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公开(公告)号:CN117999515A
公开(公告)日:2024-05-07
申请号:CN202280063717.3
申请日:2022-09-21
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供兼具曝光时的敏感度提高、显影后的开口图案尺寸的窄掩模偏置抑制及优异的半色调特性的感光性组合物、以及能够提高显示装置中的发光元件的可靠性、提高电子部件的耐迁移性的固化膜。为了实现上述目的,本发明的感光性组合物为满足以下的条件(α)或条件(β)的感光性组合物,所述感光性组合物的全部固态成分中的双键当量为600~6,000g/mol。条件(α):含有下述(I)的化合物及/或下述(II)的化合物(I)具有特定的(WA)弱酸性基团及自由基聚合性基团的化合物(II)具有特定的(WA)弱酸性基团的化合物及具有自由基聚合性基团的化合物条件(β):含有(A)碱溶性树脂、(B)自由基聚合性化合物及(C)感光剂
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公开(公告)号:CN107407876A
公开(公告)日:2017-11-28
申请号:CN201680013754.8
申请日:2016-02-29
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明提供一种树脂,所述树脂用于感光性树脂组合物时具有高伸长率、低应力性、高敏感度、高残膜率。本发明为一种感光性树脂组合物,其含有树脂,所述树脂的特征在于,具有通式(1)及/或(2)表示的结构,并且,(a)含有10~80摩尔%具有脂环结构的碳原子数为4~40的有机基团作为通式(1)及(2)的R1,(b)含有10~80摩尔%具有聚醚结构的碳原子数为20~100的有机基团作为通式(1)及(2)的R2。(通式(1)及(2)中,R1表示具有单环式或稠合多环式的脂环结构的碳原子数为4~40的四价有机基团。R2表示具有聚醚结构的碳原子数为20~100的二价有机基团。R3表示氢或碳原子数为1~20的有机基团。n1、n2各自表示10~100,000的范围,p、q表示满足0≤p+q≤6的整数。)
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公开(公告)号:CN111936552B
公开(公告)日:2023-05-16
申请号:CN201980019979.8
申请日:2019-03-15
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明提供能够得到高伸长率、低应力、高金属密合、高耐热性的固化膜的碱溶性树脂及含有其的感光性树脂组合物。本发明为(A)碱溶性树脂,其特征在于,具有通式(1)表示的结构,且满足以下的(I)和(II)。(I)作为通式(1)的X1,具有碳原子数为8~30的脂肪族链的有机基团以相对于X1和X2的总量100摩尔%而言30~70摩尔%的量被含有,(II)作为通式(1)的Y1,具有二苯醚结构的有机基团以相对于Y1和Y2的总量100摩尔%而言1~30摩尔%的量被含有(通式(1)中的X1表示碳原子数为2~100个的2价有机基团,Y1和Y2表示碳原子数为2~100个的2~6价有机基团,X2表示碳原子数为2~100个的4价有机基团,p和q表示0~4的范围的整数,n1和n2表示5~100000的范围的整数。)
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公开(公告)号:CN108780275A
公开(公告)日:2018-11-09
申请号:CN201780019777.4
申请日:2017-03-22
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 提供可得到高耐热性的固化膜、具有良好的图案加工性(高敏感度性)、且具有与基板的良好的密合性即层压性的感光性膜。感光性膜,其含有:(A1)具有通式(1)表示的结构单元的碱溶性树脂;(A2)包含选自聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰胺酰亚胺、它们的前体、及它们的共聚物中的一种以上的碱溶性树脂;(B)光产酸剂;以及(C)热交联剂。通式(1)中,R1表示氢原子或碳原子数1~5的烷基,a表示0~4的范围内的整数,b表示1~3的范围内的整数,R2为氢原子、甲基、乙基、丙基中的任一者。
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公开(公告)号:CN116710391A
