公开(公告)号：CN107001629A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580063918.3

申请日：2015-11-19

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 增田有希 ,  木内洋平 ,  奥田良治

IPC: C08G73/10 ,  C08G69/42 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供可制造具有高敏感度及高耐热性的感光性树脂组合物的树脂。本发明涉及以通式(1)或(2)表示的结构为主成分的树脂，其中，R2包含通式(3)表示的有机基团及通式(4)表示的有机基团。

公开(公告)号：CN108885401A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201780020307.X

申请日：2017-03-24

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 木内洋平 ,  庄司优 ,  矶部王郎

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/027 ,  G03F7/037 ,  G03F7/20 ,  C08G77/26

CPC classification number: G03F7/027 ,  C08G77/26 ,  G03F7/037 ,  G03F7/075 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供耐药品性及电绝缘性优异、并且在固化后可得到具有正锥形的截面形状的固化浮凸图案的感光性树脂组合物。本发明为感光性树脂组合物，其含有碱溶性树脂(A)和含(甲基)丙烯酰基的化合物(B)，所述碱溶性树脂(A)包含选自聚酰亚胺及其前体、以及聚苯并噁唑及其前体中的1种以上，其中，前述含(甲基)丙烯酰基的化合物(B)为下述化合物的缩合物，所述化合物具有通式(1)表示的结构、和选自通式(2‑1)、通式(2‑2)及通式(2‑3)中的1种以上的结构，并且，所述含(甲基)丙烯酰基的化合物(B)包含具有多个通式(1)的结构的含多官能(甲基)丙烯酰基的硅烷缩合物(B1)，前述化合物(B1)的重均分子量为1,000～20,000。(通式(1)中，R1表示氢原子或甲基。m表示1≤m≤4的范围内的整数。*符号表示键合部。通式(2‑1)(2‑2)及(2‑3)中R2表示甲基或乙基。n表示1≤n≤4的范围内的整数。*符号表示键合部。)

公开(公告)号：CN108885401B

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN201780020307.X

申请日：2017-03-24

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 木内洋平 ,  庄司优 ,  矶部王郎

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/027 ,  G03F7/037 ,  G03F7/20 ,  C08G77/26

Abstract: 本发明提供耐药品性及电绝缘性优异、并且在固化后可得到具有正锥形的截面形状的固化浮凸图案的感光性树脂组合物。本发明为感光性树脂组合物，其含有碱溶性树脂(A)和含(甲基)丙烯酰基的化合物(B)，所述碱溶性树脂(A)包含选自聚酰亚胺及其前体、以及聚苯并噁唑及其前体中的1种以上，其中，前述含(甲基)丙烯酰基的化合物(B)为下述化合物的缩合物，所述化合物具有通式(1)表示的结构、和选自通式(2‑1)、通式(2‑2)及通式(2‑3)中的1种以上的结构，并且，所述含(甲基)丙烯酰基的化合物(B)包含具有多个通式(1)的结构的含多官能(甲基)丙烯酰基的硅烷缩合物(B1)，前述化合物(B1)的重均分子量为1,000～20,000。(通式(1)中，R1表示氢原子或甲基。m表示1≤m≤4的范围内的整数。*符号表示键合部。通式(2‑1)(2‑2)及(2‑3)中R2表示甲基或乙基。n表示1≤n≤4的范围内的整数。*符号表示键合部。)

公开(公告)号：CN107001629B

公开(公告)日：2019-09-24

申请号：CN201580063918.3

申请日：2015-11-19

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 增田有希 ,  木内洋平 ,  奥田良治

IPC: C08G73/10 ,  C08G69/42 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供可制造具有高敏感度及高耐热性的感光性树脂组合物的树脂。本发明涉及以通式(1)或(2)表示的结构为主成分的树脂，其中，R2包含通式(3)表示的有机基团及通式(4)表示的有机基团。