公开(公告)号：CN118507413B

公开(公告)日：2024-11-19

申请号：CN202410949016.0

申请日：2024-07-16

Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所

Inventor： 袁黎明 ,  陈思鲁 ,  钱晨 ,  张驰 ,  张杰 ,  杨桂林 ,  方灶军

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明提供了一种用于晶圆精密定位的三自由度平面柔性机构及微动台，属于半导体制造装备技术领域，包括：动子，动子包括转动部以及平动部，转动部的内部设置有第一中空区域，平动部的内部设置有第二中空区域，平动部设置于第一中空区域内；定子设置于第二中空区域内；平动驱动单元设置于定子的外缘并与平动部的内缘连接，平动驱动单元的数量为四个并且呈中心对称设置；转动驱动单元，转动驱动单元设置于平动部并与转动部连接，转动驱动单元的数量为两个并且呈对称设置；本发明的有益效果为：提供了一种三轴运动解耦的平面柔性机构，且本机构采用了外动子设计可以承载大尺寸晶圆进行定位作业。

公开(公告)号：CN118952067A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202410889076.8

申请日：2024-07-04

Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所

Inventor： 陈思鲁 ,  钱晨 ,  袁黎明 ,  张驰 ,  张杰 ,  杨桂林 ,  方灶军

IPC: B25B11/00

Abstract: 本发明提供了一种扁平式六自由度微动装置，属于纳米定位技术领域，包括：上运动平台，其上设置有与上运动平台呈一体设置的第一柔性组件；第一压电陶瓷堆叠致动器，与第一柔性组件的输入端对应相连；下运动平台，其上设置有与下运动平台呈一体设置的第二柔性组件第二柔性组件的输出端通过紧固件与上运动平台相连；第二压电陶瓷堆叠致动器，与第二柔性组件的输入端对应相连；第一传感组件，一端连接于下运动平台上，另一端朝向上运动平台的边缘；第二传感组件，一端连接于下运动平台上，另一端朝向上运动平台。本发明实现全柔性检测，无需装配，且结构紧凑，体积小。

公开(公告)号：CN118707812A

公开(公告)日：2024-09-27

申请号：CN202410889075.3

申请日：2024-07-04

Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所

Inventor： 陈思鲁 ,  钱晨 ,  袁黎明 ,  张驰 ,  张杰 ,  杨桂林 ,  方灶军

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供了一种具有多工位的光刻机工件台交换装置，属于半导体制造装备技术领域，包括：下底座、第一滑移结构、第二滑移结构、第一直线电机、第二直线电机以及两个微动台，且微动台与第一滑移结构中的第一滑块、第二滑移结构中的第二滑块相连，其中，通过第一直线电机带动微动台沿X轴方向移动，第二直线电机带动微动台沿Y轴方向移动，通过微动台能够抵消第一直线电机、第二直线电机在运行过程中所产生的相应误差。本发明实现了X轴方向和Y轴方向的运动误差解耦，避免误差累加，提高位置调节的精准性，而且实现了多工位下晶圆能够同步曝光和校准，提高了工作效率，且具有扩展性。

公开(公告)号：CN118507413A

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202410949016.0

申请日：2024-07-16

Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所

Inventor： 袁黎明 ,  陈思鲁 ,  钱晨 ,  张驰 ,  张杰 ,  杨桂林 ,  方灶军

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明提供了一种用于晶圆精密定位的三自由度平面柔性机构及微动台，属于半导体制造装备技术领域，包括：动子，动子包括转动部以及平动部，转动部的内部设置有第一中空区域，平动部的内部设置有第二中空区域，平动部设置于第一中空区域内；定子设置于第二中空区域内；平动驱动单元设置于定子的外缘并与平动部的内缘连接，平动驱动单元的数量为四个并且呈中心对称设置；转动驱动单元，转动驱动单元设置于平动部并与转动部连接，转动驱动单元的数量为两个并且呈对称设置；本发明的有益效果为：提供了一种三轴运动解耦的平面柔性机构，且本机构采用了外动子设计可以承载大尺寸晶圆进行定位作业。

公开(公告)号：CN118393817A

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202410428173.7

申请日：2024-04-10

Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所

Inventor： 袁黎明 ,  陈思鲁 ,  钱晨 ,  张驰 ,  杨桂林 ,  张杰 ,  方灶军

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00

Abstract: 本发明公开了光刻机设备技术领域的一种光刻机三工位双工件台，包括底座、设置于底座上移动组件、设置于移动组件上的工作台，工作台设置有两组、设置于工作台上的晶圆台、设置于工作台和移动组件之间的卡接组件，以及设置于工作台上的微动组件，通过移动组件和微动组件的配合能够实现工作台长行程高精度运动，通过正交轨道设计实现XY运动误差解耦，并与无摩擦的微动单元和柔顺单元的配合结合，实现长行程高精度运动，通过校准工位‑曝光工位‑校准工位的三工位设计，重心低、运动质量小、无累积误差，可以实现双工件台并行作业，结构简单，不需要设计额外的换台机构，有利于提高光刻机性能和产能。