公开(公告)日:2023-09-05
申请号:CN202180087779.3
申请日:2021-12-27
Applicant: 东丽株式会社
IPC: B81B1/00
Abstract: 本发明提供酸离子含量少、高温高湿条件下保存时的布线腐蚀少的中空结构体。本发明为从具有金属布线的基板的上表面起依次层叠有作为中空结构支撑材料的膜厚为5~30μm的有机膜(I)、和作为中空结构顶壁材料的膜厚为5~30μm的有机膜(II)的中空结构体,用下述离子溶出量的评价方法对所述有机膜(I)和所述有机膜(II)分别单独地进行评价时,有机膜(I)的离子溶出量和有机膜(II)的离子溶出量的合计为4000ppm以下。(离子溶出量的评价方法)将有机膜放入质量比为10倍量的纯水中,于100~121℃进行10~20小时热水萃取后,将萃取液的上清液作为检测液。向离子色谱分析装置导入检测液及目标离子的标准液,通过校正曲线法求得检测液中的甲酸离子、乙酸离子、丙酸离子和硫酸离子的浓度,将其合计换算为相对有机膜的质量而言的溶出离子质量,将换算而得的值作为离子溶出量。
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公开(公告)号:CN111936552A
公开(公告)日:2020-11-13
申请号:CN201980019979.8
申请日:2019-03-15
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明提供能够得到高伸长率、低应力、高金属密合、高耐热性的固化膜的碱溶性树脂及含有其的感光性树脂组合物。本发明为(A)碱溶性树脂,其特征在于,具有通式(1)表示的结构,且满足以下的(I)和(II)。(I)作为通式(1)的X1,具有碳原子数为8~30的脂肪族链的有机基团以相对于X1和X2的总量100摩尔%而言30~70摩尔%的量被含有,(II)作为通式(1)的Y1,具有二苯醚结构的有机基团以相对于Y1和Y2的总量100摩尔%而言1~30摩尔%的量被含有(通式(1)中的X1表示碳原子数为2~100个的2价有机基团,Y1和Y2表示碳原子数为2~100个的2~6价有机基团,X2表示碳原子数为2~100个的4价有机基团,p和q表示0~4的范围的整数,n1和n2表示5~100000的范围的整数。)
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公开(公告)号:CN118647934A
公开(公告)日:2024-09-13
申请号:CN202380018865.8
申请日:2023-01-30
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/028 , G03F7/037 , H01L21/312 , H01L21/768 , H01L23/532 , H10N30/80
Abstract: 提供一种高温高湿条件下的保存时的布线腐蚀少的层叠体。一种层叠体,为在压电体基板上依次形成有厚度为0.1μm~5μm的金属布线(M1)、膜厚为0.5μm~4μm的有机绝缘膜(P1)的浮雕图案、以及厚度为0.1μm~5μm的金属布线(M2)的层叠体,所述有机绝缘膜(P1)含有使包含碱可溶性树脂(A)、与萘醌二叠氮化合物(E)的感光性树脂组合物硬化而获得的硬化物,相对于所述碱可溶性树脂(A)100质量份,所述萘醌二叠氮化合物(E)的含量为5质量份~25质量份,在利用离子溶出量的测定方法对所述有机绝缘膜(P1)进行测定时,离子溶出量为2000ppm以下。
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公开(公告)号:CN116997858A
公开(公告)日:2023-11-03
申请号:CN202280021166.4
申请日:2022-03-15
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/037
Abstract: 本发明的课题在于提供可获得高纵横比的图案加工性、良好的保存稳定性和固化性的负型感光性树脂组合物、机械特性和耐热性优异的固化物。负型感光性树脂组合物,其为含有(A)高分子化合物、(B)阳离子聚合性化合物、(C)阳离子聚合引发剂、和(D)溶剂的负型感光性树脂组合物,该(A)成分含有选自由聚酰胺、聚酰亚胺、聚苯并噁唑、它们的前体、及它们的共聚物组成的组中的至少一种化合物,将该(A)成分中包含的所有羧酸残基设为Amol、将所有二胺残基设为Bmol、将所有单胺残基设为Cmol时,满足0.6A≤B+0.5C≤0.98A及0.05(B+C)≤C≤0.25(B+C)。
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