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公开(公告)号：CN111733449B
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN202010647709.6
申请日：2020-07-07
Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司
Inventor： 赵旭良
IPC: C30B15/26
Abstract: 本发明提供一种晶棒生长设备及生长方法。晶棒生长设备包括生长炉、坩埚、加热器、提拉机构、红外探测仪、分度盘、传感器及控制装置；坩埚位于生长炉内；提拉机构包括提拉线及驱动装置，提拉线一端与晶棒的上部相连接，另一端与驱动装置相连接，晶棒的下部伸入坩埚内，晶棒上具有多根沿纵向延伸的晶线；红外探测仪位于生长炉的外侧；分度盘位于生长炉的上方，且与提拉机构相连接，以在提拉机构的带动下和晶棒同步旋转，分度盘的等分线的正投影位于相邻两根晶线之间；传感器位于分度盘的外围；控制装置与红外探测仪及传感器相连接，用于在传感器检测到分度盘的等分线时控制红外探测仪测量晶棒的直径。本发明有助于提高晶棒品质，提高生产良率。
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公开(公告)号：CN107527848B
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN201610443457.9
申请日：2016-06-20
Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/683 , B25J15/06
Abstract: 本发明提供了一种机械手臂及基板的抓取方法，即通过所述机械手臂取放位于基板存放区域中的基板。其中，所述机械手包括：机械手盘、设置于所述机械手盘上的接触垫和吸附装置，并且，在所述机械手臂取放基板时，位于基板存放区域内的机械手臂的厚度为机械手盘的厚度与接触垫的厚度之和。与现有的机械手臂相比，本发明提供的机械手臂在取放基板时，于基板存放区域中需占用的空间较小，从而可在不改变机械手臂原有的精度的基础上，减小对基板造成刮伤的风险。
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公开(公告)号：CN111321458A
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201811527817.9
申请日：2018-12-13
Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司
Inventor： 赵旭良
Abstract: 本发明提供了一种加热式导流筒，包括：上筒体，包含导通所述上筒体的顶部和底部的上通孔；具有加热功能的下筒体，包含导通所述下筒体的顶部和底部的下通孔，所述下筒体的顶部连接所述上筒体的底部，所述上通孔和所述下通孔相连通并一同构成导流通孔。本发明所提供的加热式导流筒，通过引入具有加热功能的下筒体，在生长不同类型的单晶时，通过下筒体加热调节晶体生长热场，避免了因频繁更换不同结构的导流筒而导致维护成本增加的问题。此外，通过加热下筒体也增强了对生长热场的工艺调节能力，使单晶生长过程更为可控。
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公开(公告)号：CN107275250A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201610218416.X
申请日：2016-04-08
Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司
IPC: H01L21/67
CPC classification number: H01L21/67115 , H01L21/67109
Abstract: 本发明揭示了一种降低预抽腔体中芯片温度的方法及芯片降温装置。所述降低预抽腔体中芯片温度的方法包括：提供一预抽腔体及一芯片承载盘，该芯片承载盘装设于该预抽腔体内；分别在该预抽腔体的内表面以及该芯片承载盘的表面添加一层薄膜，该薄膜的热辐射吸收系数大于等于0.8W/(m·K)。
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公开(公告)号：CN110359089B
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN201910671773.5
申请日：2019-07-24
Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司
Inventor： 赵旭良
Abstract: 本发明提供一种集尘罐、单晶生长设备及单晶生长方法。集尘罐包括：罐体；过滤装置，位于罐体内；过滤装置包括隔离盘及至少一个过滤芯；过滤芯一端与隔离盘相连接且过滤芯的开口暴露于隔离盘的表面，另一端向罐体的下部延伸；进气口位于罐体下部的侧壁上，排气口位于罐体上部的侧壁上；清洁装置，位于罐体内；清洁装置包括连接杆、固定板及清洁单元；驱动装置，与清洁装置的连接杆相连接，用于驱动清洁装置上下移动以对过滤芯的侧壁进行清洁。本发明的集尘罐可以在每次工艺生产结束后，利用其自带的清洁装置对过滤芯表面进行清洁，有助于提高过滤芯表面的清洁度、延长真空泵的使用寿命，有利于降低人力成本和保障人员健康。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108097016B
