一种微流控DNA合成芯片及其制作方法

    公开(公告)号:CN115770629A

    公开(公告)日:2023-03-10

    申请号:CN202211565148.0

    申请日:2022-12-07

    Abstract: 本发明提供一种微流控DNA合成芯片及其制作方法,包括从下往上依次叠置的集成电路层、微流控层及顶层。集成电路层具有晶体管阵列和寻址译码电路,晶体管具有上表面连接有多聚物自组装层的金属电极,微流控层具有与金属电极一一对应的微腔。DNA合成过程中,在外围电路的操控下,通过寻址译码电路选定任意多个金属电极在规定时间段内产生所需的稳定电压,使微流控层中通入的溶液中的成分发生电解反应生成氢离子,使溶液中发生脱保护反应及偶联反应;微流控层的结构设计能够实现对各位点产生的氢离子进行限域,避免氢离子扩散导致位点间的相互干扰,不需要采取其他措施防止氢离子扩散,有效降低芯片的复杂程度和制作成本,实现高密度与高通量。

    氮化钛微电极阵列、制备方法及多通道分子检测装置

    公开(公告)号:CN117451808A

    公开(公告)日:2024-01-26

    申请号:CN202311436270.2

    申请日:2023-10-31

    Abstract: 本发明提供一种氮化钛微电极阵列、制备方法及多通道分子检测装置,包括:基底;引线层,被配置为工作电极引线和对电极引线;第一绝缘层,设置有第一通孔和第二通孔;氮化钛导电层,氮化钛导电层被配置为工作电极和对电极,工作电极和对电极分别与相应的工作电极引线和对电极引线电连接;第二绝缘层,设置有至少显露部分工作电极的工作电极窗口和至少显露部分对电极的对电极窗口。本发明实现了以氮化钛为主要导电材料的、高密度的、兼容CMOS的可寻址的微电极阵列芯片,本发明还通过电化学表面修饰技术来实现功能化修饰,使氮化钛微电极阵列可以面向生物、医学领域的应用,并且实现同时多通道、不同种类检测的功能。

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