公开(公告)号：CN102246268A

公开(公告)日：2011-11-16

申请号：CN200980150514.2

申请日：2009-12-14

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 西村优 ,  高野博之 ,  西岛总一

IPC: H01L21/02 ,  C23C14/54 ,  H01L21/027 ,  H01L21/304 ,  H01L21/31

CPC classification number: H01L21/67276 ,  C23C14/12 ,  C23C14/22 ,  C23C14/24 ,  C23C16/44 ,  C23C16/52 ,  C23C16/54

Abstract: 基于联锁信号对多个同种类的设备进行群集控制。基板处理系统(10)包括输出用于控制PM的串行信号的上级PC(100)、以及在满足预定的联锁条件的情况下输出联锁信号的安全PLC(300)。在基板处理系统(10)的PM中设置同种类的多个APC阀，对每个设备选择联动或非联动的某一种的状态，以使多个APC阀互相联动或非联动地动作。安全PLC(300)在判断为满足了所给与的联锁条件的情况下输出表示异常的联锁信号。在多个APC阀的某一个输入了联锁信号的情况下，全部的APC阀与联动或非联动的任一种无关地按照联锁信号的指示联动而动作。