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公开(公告)号：CN108779331A
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201780015445.9
申请日：2017-01-24
申请人： 东丽株式会社
IPC分类号： C08L79/08 , C08K5/28 , C08L25/18 , C08L61/06 , C08L79/04 , G03F7/023 , G03F7/20 , H01L21/312
摘要： 本发明的目的在于提供能够抑制薄膜形成部中的表面粗糙、维持薄膜形成部的绝缘可靠性的树脂组合物、其固化浮凸图案、及使用其的半导体电子部件或半导体器件的制造方法。用于实现上述目的的本发明的构成如下所述。即，树脂组合物，其含有(a)选自碱溶性聚酰亚胺、碱溶性聚苯并噁唑、碱溶性聚酰胺酰亚胺、它们的前体及它们的共聚物中的至少一种树脂、以及(b)碱溶性酚醛树脂，上述(b)的树脂的碱溶解速度(Rb)与上述(a)的树脂的碱溶解速度(Ra)之比(Rb/Ra)满足0.5≤Rb/Ra≤2.0的关系。还为该树脂组合物的固化浮凸图案、及使用其的半导体电子部件或半导体器件的制造方法。
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公开(公告)号：CN103347652A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201280008992.1
申请日：2012-02-08
申请人： 东丽株式会社
IPC分类号： B24B37/26 , B24B37/22 , H01L21/304
摘要： 一种至少具有研磨层和垫层的研磨垫，在其研磨面上具有槽；研磨面和上述槽的与研磨面连续的侧面所成的角度的至少一方为105度以上、150度以下，上述垫层的应变常数为7.3×10－6μm/Pa以上、4.4×10－4μm/Pa以下；通过使用这样的研磨垫，能够解决在保持较高的研磨速率的同时抑制研磨速率的变动的课题。
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公开(公告)号：CN100480855C
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN03812102.6
申请日：2003-05-28
申请人： 东丽株式会社
CPC分类号： G03F7/0048 , G03F7/0233 , G03F7/037 , H01L27/3295 , H01L51/5253
摘要： 本发明提供一种感光性树脂组合物，其含有(a)具有特定结构的树脂、(b)感光剂、(c)在大气压下沸点在100℃～140℃的有机溶剂，并且(c)成分的含量相对于有机溶剂总量为50重量%～100重量%，本发明还提供采用该树脂组合物的耐热性树脂膜的制造方法。根据本发明，可提供难以产生转印痕和划出条纹等缺陷的感光性树脂组合物。
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公开(公告)号：CN1471659A
公开(公告)日：2004-01-28
申请号：CN99801861.9
申请日：1999-09-07
申请人： 东丽株式会社
CPC分类号： G03F7/0233 , C08G73/1025 , C08L79/08
摘要： 本发明提供一种可以碱液显影的高光敏度的感光性树脂组合物，它是一种正型感光性树脂先质组合物，其特征在于，其中含有(a)结构单元间的键以通式(1)表示的结构单元为主要成分的聚合物和(b)光酸发生剂，通过光照射及其后续的显影可以形成图案，上述聚合物1g中含有的羧基总量为0.02mmol以上、2.0mmo1以下。R1为具有至少2个以上碳原子的3价～8价有机基团，R2为具有至少2个以上碳原子的2价～6价有机基团、R3为氢或碳原子数1～20的有机基团。n为3～100000的整数，m为1或2，p、q为0～4的整数，且p+q>0。
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公开(公告)号：CN110382626B
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN201880018411.X
申请日：2018-03-15
申请人： 东丽株式会社
IPC分类号： C08L101/00 , C08G73/10 , C08L79/08 , H01B3/30 , H01B17/56
摘要： 本发明的目的在于提供可得到具有低介电损耗角正切、且能够耐受伴随于线圈图案形成的热处理、试剂处理的固化膜的树脂组合物。用于实现上述目的的本发明的构成如下所述。即，树脂组合物，其含有（P）具有脂环结构与芳环结构的树脂，其中，前述（P）具有脂环结构与芳环结构的树脂具有包含2个以上脂环的基团，并且具有2个以上的苯环通过单键键合而成的基团。
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公开(公告)号：CN107407869B
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN201680012940.X
申请日：2016-02-09
申请人： 东丽株式会社
摘要： 本发明提供感光性树脂组合物，其含有碱溶性树脂和感光剂，所述碱溶性树脂为选自聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑前体及从它们中选择的2种以上的聚合物的共聚物中的1种以上，所述感光性树脂组合物还含有下述通式(1)表示的化合物。本发明提供感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物即使在低温下烧成时，得到的固化膜与金属材料(特别是铜)的密合性也优异，且呈现高耐化学药品性。
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公开(公告)号：CN109906217A
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201780068576.3
申请日：2017-08-28
申请人： 东丽株式会社
IPC分类号： C07C237/04 , C07C235/24 , C08G69/26 , C08G73/08 , C08G73/10 , H01L21/336 , H01L23/12 , H01L23/29 , H01L23/31 , H01L27/32 , H01L29/786 , H01L51/50 , H05B33/02 , H05B33/12 , H05B33/22
摘要： 本发明涉及新型二胺化合物、以及使用其的耐热性树脂及使用所述耐热性树脂的树脂组合物，通过本发明，即使为200℃以下的低温的加热处理，也能够得到耐化学药品性和膜特性优异的固化膜。该新型二胺由下述通式(1)表示。本发明的耐热性树脂或树脂组合物能够合适地用于半导体元件的表面保护膜、层间绝缘膜、有机场致发光元件(有机EL)的绝缘层、平坦层等。
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公开(公告)号：CN109563342A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201780047630.6
申请日：2017-09-25
申请人： 东丽株式会社
摘要： 树脂组合物，其包含(A)选自聚酰亚胺、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑、聚苯并噁唑前体、其他聚酰胺、及它们的共聚物中的一种以上的树脂、(D)环氧基数为3以上的热交联剂，所述树脂组合物还包含(E)分子量为60以上且1000以下的具有叔酰胺结构的化合物。提供下述树脂组合物：其保存稳定性、放置稳定性优异，能够利用低温下的加热处理而固化，并且能够得到耐化学药品性高的固化膜，此外，能够抑制应用该固化膜的器件在可靠性试验后器件特性的降低。
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公开(公告)号：CN100529964C
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200410043038.3
申请日：2004-04-07
申请人： 东丽株式会社
CPC分类号： G03F7/0226 , G03F7/0007 , G03F7/0233 , G03F7/105
摘要： 公开了一种正型光敏树脂组合物，包括：(a)碱溶性树脂；(b)醌的重氮化合物；(c)热敏化合物，其在受热后着色并在至少350nm且至多700nm的波长处显示出吸收最大值；和(d)一种化合物，其在至少350nm到低于500nm的波长内不具有吸收最大值，但在至少500nm且至多750nm的波长处具有吸收最大值。这种组合物优选用于形成遮光分离器或者有机电致发光器件和液晶显示元件的黑色基质。
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