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公开(公告)号：CN117451808A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311436270.2
申请日：2023-10-31
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: G01N27/30 , G01N27/327 , G01N27/48
Abstract: 本发明提供一种氮化钛微电极阵列、制备方法及多通道分子检测装置，包括：基底；引线层，被配置为工作电极引线和对电极引线；第一绝缘层，设置有第一通孔和第二通孔；氮化钛导电层，氮化钛导电层被配置为工作电极和对电极，工作电极和对电极分别与相应的工作电极引线和对电极引线电连接；第二绝缘层，设置有至少显露部分工作电极的工作电极窗口和至少显露部分对电极的对电极窗口。本发明实现了以氮化钛为主要导电材料的、高密度的、兼容CMOS的可寻址的微电极阵列芯片，本发明还通过电化学表面修饰技术来实现功能化修饰，使氮化钛微电极阵列可以面向生物、医学领域的应用，并且实现同时多通道、不同种类检测的功能。
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