中空结构体及使用其的电子部件、负型感光性树脂组合物

    公开(公告)号:CN116710391A

    公开(公告)日:2023-09-05

    申请号:CN202180087779.3

    申请日:2021-12-27

    Abstract: 本发明提供酸离子含量少、高温高湿条件下保存时的布线腐蚀少的中空结构体。本发明为从具有金属布线的基板的上表面起依次层叠有作为中空结构支撑材料的膜厚为5~30μm的有机膜(I)、和作为中空结构顶壁材料的膜厚为5~30μm的有机膜(II)的中空结构体,用下述离子溶出量的评价方法对所述有机膜(I)和所述有机膜(II)分别单独地进行评价时,有机膜(I)的离子溶出量和有机膜(II)的离子溶出量的合计为4000ppm以下。(离子溶出量的评价方法)将有机膜放入质量比为10倍量的纯水中,于100~121℃进行10~20小时热水萃取后,将萃取液的上清液作为检测液。向离子色谱分析装置导入检测液及目标离子的标准液,通过校正曲线法求得检测液中的甲酸离子、乙酸离子、丙酸离子和硫酸离子的浓度,将其合计换算为相对有机膜的质量而言的溶出离子质量,将换算而得的值作为离子溶出量。

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