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公开(公告)号：CN100444381C
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：CN200610117106.5
申请日：2006-10-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 一种背向集成微透镜红外焦平面探测器及微透镜的制备方法，该探测器包括：红外光敏元列阵芯片、读出电路、混成互连铟柱和微透镜列阵。微透镜列阵是在红外光敏元列阵芯片的衬底背面直接通过微机械加工形成的。采用了记忆焦平面探测芯片正面图形的光刻方法以及等离子体组合刻蚀技术，获得的背向集成微透镜各个光轴在空间上与其对应的光敏像元的光敏面中心法线重合。本发明的最大优点是微透镜列阵的引入，对入射目标红外辐射有会聚功能，既提高了红外焦平面探测器光敏元的响应率，又能减小红外焦平面探测器、特别是高密度像元的红外焦平面探测器相邻像元之间的空间串音。
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公开(公告)号：CN1936626A
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN200610117105.0
申请日：2006-10-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种置于碲镉汞红外焦平面探测器芯片内部的微型滤光片，所述的探测器芯片由衬底、衬底上依次置有的缓冲层、响应红外目标辐射的光电二极管列阵组成。所述的微型滤光片是通过分子束外延原位生长在缓冲层和光电二极管列阵之间。本发明的微型滤光片的优点是：具有高均匀性、高可靠性和无信号损失的特点；滤光波段是通过严格控制作为原位滤光层的Hg1－xCdxTe的组分来实现的，从而具很高的控制精度；这种集成在红外焦平面探测器芯片内部的微型滤光片无需任何外光路部件，使用方便，且非常可靠和稳定。
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公开(公告)号：CN101414123A
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200810203390.7
申请日：2008-11-26
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G03F7/16
Abstract: 本发明公开了一种红外焦平面深微台面列阵加工的光刻胶涂敷方法，它涉及光电探测器制造工艺技术。本发明采用先于红外焦平面探测芯片表面旋转涂敷一层AZ系列光刻胶的稀释剂以填充微台面列阵隔离深沟槽的底部大部分体积的物理空间，再在微台面列阵芯片上旋转涂敷HgCdTe红外焦平面探测芯片加工工艺常规使用的AZ系列光刻胶AZ1500的技术方案，有效解决了常规的涂敷工艺在匀胶后常出现深隔离沟槽光刻胶堆积，而微台面列阵顶部、特别是微台面侧壁的光刻胶又覆盖得很薄的问题。本发明方法具有与HgCdTe探测芯片常规光刻工艺完全兼容，无需高温操作，低成本等特点。
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公开(公告)号：CN101226971A
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200810033428.0
申请日：2008-02-01
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种降低碲镉汞光伏器件离子注入损伤影响的方法。该方法是对离子注入后的碲镉汞样品进行光刻定义出氢离子处理区域，然后将样品置于氢离子氛围中进行处理；氢离子处理区域大小的确定是通过变面积方法来确定，自初始定义的离子注入区域大小开始逐渐扩大氢离子处理区域，对经过不同区域氢离子处理的碲镉汞样品进行电流－电压曲线测量，通过观察反向偏压下暗电流的增大现象来确定氢离子处理区域的大小。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1933149A
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：CN200610117106.5
申请日：2006-10-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 一种背向集成微透镜红外焦平面探测器及微透镜的制备方法，该探测器包括：红外光敏元列阵芯片、读出电路、混成互连铟柱和微透镜列阵。微透镜列阵是在红外光敏元列阵芯片的衬底背面直接通过微机械加工形成的。采用了记忆焦平面探测芯片正面图形的光刻方法以及等离子体组合刻蚀技术，获得的背向集成微透镜各个光轴在空间上与其对应的光敏像元的光敏面中心法线重合。本发明的最大优点是微透镜列阵的引入，对入射目标红外辐射有会聚功能，既提高了红外焦平面探测器光敏元的响应率，又能减小红外焦平面探测器、特别是高密度像元的红外焦平面探测器相邻像元之间的空间串音。
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公开(公告)号：CN100443928C
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：CN200610117105.0
申请日：2006-10-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种置于碲镉汞红外焦平面探测器芯片内部的微型滤光片，所述的探测器芯片由衬底、衬底上依次置有的缓冲层、响应红外目标辐射的光电二极管列阵组成。所述的微型滤光片是通过分子束外延原位生长在缓冲层和光电二极管列阵之间。本发明的微型滤光片的优点是：具有高均匀性、高可靠性和无信号损失的特点；滤光波段是通过严格控制作为原位滤光层的Hg1-xCdxTe的组分来实现的，从而具很高的控制精度；这种集成在红外焦平面探测器芯片内部的微型滤光片无需任何外光路部件，使用方便，且非常可靠和稳定。
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公开(公告)号：CN100433328C
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200610118053.9
申请日：2006-11-08
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L25/18 , H01L27/144 , H01L21/822
Abstract: 本发明公开了一种带有增透会聚微镜的红外焦平面探测器及微镜制备方法，该探测器，包括：红外光敏元列阵芯片、读出电路、混成互连铟柱和增透会聚微镜列阵。所说的增透会聚微镜列阵是由红外光敏元列阵芯片的衬底背面生长一增透膜，通过常规的等离子体组合刻蚀形成的。微镜制备方法采用了记忆焦平面探测芯片正面图形的光刻方法，获得的背向集成微透镜列阵的各个光轴在空间上与其对应的光敏像元的光敏面中心法线重合。本发明的优点是：由于增透会聚微镜中心区域的增透效果，以及周边区域的会聚作用，既能提高新一代高密度像元红外焦平面探测器的光电流信号，又能减小相邻像元之间的空间串音。
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公开(公告)号：CN1949508A
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN200610118053.9
申请日：2006-11-08
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L25/18 , H01L27/144 , H01L21/822
Abstract: 本发明公开了一种带有增透会聚微镜的红外焦平面探测器及微镜制备方法，该探测器，包括：红外光敏元列阵芯片、读出电路、混成互连铟柱和增透会聚微镜列阵。所说的增透会聚微镜列阵是由红外光敏元列阵芯片的衬底背面生长一增透膜，通过常规的等离子体组合刻蚀形成的。微镜制备方法采用了记忆焦平面探测芯片正面图形的光刻方法，获得的背向集成微透镜列阵的各个光轴在空间上与其对应的光敏像元的光敏面中心法线重合。本发明的优点是：由于增透会聚微镜中心区域的增透效果，以及周边区域的会聚作用，既能提高新一代高密度像元红外焦平面探测器的光电流信号，又能减小相邻像元之间的空间串音。
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公开(公告)号：CN1937190A
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN200610117107.X
申请日：2006-10-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L21/60
Abstract: 本发明公开了一种红外焦平面列阵器件混成互连铟柱的微熔回流加固方法，该方法是在红外光敏感列阵芯片和读出电路在常规的冷压混成互连后，采用甲酸作为还原剂，在金属铟的熔点温度下进行混成互连铟柱的微熔回流加固，以增强混成互连铟柱之间及内部的键合力，以及混成互连铟柱与金属化电极层间的机械接触强度，从而确保红外光敏感列阵芯片与硅读出电路之间的电学连通，并提高红外焦平面混成互连的机械可靠性。本发明方法操作简单，便于在工艺上实现。
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