公开(公告)号：CN119100327A

公开(公告)日：2024-12-10

申请号：CN202310625879.8

申请日：2023-05-30

Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司

Inventor： 刘博 ,  陈赟斐 ,  黎振华

IPC: B81C1/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明提供了一种基于双束显微镜的制备纳米孔的方法，包括：提供一硅片衬底基体；其中，所述硅片衬底基体的两侧表面各沉积一层氮化硅薄膜；通过半导体工艺将所述氮化硅薄膜进行图像化，得到图像化氮化硅薄膜；通过所述双束显微镜将所述图像化氮化硅薄膜进行打孔处理，得到纳米孔；对所述纳米孔进行电化学表征检测。本发明利用双束显微镜，具有良好的分辨率，并且采用氮化硅材料可以通过光学或者电学的方式同时检测多个颗粒过孔的脉冲信号。本发明还提供了一种装置，具有相应优势。

公开(公告)号：CN117451808A

公开(公告)日：2024-01-26

申请号：CN202311436270.2

申请日：2023-10-31

Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司

Inventor： 谢思佳 ,  汤晓辉 ,  陈昌 ,  喻猛 ,  傅小群 ,  黎振华

IPC: G01N27/30 ,  G01N27/327 ,  G01N27/48

Abstract: 本发明提供一种氮化钛微电极阵列、制备方法及多通道分子检测装置，包括：基底；引线层，被配置为工作电极引线和对电极引线；第一绝缘层，设置有第一通孔和第二通孔；氮化钛导电层，氮化钛导电层被配置为工作电极和对电极，工作电极和对电极分别与相应的工作电极引线和对电极引线电连接；第二绝缘层，设置有至少显露部分工作电极的工作电极窗口和至少显露部分对电极的对电极窗口。本发明实现了以氮化钛为主要导电材料的、高密度的、兼容CMOS的可寻址的微电极阵列芯片，本发明还通过电化学表面修饰技术来实现功能化修饰，使氮化钛微电极阵列可以面向生物、医学领域的应用，并且实现同时多通道、不同种类检测的功能。