公开(公告)号：CN108780275B

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN201780019777.4

申请日：2017-03-22

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 池田芳史 ,  小山祐太朗

IPC: G03F7/023 ,  C08F8/28 ,  C08F12/22 ,  C08G73/10 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20

Abstract: 提供可得到高耐热性的固化膜、具有良好的图案加工性(高敏感度性)、且具有与基板的良好的密合性即层压性的感光性膜。感光性膜，其含有：(A1)具有通式(1)表示的结构单元的碱溶性树脂；(A2)包含选自聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰胺酰亚胺、它们的前体、及它们的共聚物中的一种以上的碱溶性树脂；(B)光产酸剂；以及(C)热交联剂。通式(1)中，R1表示氢原子或碳原子数1～5的烷基，a表示0～4的范围内的整数，b表示1～3的范围内的整数，R2为氢原子、甲基、乙基、丙基中的任一者。

公开(公告)号：CN107407878B

公开(公告)日：2020-11-17

申请号：CN201680017498.X

申请日：2016-03-15

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 池田芳史

IPC: G03F7/023 ,  C08G8/10 ,  C08G73/14 ,  C08G73/22 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，在半导体器件的图案固化膜中，不仅为高敏感度，而且可提高回流处理后的图案固化膜与金属布线的密合性。感光性树脂组合物的特征在于，含有包含选自(a‑1)以通式(1)表示的结构为主成分的树脂、(a‑2)聚酰亚胺、及它们的共聚物中的至少1种的碱溶性树脂、及(c)以通式(2)表示的结构为主成分的化合物。

公开(公告)号：CN108780275A

公开(公告)日：2018-11-09

申请号：CN201780019777.4

申请日：2017-03-22

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 池田芳史 ,  小山祐太朗

IPC: G03F7/023 ,  C08F8/28 ,  C08F12/22 ,  C08G73/10 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20

CPC classification number: C08F8/28 ,  C08F12/22 ,  C08G73/10 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  G03F7/20

Abstract: 提供可得到高耐热性的固化膜、具有良好的图案加工性(高敏感度性)、且具有与基板的良好的密合性即层压性的感光性膜。感光性膜，其含有：(A1)具有通式(1)表示的结构单元的碱溶性树脂；(A2)包含选自聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰胺酰亚胺、它们的前体、及它们的共聚物中的一种以上的碱溶性树脂；(B)光产酸剂；以及(C)热交联剂。通式(1)中，R1表示氢原子或碳原子数1～5的烷基，a表示0～4的范围内的整数，b表示1～3的范围内的整数，R2为氢原子、甲基、乙基、丙基中的任一者。

公开(公告)号：CN107407878A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201680017498.X

申请日：2016-03-15

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 池田芳史

IPC: G03F7/023 ,  C08G8/10 ,  C08G73/14 ,  C08G73/22 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，在半导体器件的图案固化膜中，不仅为高敏感度，而且可提高回流处理后的图案固化膜与金属布线的密合性。感光性树脂组合物的特征在于，含有包含选自(a-1)以通式(1)表示的结构为主成分的树脂、(a-2)聚酰亚胺、及它们的共聚物中的至少1种的碱溶性树脂、及(c)以通式(2)表示的结构为主成分的化合物。