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公开(公告)号：CN109682364A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201811529259.X
申请日：2018-12-13
Applicant: 中国科学院半导体研究所 , 中国科学院大学
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/56
Abstract: 本发明公开了一种压电MEMS解耦结构及MEMS陀螺仪，该压电MEMS解耦结构，包括：一T型梁结构，包括一体化的横梁和纵梁，该T型梁结构自下而上依次包括：衬底、下电极层和压电材料层；第二上电极，作为检测电极，呈T型，位于T型梁结构之上，关于纵梁中心线对称；以及第一上电极和第三上电极，作为驱动电极，位于纵梁之上，对称分布于纵梁中心线两侧，与第二上电极位于纵梁上的部分相互独立。该解耦结构通过将其整体形状设置为一包含一体化横梁和纵梁的T型梁结构，并在该T型梁结构上设置关于纵梁中心线对称的T型检测电极和在纵梁上对称分布的两个驱动电极，实现了完全解耦，可有效提高陀螺仪的检测精度。
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公开(公告)号：CN109682364B
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN201811529259.X
申请日：2018-12-13
Applicant: 中国科学院半导体研究所 , 中国科学院大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明公开了一种压电MEMS解耦结构及MEMS陀螺仪，该压电MEMS解耦结构，包括：一T型梁结构，包括一体化的横梁和纵梁，该T型梁结构自下而上依次包括：衬底、下电极层和压电材料层；第二上电极，作为检测电极，呈T型，位于T型梁结构之上，关于纵梁中心线对称；以及第一上电极和第三上电极，作为驱动电极，位于纵梁之上，对称分布于纵梁中心线两侧，与第二上电极位于纵梁上的部分相互独立。该解耦结构通过将其整体形状设置为一包含一体化横梁和纵梁的T型梁结构，并在该T型梁结构上设置关于纵梁中心线对称的T型检测电极和在纵梁上对称分布的两个驱动电极，实现了完全解耦，可有效提高陀螺仪的检测精度。
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公开(公告)号：CN109626318B
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN201811579463.2
申请日：2018-12-21
Applicant: 中国科学院半导体研究所 , 中国科学院大学
Abstract: 本发明公开了一种盖板结构及其制作方法、电容式传感器，该盖板结构，用于微机电器件晶圆级封装，包括：密封盖板，其上设有一凹槽，该凹槽形成一容置空间；电极板，位于凹槽形成的容置空间之内，与凹槽左右两侧的密封盖板之间存在间隙；第一垂直通孔，设置于电极板之下，贯穿凹槽下方的密封盖板；第二垂直通孔，设置于密封盖板的非凹槽位置并贯穿密封盖板中的绝缘部分；以及第一电极引线和第二电极引线，分别沿着第一垂直通孔和第二垂直通孔引出至密封盖板的下表面。本发明的盖板结构及其制作方法、电容式传感器，具有与微机电器件制备工艺兼容、工艺简单、气密性好、具备垂直引线、不需要高温、降低寄生电容、以及广泛适用的综合性能。
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公开(公告)号：CN109626318A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811579463.2
申请日：2018-12-21
Applicant: 中国科学院半导体研究所 , 中国科学院大学
Abstract: 本发明公开了一种盖板结构及其制作方法、电容式传感器，该盖板结构，用于微机电器件晶圆级封装，包括：密封盖板，其上设有一凹槽，该凹槽形成一容置空间；电极板，位于凹槽形成的容置空间之内，与凹槽左右两侧的密封盖板之间存在间隙；第一垂直通孔，设置于电极板之下，贯穿凹槽下方的密封盖板；第二垂直通孔，设置于密封盖板的非凹槽位置并贯穿密封盖板中的绝缘部分；以及第一电极引线和第二电极引线，分别沿着第一垂直通孔和第二垂直通孔引出至密封盖板的下表面。本发明的盖板结构及其制作方法、电容式传感器，具有与微机电器件制备工艺兼容、工艺简单、气密性好、具备垂直引线、不需要高温、降低寄生电容、以及广泛适用的综合性能。
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公开(公告)号：CN116770221A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202210727515.6
申请日：2022-06-23