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201611060006.3
申请日：2016-11-24
Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种带有溢流腔的尾气处理装置，包括：水槽；所述水槽上部设有进气口及出气口；设于所述水槽一侧的溢流腔，与所述溢流腔之间通过隔板隔离，当所述水槽内的液体水位到达隔板顶部时，液体表面的絮状硅化物可越过隔板流入所述溢流腔内；设于所述溢流腔上部的至少一个喷头，用于喷射水流以打碎进入溢流腔的絮状硅化物；设于所述溢流腔下部的排放口，用于排出硅化物；与所述排放口连接的电磁阀，用于开启或关闭所述排放口。本发明通过在水槽一侧增加一个溢流腔，让絮状硅化物可以直接从水面上流入溢流腔内，并有效排出尾气处理器内部，可以大大延长PM周期，提高外延的经济效益，并具有结构简单，效果显著、使用成本低、维护便捷等优点。
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公开(公告)号：CN110359089A
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201910671773.5
申请日：2019-07-24
Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司
Inventor： 赵旭良
Abstract: 本发明提供一种集尘罐、单晶生长设备及单晶生长方法。集尘罐包括：罐体；过滤装置，位于罐体内；过滤装置包括隔离盘及至少一个过滤芯；过滤芯一端与隔离盘相连接且过滤芯的开口暴露于隔离盘的表面，另一端向罐体的下部延伸；进气口位于罐体下部的侧壁上，排气口位于罐体上部的侧壁上；清洁装置，位于罐体内；清洁装置包括连接杆、固定板及清洁单元；驱动装置，与清洁装置的连接杆相连接，用于驱动清洁装置上下移动以对过滤芯的侧壁进行清洁。本发明的集尘罐可以在每次工艺生产结束后，利用其自带的清洁装置对过滤芯表面进行清洁，有助于提高过滤芯表面的清洁度、延长真空泵的使用寿命，有利于降低人力成本和保障人员健康。
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公开(公告)号：CN107516641A
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：CN201610428174.7
申请日：2016-06-16
Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司
Inventor： 赵旭良
IPC: H01L21/67
CPC classification number: H01L21/67242 , H01L21/67259
Abstract: 本发明提供一种机械手臂的监控系统及监控方法，其中，所述监控系统包括：感应单元以及数据处理单元，所述感应单元用于获取机械手盘的位置信息，并将所述位置信息发送至数据处理单元，所述数据处理单元用于根据其所接收到的位置信息判断所述机械手盘的位置是否存在偏差。通过本发明提供的机械手臂的监控系统及监控方法，可在不影响机械手臂的生产作业的基础上，仍能对机械手臂的精度进行监控，一方面可确保基板的取放安装，另一方面也可及时的发现异常，进而避免异常的扩大化。
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公开(公告)号：CN107456888A
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：CN201610395471.6
申请日：2016-06-06
Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种溶剂混合器包括：储液槽；将多种液体导入所述储液槽的多路进液口；位于所述储液槽之下的初级导流圈；位于所述初级导流圈之下的次级锥形圈；其中，所述储液槽的下端设有开口，所述初级导流圈的上端设有进口，所述进口与所述开口对接，所述初级导流圈的下端设有多个锥形孔；所述次级锥形圈的上端与所述初级导流圈对接，所述次级锥形圈下端设有出液口。本发明的剂混合器可实现多种液体的有效、快速混合，装置成本低，操作简单，占用空间小，结合控制模块可实现精确配比和自动控制，有很强的实用性。
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公开(公告)号：CN107393855A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201610326082.8
申请日：2016-05-17
Applicant: 上海新昇半导体科技有限公司
Inventor： 赵旭良
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01L21/681
Abstract: 本发明提供一种晶圆定位装置及相关方法，该装置包括：设有旋转中心的晶圆旋转机构、标记检测器和控制模块，其中，所述晶圆旋转机构包括与晶圆接触并驱动晶圆以所述旋转中心进行旋转的驱动轮；所述标记检测器检测晶圆上的定位标记，并将检测结果发送给所述控制模块；所述控制模块根据所述标记检测器的检测结果控制所述驱动轮以实现晶圆定位。本发明的晶圆定位装置采用驱动轮驱动晶圆旋转代替传统的吸盘吸取方式，可以避免在定位时造成晶圆损伤，能实现多点检测定位，多段速度控制，高效率高精度，结构简单成本低。
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