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公开(公告)号：CN111151317B
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN202010053511.5
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本发明提供一种光栅波导多微流道芯片的制造方法，包括提供衬底，在所述衬底上形成下包层；在所述下包层上形成波导层；以所述波导层形成光栅波导；所述光栅波导包括出射光栅；形成第一数量的微流道，形成微流体组；所述微流道贯穿所述上包层以暴露出所述保护层；所述出射光栅位于所述微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道内。具有有益效果：具有有益效果：形成光波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片。
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公开(公告)号：CN111229341B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202010053995.3
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本发明提供一种光栅波导多微流道芯片的制造方法，包括提供衬底，形成牺牲层，形成下包层；形成波导层；形成光栅波导组，包括光栅波导；光栅波导包括出射光栅；在波导层上形成二氧化硅保护层，用于覆盖保护出射光栅；形成上包层；形成第一数量的微流道，以形成微流体组；微流道贯穿上包层以暴露出保护层；出射光栅位于微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入微流道内；去除牺牲层。具有有益效果：形成光波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片。
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公开(公告)号：CN111244120A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010054152.5
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: H01L27/146
Abstract: 本发明提供一种基于CMOS图像传感的光栅波导微流体芯片的制造方法，包括提供CMOS图像传感层，在CMOS图像传感层上形成厚度为15～30μm高分子聚合材料的下包层；在25-150℃沉积温度下在下包层上沉积形成氮化硅材料的波导层；以波导层形成光栅波导，光栅波导包括出射光栅；在保护层上形成厚度为15～30μm的上包层；形成微流道，微流道贯穿上包层以暴露出保护层；出射光栅位于微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入微流道内。具有有益效果：在CMOS图像传感层和高分子聚合材料上低温沉积光学性能可调的氮化硅光波导，不破坏CMOS图像传感层，减少了实验中对收集光路调整等准备工作，提高了实验效率；提高了检测系统的便携性，大大增加了系统的应用场景。
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公开(公告)号：CN111239897A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010052316.0
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本发明提供一种光波导微流体芯片的制造方法，包括，提供衬底，在所述衬底上形成厚度为2～3μm的下包层；在下包层上形成波导层，波导层是氮化硅材料；以波导层形成光波导；在波导层上形成厚度为15～30μm的上包层；形成微流道，所述微流道由上而下贯穿所述上包层、所述波导层和所述下包层延伸进所述衬底；所述光波导用以将光沿水平方向导入所述微流道内，所述下包层是二氧化硅，所述上包层是高分子聚合材料，所述微流道延伸进所述衬底10～15μm，宽度为10-100μm。具有有益效果：生产芯片级光学检测系统，把传统的台式甚至大型的光学系统缩小到芯片尺寸，保证同等甚至更出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。
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公开(公告)号：CN111208069A
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN202010053889.5
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本发明提供一种光栅波导多微流道检测系统，包括微流体芯片、显微镜、测量装置和分析装置；所述微流体芯片包括微流体组，所述微流体组包括第一数量的微流体；所述微流体包括光栅波导组和微流道，所述光栅波导组包括第二数量的光栅波导，所述光栅波导包括出射光栅，所述出射光栅位于所述微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道内。具有有益效果：形成光波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111190009A
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN202010054222.7
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: G01N33/574 , G01N21/64 , G01N21/27 , B01L3/00
Abstract: 本发明提供一种基于CMOS图像传感的光栅波导多微流道检测系统，包括微流体芯片、CMOS图像传感层和分析装置；微流体芯片包括微流体组，微流体组包括第一数量的微流体，微流体包括微流道和光栅波导及出射光栅，出射光栅位于微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入微流道内；还包括在25-150℃沉积温度下形成的氮化硅波导层；CMOS图像传感层位于下包层下方。具有有益效果：形成光栅波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光栅波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片；减少实验中对收集光路调整等准备工作，提高检测系统的便携性。
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公开(公告)号：CN111175265A
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN202010053375.X
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本发明提供一种光栅波导多微流道检测系统，包括微流体芯片、显微镜、测量装置和分析装置；所述微流体芯片包括微流体组，所述微流体组包括第一数量的微流体；所述微流体包括光栅波导组和微流道，所述光栅波导组包括第二数量的光栅波导，所述光栅波导包括出射光栅，所述出射光栅位于所述微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道内。具有有益效果：形成光波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片。
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公开(公告)号：CN111229339B
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202010053711.0
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本发明提供一种光栅波导微流体芯片的制造方法，包括提供衬底，在衬底上形成牺牲层，形成下包层；形成波导层；形成光栅波导，包括出射光栅；在波导层上形成保护层，用于覆盖光栅波导并保护出射光栅；在保护层上形成上包层；形成微流道，贯穿上包层以暴露出保护层；出射光栅位于微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入微流道内；去除牺牲层。具有有益效果：在柔性基底上沉积光学性能可调的氮化硅薄膜，扩展SiN光学器件材料的应用范围和形式，将传统光学系统通过集成光学或片上光学器件来实现，把传统的台式大型的光学系统缩小到芯片尺寸，保证出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。
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公开(公告)号：CN111229338B
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202010053316.2
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本发明提供一种基于CMOS图像传感的光波导微流体芯片的制造方法，包括。具有有益效果：在CMOS图像传感层和高分子聚合材料上低温沉积光学性能可调的氮化硅光波导，不破坏CMOS图像传感层，减少了实验中对收集光路调整等准备工作，提高了实验效率；提高了检测系统的便携性，大大增加了系统的应用场景。
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公开(公告)号：CN111229342A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010054306.0
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本发明提供一种CMOS图像传感的光栅波导多微流道芯片的制造方法，包括提供CMOS图像传感层；在25-150℃沉积温度下形成氮化硅材料的波导层；形成光栅波导组，包括光栅波导及出射光栅；形成第一数量的微流道，光栅波导组与微流道对应组成第一数量的微流体，形成微流体组；出射光栅位于微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道内。具有有益效果：形成光栅波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光栅波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片；减少实验中对收集光路调整等准备工作，提高检测系统的便携性。
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