公开(公告)号：CN101933119A

公开(公告)日：2010-12-29

申请号：CN200880126064.9

申请日：2008-12-17

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 西村优

IPC: H01L21/02 ,  G05B19/418

CPC classification number: G05B19/0426 ,  G05B2219/25367 ,  H01L21/67005

Abstract: 本发明解决了以往存在无法容易地将可同步执行的指令和可异步执行的指令相结合执行所期望的处理的问题。本发明的信息处理装置，包括：画面构成部(102)，其构成用于接收同步指定信息的画面，所述同步指定信息是针对存储在指令存储部(101)中的指定了处理顺序的各指令指定与其他指令同步执行还是异步执行的信息；画面输出部(103)，其输出所构成的画面；指定接收部(104)，其接收针对所输出的画面的各指令的同步指定信息；以及指令执行部(106)，其按照处理顺序执行被存储在指令存储部(101)中的指令，以对于由同步指定信息指定为同步执行的指令，在紧接之前的指令结束之后再执行，而对于被指定为异步执行的指令，不等待紧接之前的指令结束就执行指令。

公开(公告)号：CN102246268A

公开(公告)日：2011-11-16

申请号：CN200980150514.2

申请日：2009-12-14

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 西村优 ,  高野博之 ,  西岛总一

IPC: H01L21/02 ,  C23C14/54 ,  H01L21/027 ,  H01L21/304 ,  H01L21/31

CPC classification number: H01L21/67276 ,  C23C14/12 ,  C23C14/22 ,  C23C14/24 ,  C23C16/44 ,  C23C16/52 ,  C23C16/54

Abstract: 基于联锁信号对多个同种类的设备进行群集控制。基板处理系统(10)包括输出用于控制PM的串行信号的上级PC(100)、以及在满足预定的联锁条件的情况下输出联锁信号的安全PLC(300)。在基板处理系统(10)的PM中设置同种类的多个APC阀，对每个设备选择联动或非联动的某一种的状态，以使多个APC阀互相联动或非联动地动作。安全PLC(300)在判断为满足了所给与的联锁条件的情况下输出表示异常的联锁信号。在多个APC阀的某一个输入了联锁信号的情况下，全部的APC阀与联动或非联动的任一种无关地按照联锁信号的指示联动而动作。

公开(公告)号：CN101933119B

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：CN200880126064.9

申请日：2008-12-17

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 西村优

IPC: H01L21/02 ,  G05B19/418

CPC classification number: G05B19/0426 ,  G05B2219/25367 ,  H01L21/67005

Abstract: 本发明解决了以往存在无法容易地将可同步执行的指令和可异步执行的指令相结合执行所期望的处理的问题。本发明的信息处理装置，包括：画面构成部(102)，其构成用于接收同步指定信息的画面，所述同步指定信息是针对存储在指令存储部(101)中的指定了处理顺序的各指令指定与其他指令同步执行还是异步执行的信息；画面输出部(103)，其输出所构成的画面；指定接收部(104)，其接收针对所输出的画面的各指令的同步指定信息；以及指令执行部(106)，其按照处理顺序执行被存储在指令存储部(101)中的指令，以对于由同步指定信息指定为同步执行的指令，在紧接之前的指令结束之后再执行，而对于被指定为异步执行的指令，不等待紧接之前的指令结束就执行指令。

公开(公告)号：CN102202992A

公开(公告)日：2011-09-28

申请号：CN200980143494.6

申请日：2009-11-11

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 松林信次 ,  川上聪 ,  户部康弘 ,  西村优 ,  八木靖司 ,  林辉幸 ,  小野裕司 ,  下茂文夫

IPC: B65G49/06 ,  H01L21/677 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: H01L51/56 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/6723

Abstract: 本发明提供一种能够扩展与传输模块侧面相连接的各种处理装置之间的间隔，维护性优良，可以避免生产能力的恶化，确保充分的生产效率的基板处理系统。基板处理系统在基板上沉积例如包含有机层的多个层来制造有机EL元件，由可抽真空的一个或两个以上的传输模块构成直线状的搬送路径，在传输模块的内部沿着搬送路径相互串联配置有：将基板相对于处理装置搬入搬出的多个搬入搬出区域，和配置在它们之间的一个或两个以上贮存区域，在传输模块的侧面且与搬入搬出区域对置的位置连接有处理装置。

公开(公告)号：CN101925883A

公开(公告)日：2010-12-22

申请号：CN200980103790.3

申请日：2009-01-23

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 西村优

IPC: G06F11/28

CPC classification number: G06F11/261 ,  G06F11/3696

Abstract: 在以往的群管理系统中，存在无法容易地知道处理参数的改变能够影响的一个以上的方案的问题。通过本发明的处理信息管理装置能够容易地知道处理参数的改变能够影响的一个以上的方案，所述处理信息管理装置包括：方案存储部，将作为与两个以上的控制装置所保持的处理有关的信息的两个以上的方案分别与所述两个以上的控制装置对应起来进行存储；接收部，对作为关于包含在方案中的处理参数的信息的处理参数信息进行接收；方案信息获取部，使用所述处理参数信息从所述方案存储部检索方法，并获取作为关于该检索到的方案的信息的方法信息；以及输出部，输出所述方案信息获取部获取的方案信息。