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公开(公告)号：CN106449853A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610893991.X
申请日：2016-10-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/09 , H01L31/032 , H01L31/02
CPC classification number: H01L31/09 , H01L31/02 , H01L31/032
Abstract: 本发明公开了一种具有“亮”补偿元的自支撑热敏薄膜型红外探测器。器件结构包括：蓝宝石衬底；在衬底上制作矩形敏感元和补偿元，补偿元在敏感元任一侧，敏感元剖面呈倒凹形，与衬底之间有空气夹层，补偿元直接制作在衬底上；敏感元与补偿元矩形短边的内外两侧各制作电极端；敏感元与补偿元之间临近的电极连通形成公共电极，作为信号引出端。该结构使得热敏探测器的响应率大大提高；“亮”补偿元的设计不仅满足了对环境温度波动的补偿，而且有效降低了工艺制作难度。
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公开(公告)号：CN119767805A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411961686.0
申请日：2024-12-30
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种垂直型碲镉汞红外探测器及制作方法，垂直型碲镉汞红外探测器包括基板和设置于基板的上表面之上的具有阳极氧化层的碲镉汞材料层；碲镉汞材料层的下表面设置下电极，碲镉汞材料层的上表面设置上电极，基板的上表面设置有过渡电极层；其中过渡电极层与下电极通过铟柱阵列倒焊互连。本发明的垂直型碲镉汞光导器件结构，使得探测器内部的电场由水平分布改为垂直分布，大幅减小探测器电阻，在相同的偏置条件下可有效减小探测器的功耗。此外，垂直型碲镉汞探测器更容易偏置在恒压模式下，具有更好的响应线性度，对于傅里叶变换光谱仪应用具有重要意义。
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公开(公告)号：CN116544294A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202310027692.8
申请日：2023-01-09
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/102 , H01L31/024 , H01L31/0296 , H01L31/02 , G05D23/24
Abstract: 本发明公开了一种可精确控温的垂直集成式制冷型碲镉汞探测器组件，其结构从下往上依次为三级半导体制冷器，环氧胶，锰钴镍氧热敏电阻，环氧胶，碲镉汞探测器；其中锰钴镍氧热敏电阻结构从下往上依次为蓝宝石衬底，锰钴镍氧薄膜，以及热敏薄膜表面两侧的镉/金复合电极；其中碲镉汞探测器结构从下往上依次为蓝宝石衬底，环氧胶，碲镉汞功能材料，阳极氧化层，ZnS增透层，以及碲镉汞材料表面两侧的铟/金复合电极。该探测器组件不仅能够准确测得探测器温度的实时变化，而且有效解决了常规工艺中将热敏电阻贴附在探测器侧壁上带来的温度漂移问题，使得碲镉汞探测器的精确控温成为可能，极大缓解了高精度应用场景中对探测器控温精度的要求。
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公开(公告)号：CN101226971A
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200810033428.0
申请日：2008-02-01
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种降低碲镉汞光伏器件离子注入损伤影响的方法。该方法是对离子注入后的碲镉汞样品进行光刻定义出氢离子处理区域，然后将样品置于氢离子氛围中进行处理；氢离子处理区域大小的确定是通过变面积方法来确定，自初始定义的离子注入区域大小开始逐渐扩大氢离子处理区域，对经过不同区域氢离子处理的碲镉汞样品进行电流－电压曲线测量，通过观察反向偏压下暗电流的增大现象来确定氢离子处理区域的大小。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115747715B
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202211520071.5
申请日：2022-11-30
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明提供一种支撑板、吸引体、掩膜块和掩膜版组件，属于红外探测器技术领域，其可至少部分解决现有的红外探测器窗口片金属化工艺中手工粘贴掩膜块导致的精度不准和效率低下的问题。本发明的一种支撑板具有第一开孔、第二开孔、第三开孔和凸台，凸台设于支撑板用于与定位板接触的表面上，且凸台用于与定位板开口卡合，用于掩膜块定位。
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公开(公告)号：CN115747715A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211520071.5
申请日：2022-11-30
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明提供一种支撑板、吸引体、掩膜块和掩膜版组件，属于红外探测器技术领域，其可至少部分解决现有的红外探测器窗口片金属化工艺中手工粘贴掩膜块导致的精度不准和效率低下的问题。本发明的一种支撑板具有第一开孔、第二开孔、第三开孔和凸台，凸台设于支撑板用于与定位板接触的表面上，且凸台用于与定位板开口卡合，用于掩膜块定位。
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公开(公告)号：CN109238475A
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201810945362.6
申请日：2018-08-20
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01J5/20
Abstract: 本发明公开了一种有弯曲支撑腿微桥结构的锰钴镍氧热敏电阻探测器及方法，包括一双抛蓝宝石衬底；磁控溅射法生长的SiO2桥墩；一锰钴镍氧薄膜材料；制作成弯曲腿结构的欧姆接触电极。弯曲腿与锰钴镍材料下方的牺牲层释放后，形成自支撑的悬空结构。该结构不仅降低了光敏面与下方衬底之间直接的热传导，而且有效降低了电极与衬底之间的热传导，使得热敏探测器的响应率大大提高。
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公开(公告)号：CN101997052A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN201010276213.9
申请日：2010-09-08
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/09 , H01L31/0224 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种具有曲线延伸电极结构的碲镉汞红外线列探测器，其特征在于：该曲线延伸电极由内弧形结构区和电极延伸结构区组成，内弧形结构区和电极延伸结构区两者交界处为一个半椭圆曲线。采用该曲线延伸电极结构的碲镉汞芯片具有如下的优点：曲线延伸电极结构更加简单，延伸性更好，这种电极结构不仅可使用在大尺寸的光敏面器件上，而且可用于井伸电极所不能使用的小尺寸光敏面器件上；曲线延伸电极的电极可焊接区域面积更大，能够更加方便的进行电极引出操作；曲线延伸电极的电极引出可实行机械化操作，从而保证了焊点的一致性和稳定性，提高了产品的可靠性。
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公开(公告)号：CN206282868U
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201621119950.7
申请日：2016-10-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/09 , H01L31/032 , H01L31/02
Abstract: 本专利公开了一种具有“亮”补偿元的自支撑热敏薄膜型红外探测器。器件结构包括：蓝宝石衬底；在衬底上制作矩形敏感元和补偿元，补偿元在敏感元任一侧，敏感元剖面呈倒凹形，与衬底之间有空气夹层，补偿元直接制作在衬底上；敏感元与补偿元矩形短边的内外两侧各制作电极端；敏感元与补偿元之间临近的电极连通形成公共电极，作为信号引出端。该结构使得热敏探测器的响应率大大提高；“亮”补偿元的设计不仅满足了对环境温度波动的补偿，而且有效降低了工艺制作难度。
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