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公开(公告)号：CN102108502B
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201010621798.3
申请日：2010-12-24
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: C23C16/455 , C23C16/458
CPC classification number: C23C16/45551 , C23C16/4584 , C23C16/4585 , H01L21/68764 , H01L21/68771
Abstract: 本发明提供成膜装置及成膜方法。将沿基板的周向呈环状形成在基板载置区域的周缘的环构件固定于贯穿旋转台地升降自如的升降销。在将基板输送至凹部内后，使升降销下降而将环构件放置到与基板的表面周缘部接触的位置或该位置的稍微上方，在基板要浮起时将其卡定而防止其飞出。
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公开(公告)号：CN108534665A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810172436.7
申请日：2018-03-01
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G01B7/30 , C23C16/458 , C23C16/52 , H01L21/67
CPC classification number: C23C16/4584 , C23C16/402 , C23C16/45544 , G01B7/30 , C23C16/52 , H01L21/67011
Abstract: 本发明提供一种自转检测用治具、基板处理装置及其运转方法。该自转检测用治具在使设置于旋转台的一面侧的基板的载置台一边公转一边进行自转时准确地检测载置台的自转量。在设置于旋转台的基板的载置台上，将旋转元件设置为以载置台的自转轴为中心进行旋转，并且通过固定构件将与该旋转元件一同构成旋转编码器的编码器主体固定于旋转台。另外，将具备信号处理部的第一控制器设置于旋转台，该信号处理部对由编码器主体检测出的检测信号进行处理。当载置台旋转时旋转元件旋转，利用编码器主体来检测该旋转角。而且，利用信号处理部求出例如每单位时间的旋转角，发送到外部的第二控制器，并在显示部中进行显示。
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公开(公告)号：CN106505014A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201610809549.4
申请日：2016-09-08
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置和基板处理方法。该基板处理装置用于一边利用旋转台使基板公转一边对该基板供给处理气体来进行处理，其中，其以包括如下构件的方式构成装置：旋转台，其设于处理容器内；旋转机构，其用于使所述旋转台旋转；支承部，其在所述旋转台的下方侧设于所述旋转台的旋转轴；开口部，其与基板的载置位置相对应地形成于所述旋转台；载置部，其借助所述开口部以自转自由的方式支承于所述支承部，用于以基板的上表面的高度位置与所述旋转台的上表面的高度位置对齐的方式载置基板；自转机构，其用于使所述载置部自转。
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公开(公告)号：CN107022754B
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201710060663.6
申请日：2017-01-25
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: C23C16/458 , C23C16/455 , C23C16/40 , H01L21/687
Abstract: 一种基板处理装置，其设置在处理容器内，一边于在旋转台的一个面侧载置有基板的状态下使其旋转而使基板公转、一边向该基板供给处理气体而进行处理，其中，该基板处理装置包括：载置台，用于载置所述基板；以及磁力齿轮机构，其具有经由在沿着所述旋转台的旋转轴的方向上延伸的自转轴连结于所述载置台并用于使所述载置台自转的从动齿轮部和用于驱动该从动齿轮部的驱动齿轮部，所述驱动齿轮部以使驱动面和所述从动齿轮的从动面相对的方式配置，为了使形成于所述驱动面和所述从动面之间的磁力线移动而使所述从动齿轮旋转，所述驱动齿轮部连接于使所述驱动面移动的驱动部。
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公开(公告)号：CN107022754A
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201710060663.6
申请日：2017-01-25
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: C23C16/458 , C23C16/455 , C23C16/40 , H01L21/687
Abstract: 一种基板处理装置，其设置在处理容器内，一边于在旋转台的一个面侧载置有基板的状态下使其旋转而使基板公转、一边向该基板供给处理气体而进行处理，其中，该基板处理装置包括：载置台，用于载置所述基板；以及磁力齿轮机构，其具有经由在沿着所述旋转台的旋转轴的方向上延伸的自转轴连结于所述载置台并用于使所述载置台自转的从动齿轮部和用于驱动该从动齿轮部的驱动齿轮部，所述驱动齿轮部以使驱动面和所述从动齿轮的从动面相对的方式配置，为了使形成于所述驱动面和所述从动面之间的磁力线移动而使所述从动齿轮旋转，所述驱动齿轮部连接于使所述驱动面移动的驱动部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102965643A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201210315948.7
