圆进行定位作业。
-
公开(公告)号：CN112009728A
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201910453005.2
申请日：2019-05-28
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: B64G1/28
Abstract: 本发明提供一种感应式磁悬浮动量球装置，包括：球形转子；布置在球形转子外的多个转矩组件，用于产生旋转磁场；连接于多个转矩组件之间的多个悬浮组件，悬浮组件与转矩组件相互间隔设置，并形成两个或两个以上的相交的闭合回路；以及控制器。上述感应式磁悬浮动量球装置，由转矩组件和悬浮组件形成两个或两个以上的相交的闭合回路，该结构简单可靠；且每一闭合回路，使得各转矩组件的边缘位置也能产生有效转矩，且更充分的利用了球形转子表面产生的感应涡流，能增大输出转矩；转矩组件和悬浮组件间隔设置，转矩磁场和磁悬浮磁场作用于不同位置，减小了磁饱和的风险；转矩组件和悬浮组件相对独立，在出现故障时，更易进行维修和更换。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118507413B
公开(公告)日：2024-11-19
申请号：CN202410949016.0
申请日：2024-07-16
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: H01L21/68 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供了一种用于晶圆精密定位的三自由度平面柔性机构及微动台，属于半导体制造装备技术领域，包括：动子，动子包括转动部以及平动部，转动部的内部设置有第一中空区域，平动部的内部设置有第二中空区域，平动部设置于第一中空区域内；定子设置于第二中空区域内；平动驱动单元设置于定子的外缘并与平动部的内缘连接，平动驱动单元的数量为四个并且呈中心对称设置；转动驱动单元，转动驱动单元设置于平动部并与转动部连接，转动驱动单元的数量为两个并且呈对称设置；本发明的有益效果为：提供了一种三轴运动解耦的平面柔性机构，且本机构采用了外动子设计可以承载大尺寸晶圆进行定位作业。
-
公开(公告)号：CN118952067A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202410889076.8
申请日：2024-07-04
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: B25B11/00
Abstract: 本发明提供了一种扁平式六自由度微动装置，属于纳米定位技术领域，包括：上运动平台，其上设置有与上运动平台呈一体设置的第一柔性组件；第一压电陶瓷堆叠致动器，与第一柔性组件的输入端对应相连；下运动平台，其上设置有与下运动平台呈一体设置的第二柔性组件第二柔性组件的输出端通过紧固件与上运动平台相连；第二压电陶瓷堆叠致动器，与第二柔性组件的输入端对应相连；第一传感组件，一端连接于下运动平台上，另一端朝向上运动平台的边缘；第二传感组件，一端连接于下运动平台上，另一端朝向上运动平台。本发明实现全柔性检测，无需装配，且结构紧凑，体积小。
-
公开(公告)号：CN118707812A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410889075.3
申请日：2024-07-04
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种具有多工位的光刻机工件台交换装置，属于半导体制造装备技术领域，包括：下底座、第一滑移结构、第二滑移结构、第一直线电机、第二直线电机以及两个微动台，且微动台与第一滑移结构中的第一滑块、第二滑移结构中的第二滑块相连，其中，通过第一直线电机带动微动台沿X轴方向移动，第二直线电机带动微动台沿Y轴方向移动，通过微动台能够抵消第一直线电机、第二直线电机在运行过程中所产生的相应误差。本发明实现了X轴方向和Y轴方向的运动误差解耦，避免误差累加，提高位置调节的精准性，而且实现了多工位下晶圆能够同步曝光和校准，提高了工作效率，且具有扩展性。
-
公开(公告)号：CN110247493B
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN201910530906.7
申请日：2019-06-19
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明涉及一种永磁转子以及球形电机，所述永磁转子为呈球形的壳体，所述永磁转子由多块第一正多边形弧块以及环绕所述第一正多边形弧块设置的多块第二正多边形弧块构成，所述第一正多边形弧块以永磁转子的球心为中心呈球对称分布，所述第一正多边形弧块的充磁方向为径向，所述第二正多边形弧块的充磁方向垂直于第一正多边形弧块与所述第二正多边形弧块的共用面。上述技术方案的有益效果为：通过设置第一正多边形弧块与第二正多边形弧块，使得第一正多边形弧块与第二正多边形弧块的磁场互相叠加，产生强磁场，从而提高永磁转子的磁场强度，使得永磁转子具有更好的可控性。
-
公开(公告)号：CN119036327A
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202411012992.X
申请日：2024-07-26
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: B25B11/00
Abstract: 本发明涉及夹具的技术领域，并具体公开一种用于薄壁曲面件超声波加工的夹具，包括支撑座、旋转机构、升降机构以及两个夹持机构，旋转机构可转动的设置在该支撑座上，升降机构位于支撑座的一侧，两个夹持机构沿垂直方向布置，其中一个夹持机构安装在旋转机构上，另一个夹持机构通过升降机构可升降的设置在旋转机构的正上方，则通过两个夹持机构可以分别夹紧薄壁曲面件的上下两端，受力较为均匀，同时通过旋转机构可以带动薄壁曲面件进行旋转运动，便于调节加工部位，且通过升降机构可以调节两个夹持机构之间的距离，以适应不同长度的薄壁曲面件。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
17
records
(took 0.031 seconds)