Applicant: 北京智芯微电子科技有限公司 , 中关村芯海择优科技有限公司 , 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本公开提供了一种掩膜结构及制备方法、在凹槽内进行结构图形化的方法，其中，该掩膜结构包括：衬底层；第一镂空区，第一镂空区位于衬底层上；掩膜层，掩膜层位于衬底层的上方，掩膜层中包含第二镂空区，且第二镂空区位于第一镂空区的上方。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107688348A
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201710683066.9
申请日：2017-08-10
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明提供了一种实现指向控制功能的无线人机交互设备和方法，利用加速度计和磁强计对姿态角估计值修正，因而传感器误差影响小；利用无线传输模块，与智能设备通过无线信号进行连接，无线控制的特点使本发明方便、灵活、在有限距离内都可使用；利用控制模式的切换键选择2D图形界面或3D图形界面的指向控制工作模式，使无线人机交互设备适合不同图形界面的操作系统；通过控制模式的开关键，当光标移至屏幕边界、无法流畅控制或不需要控制时，强制将光标的位移变换为零，方便使用者调整操作姿势。
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公开(公告)号：CN105025423A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201510301076.2
申请日：2015-06-04
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明公开了一种驻极体电容式超声传感器，包括低阻衬底、驻极体材料层、绝缘层、支撑层、振动薄膜、上电极。其中，在支撑层中形成圆形或其他形状空腔二维阵列，成排、列对齐分布；在振动薄膜上沉积金属作为上电极，该上电极为图形阵列，并且与衬底空腔阵列的图形一一对应分布，彼此连接在一起。本发明利用驻极体材料提供CMUT正常工作时需要的直流电场，实现无需外加直流偏置电压的新型电容式超声传感器结构，具有低功耗、微型化、可靠性高、安全性好等优点。
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公开(公告)号：CN104482930A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201410734012.7
申请日：2014-12-04
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G01C19/5656
CPC classification number: G01C19/5656
Abstract: 一种应用在MEMS器件中的弱耦合弹性梁结构，包括：一耦合梁；一第一支撑梁，其一端纵向固定于耦合梁上的一侧；一第二支撑梁，其一端纵向固定于耦合梁上的另一侧；该第一支撑梁和第二支撑梁相隔一预定距离。本发明具有结构尺寸小，结构简单、可靠性高的特点。
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公开(公告)号：CN102594290A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210052015.3
申请日：2012-03-01
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种采用窄脉冲激励MEMS谐振器的振荡器电路，包括：一MEMS谐振器；一低通滤波器，该低通滤波器的输入端与MEMS谐振器的输出端连接；一高增益反相器，该高增益反相器的输入端与低通滤波器的输出端连接；一窄脉冲发生器，该窄脉冲发生器的输入端与高增益反相器的输出端连接，该窄脉冲发生器的输出端与MEMS谐振器输入端连接，形成闭合回路。本发明提供的采用窄脉冲激励MEMS谐振器的振荡器电路，其可降低相位噪声，具有功耗低及设计成本低的优点。
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公开(公告)号：CN102062826A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN201010564525.X
申请日：2010-11-24
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种基于差分方法的MEMS器件信号检测电路，包括：一信号源；一跟随器，该跟随器的输入端与信号源的输出端连接，以跟随信号源的变化；一第一器件夹具，该第一器件夹具的一端与跟随器的输出端连接，以提供一路与信号源同相的激励信号；一反相器，该反相器的输入端与信号源的输出端连接，以将信号源的输出信号反相；一第二器件夹具，该第二器件夹具的一端与反相器的输出端连接，以提供一路与信号源反相的激励信号；一跨阻放大器，该跨阻放大器的输入端与第一器件夹具及第二器件夹具的另一端连接，以将第一器件夹具与第二器件夹具的电流之和转化为电压。
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