申请日：2012-08-30
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: C23C16/46 , H01L21/67 , H01L21/205
CPC classification number: H01L21/67103 , C23C16/401 , C23C16/45551 , C23C16/4585 , C23C16/46 , H01L21/67109 , H01L21/68764 , H01L21/68771
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置和成膜装置。基板处理装置包括：处理容器；旋转台，其设于上述处理容器内，在其一面侧载置基板，并且该旋转台能够旋转，在用于载置上述基板的基板载置区域设有基板载置部，该基板载置部以热容量小于其他区域的热容量的方式构成；加热部，其用于从上述旋转台的另一面侧加热上述基板。
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公开(公告)号：CN102086515A
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：CN201010578311.8
申请日：2010-12-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: C23C16/44 , C23C16/458 , H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67748 , C23C16/45546 , C23C16/4584 , H01L21/68742 , H01L21/68764 , H01L21/68771 , H01L21/68785 , H01L21/68792
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置，其包括：真空容器；旋转台，其在上述真空容器内进行旋转；基板载置构件，其能够装卸自如地安装在上述旋转台上，在上述旋转台的上表面侧提供与上述旋转台成为一体的用于载置基板的凹部，该基板载置构件构成在上述凹部内载置上述基板的底面；位置限制部，其设于上述旋转台和上述基板载置构件中的至少一个上，用于限制上述基板在上述旋转台旋转时因离心力而产生的移动；反应气体供给部，其用于向上述旋转台的上述上表面侧供给反应气体；真空排气部件，其用于对上述真空容器内进行排气。
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公开(公告)号：CN117747486A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202311179226.8
申请日：2023-09-13
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/02 , H01L21/673 , B08B5/02 , B08B13/00
Abstract: 本公开提供一种基板处理装置和基板处理方法，能够高效地去除残留在基板上的不需要的分子。本公开的一个方式的基板处理装置具备：基板保持器具，其将多个基板沿铅垂方向具有间隔地分多层进行保持；以及处理容器，其收容所述基板保持器具，其中，所述基板保持器具具有将相邻的所述基板间分隔开的分隔板，所述分隔板的下表面具有用于喷出第一气体的多个喷出部，所述多个喷出部能够被独立地进行所述第一气体的供给切断的控制。
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公开(公告)号：CN117628207A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311102998.1
申请日：2023-08-30
Applicant: 株式会社开滋SCT , 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供能够提高真空处理室和真空预备室的气密性和清洁度的闸阀和基板处理装置以及基板处理方法。闸阀将与真空处理室和真空预备室的各个室对置的一侧的表面对于包围真空处理室和真空预备室的相互对置配置的基板运入运出口的整周的环状的密封部件抵接，将真空处理室与真空预备室之间开闭自如地连接，在以内外双重地包围真空处理室或真空预备室的至少一个的基板运入运出口的整周的方式设置的密封部件之间和在闸阀内部的1个以上的部位内外双重地设置的其它密封部件之间设置密封用流路，并具备包括多个密封用流路且以从流入口连续地流动到流出口的方式引导惰性气体的气体流通用流路。
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公开(公告)号：CN108534665B
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN201810172436.7
申请日：2018-03-01
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G01B7/30 , C23C16/458 , C23C16/52 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种自转检测用治具、基板处理装置及其运转方法。该自转检测用治具在使设置于旋转台的一面侧的基板的载置台一边公转一边进行自转时准确地检测载置台的自转量。在设置于旋转台的基板的载置台上，将旋转元件设置为以载置台的自转轴为中心进行旋转，并且通过固定构件将与该旋转元件一同构成旋转编码器的编码器主体固定于旋转台。另外，将具备信号处理部的第一控制器设置于旋转台，该信号处理部对由编码器主体检测出的检测信号进行处理。当载置台旋转时旋转元件旋转，利用编码器主体来检测该旋转角。而且，利用信号处理部求出例如每单位时间的旋转角，发送到外部的第二控制器，并在显示部中进行显示。
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